【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术与晶圆盒有关，尤指一种晶圆盒的气帘装置。
技术介绍
1、晶圆盒(front opening unified pod，foup)是半导体制程中被使用来保护、运送、及储存晶圆的一种容器，最重要的功用之一是避免内部的晶圆在不同生产机台之间的传送途中被外部环境的微尘污染与水气影响。当晶圆盒运送至与机台设备前端模块(equipment front end modules，efem)连接的晶圆盒装载埠(load port)后准备进行制程，在晶圆盒前侧的门片打开时，会利用一设置于设备前端模块(efem)内晶圆盒装载埠(load port)门上侧的气帘装置向下喷出洁净干燥气流，据此形成一股无形墙面阻挡在盒开口外，以避免晶圆传送至制程室期间被设备前端模块内的微尘及水气侵入盒中。
2、晶圆片对于环境中的低微尘污染与水气的等级要求甚高，前述气帘装置若非喷出沿直线方向的层流(laminar flow)，而是流动方向混乱的紊流(turbulence)的话，很有可能反而把盒外的微尘与含较高水气气体卷入盒中造成污染，以致丧失阻挡微尘与水气侵入晶圆盒(foup)的原始目的。
3、如习知的气帘装置顶部设有一连通至气帘装置内部的气孔，其内部具有一横向且呈细长状的空间，通过气孔输送气体至该气帘装置的空间而形成气流，并于该空间设有复数个呈间隔且垂直排列的透气孔，气流是通过该复数透气孔再喷出而形成气帘，然气流在进入空间后即迅速地经由该复数透气孔喷出，而无任何结构配置可将喷出的气流导流成直线流动的层流，导致气流由该复数透气孔散射地喷出，造
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种晶圆盒的气帘装置，其可使洁净干燥气体以接近层流方式吹出，最大化减少紊流的形成，以避免设备前端模块内流动气体中水气、微尘等反而被卷入晶圆盒中。
2、为达前述的目的，本专利技术提供一种晶圆盒的气帘装置，包括有：
3、一壳体，其具有一内部空间，并依该壳体的截断面将该内部空间定义有一横向气室、一与该横向气室相连通的弯曲气室及一与该弯曲气室相连通的立向气室，该壳体具有至少一与该横向气室连通的进气口及一与该立向气室连通的出气口；
4、至少一第一导气板，设于该横向气室及/或该弯曲气室中，该第一导气板设有复数个第一导气孔；
5、一第二导气板，设于该立向气室邻近该出气口的一端，该第二导气板设有复数个第二导气孔；
6、其中，该第二导气孔的数量大于该第一导气孔的数量，且该第二导气板上的各第二导气孔的总面积大于该第一导气板上的各第一导气孔的总面积。
7、较佳地，该立向气室最末端的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径及该弯曲气室的截断面的口径。
8、较佳地，该弯曲气室的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径，而该立向气室最末端的截断面的口径大于该弯曲气室的截断面的口径。
9、较佳地，该第一导气板的数量为三个，其中一个第一导气板设置于该横向气室，而另外二个第一导气板设置于该弯曲气室。
10、较佳地，该弯曲气室形成朝下弯弧状，该另外二个第一导气板的其中一者位于该弯曲气室水平方向的一端，而另一者位于该弯曲气室垂直方向的一端。
11、较佳地，该第一导气板及该第二导气板分别为可抽换的结构，以供改变该第一导气孔及该第二导气孔的数量与总面积，借此调整气流通过该第一导气板及该第二导气板时的流速与均匀度。
12、较佳地，该各第一导气孔于该第一导气板可为均匀或不均匀分布设置，借以调整气流通过效果。
13、较佳地，该壳体由一左板件、一右板件及复数个隔板所构成。
14、如另一实施例中，该壳体由一左壳件及一右壳件相互拼接而成。
15、又如另一实施例中，该壳体为一体成型制成。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆盒的气帘装置，其特征在于，包括有：
2.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该立向气室最末端的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径及该弯曲气室的截断面的口径。
3.如权利要求2所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该弯曲气室的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径，而该立向气室最末端的截断面的口径大于该弯曲气室的截断面的口径。
4.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该第一导气板的数量为三个，其中一个第一导气板设置于该横向气室，而另外二个第一导气板设置于该弯曲气室。
5.如权利要求4所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该弯曲气室形成朝下弯弧状，该另外二个第一导气板的其中一者设置于该弯曲气室水平方向的一端，而另一者设置于该弯曲气室垂直方向的一端。
6.如权利要求4所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该第一导气板及该第二导气板分别为可抽换的结构，以供改变该第一导气孔及该第二导气孔的数量与总面积，借此调整气流通过该第一导气板及该第二导气板时的流速与均匀度。
7.如权利要求6所
8.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该壳体由一左板件、一右板件及复数个隔板所构成。
9.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该壳体由一左壳件及一右壳件相互拼接而成。
10.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该壳体为一体成型制成。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种晶圆盒的气帘装置，其特征在于，包括有：
2.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该立向气室最末端的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径及该弯曲气室的截断面的口径。
3.如权利要求2所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该弯曲气室的截断面的口径大于该横向气室的截断面的口径，而该立向气室最末端的截断面的口径大于该弯曲气室的截断面的口径。
4.如权利要求1所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该第一导气板的数量为三个，其中一个第一导气板设置于该横向气室，而另外二个第一导气板设置于该弯曲气室。
5.如权利要求4所述的晶圆盒的气帘装置，其特征在于，该弯曲气室形成朝下弯弧状，该另外二个第一导气板的其中一者设置于该弯曲气室水平方向的一端，而另一...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈金柏，黄灿华，许顺益，许自宏，
申请(专利权)人：霭崴科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。