【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化工生产设备，具体的为一种搅拌溶解罐。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指一种它可以通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，使其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄摸材料；在光刻工艺中，光刻胶用作抗腐蚀涂层材料，使用光刻胶作为涂层，进行曝光、显影后，根据光刻胶性质不同留下曝光或者未曝光的涂层，可以在半导体材料表面形成所需的图像；光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业中，是半导体加工中不可或缺的重要材料；由于目前大都采用离心涂布工艺，会导致大量的光刻胶浪费，因此需要将浪费的光刻胶进行回收再利用，以节省材料消耗，提高经济效益；而在光刻胶回收的过程中，需要对其进行加热溶解。
2、现有一申请号为cn202310697705.2的专利，公开了一种光刻胶搅拌溶解装置及其使用方法，该专利包括加热机构，加热机构连接有搅拌机构和摆动机构，通过电机带动搅拌机构与摆动机构进行工作，以实现对光刻胶进行加热溶解的同时进行搅拌处理；但该专利采用了卧式的加热器来进行搅拌溶解，对于粘性较大的光刻胶来说容易因流动不畅而导致半溶解状态的光刻胶堵塞，使得填充不完全溶解效率低下；同时该装置只能够在完成填充之后进行搅拌溶解，而不能同时进行进料、出料与搅拌溶解步骤，进一步导致了装置工作效率的低下。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种可以同时进行进料、出料的立式搅拌溶解罐，以提高光刻胶回收中搅拌溶解工序的工作效率。
2、基于上述目的，本技术采用如下技
3、一种搅拌溶解罐，包括竖直设置的罐体，罐体内设置有搅拌机构，搅拌机构包括内层搅拌轴，内层搅拌轴上水平均布有多条搅拌臂；搅拌机构包括外层搅拌壳，外层搅拌壳贴设在罐体的内侧面；外层搅拌壳的内侧面上水平设置有多条搅拌臂，外层搅拌壳上的搅拌臂与内层搅拌轴上的搅拌臂交错设置；罐体上分别设置有内层电机和外层电机，内层电机的输出轴与内层搅拌轴连接，外层电机的搅拌轴与外层搅拌壳连接；搅拌臂内部中空设置，在搅拌臂的内部设置有加热棒。
4、优选地，罐体内设置有多重渐进过滤网，多重渐进过滤网包括多个水平设置的过滤网；多个过滤网的滤孔直径从上到下依次减少。
5、优选地，每个过滤网均设置在搅拌臂之间的空隙处。
6、优选地，搅拌臂为倾斜设置的板状结构，外层搅拌壳上的搅拌臂与内层搅拌轴上的搅拌臂倾斜方向相反。
7、优选地，罐体的顶部设置有入料口，罐体的底部设置有出料口；出料口通过出料管道连接有收集机构，入料口通过入料管道连接有入料机构。
8、优选地，罐体顶部与入料口配合地设置有单向阀，单向阀的入口端与入料口配合，出口端设置在罐体内。
9、本技术的有益效果有：
10、本技术为一种用于对回收光刻胶同时进行加热溶解与搅拌工序的搅拌溶解罐，采用立式罐体，从顶部加料底部出料；在罐体内设置有内外双重交错设置的搅拌机构，可以相对旋转同时进行搅拌工作，加快光刻胶溶解效率；在搅拌臂内设置有加热棒，可以在搅拌的过程中同时进行加热，由于加热棒设置在搅拌臂中，因此使得各处光刻胶受热均匀，加热效果量好。
11、本技术在罐体内搅拌臂的间隙中还设置有多重渐进过滤网，过滤网的滤孔直径从上到下依次减小，可以分批次渐进的对光刻胶进行过滤，只有溶解到符合标准的光刻胶才可以抵达罐体的底部，从出料口排出；通过设置多重渐进过滤网，使得本技术不需要关机来上料、出料，可以在搅拌溶解的过程中同时对光刻胶的溶解程度进行筛选，将完成溶解的光刻胶立即排出，以实现在工作中同时进行进料出料的效果，有效提高了光刻胶回收工作中加热搅拌溶解步骤的效率。
12、本技术的入料口设置了单向阀结构，只允许光刻胶从入料口进入罐体内，而禁止光刻胶从罐体内溢出；通过在入料口设置单向阀结构，可以配合设置多重渐进过滤网来实现光刻胶加热搅拌溶解的不停机加料效果；单向阀可以保证光刻胶只能够从入料口进入罐体，而光刻胶不会随着搅拌机构的运动从入料口中溢出、甩出，避免了光刻胶的浪费，也避免了加热后的光刻胶泄漏伤人的风险。
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1.一种搅拌溶解罐，包括竖直设置的罐体，其特征在于：所述罐体内设置有搅拌机构，所述搅拌机构包括内层搅拌轴，所述内层搅拌轴上水平均布有多条搅拌臂；所述搅拌机构包括外层搅拌壳，所述外层搅拌壳贴设在所述罐体的内侧面；所述外层搅拌壳的内侧面上水平设置有多条搅拌臂，所述外层搅拌壳上的搅拌臂与内层搅拌轴上的搅拌臂交错设置；所述罐体上分别设置有内层电机和外层电机，所述内层电机的输出轴与所述内层搅拌轴连接，所述外层电机的搅拌轴与所述外层搅拌壳连接；所述搅拌臂内部中空设置，在搅拌臂的内部设置有加热棒。
2.根据权利要求1所述的搅拌溶解罐，其特征在于：所述罐体内设置有多重渐进过滤网，所述多重渐进过滤网包括多个水平设置的过滤网；多个所述过滤网的滤孔直径从上到下依次减少。
3.根据权利要求2所述的搅拌溶解罐，其特征在于：每个所述过滤网均设置在所述搅拌臂之间的空隙处。
4.根据权利要求1所述的搅拌溶解罐，其特征在于：所述罐体的顶部设置有入料口，所述罐体的底部设置有出料口；所述出料口通过出料管道连接有收集机构，所述入料口通过入料管道连接有入料机构。
5.根据权
6.根据权利要求1所述的搅拌溶解罐，其特征在于：所述搅拌臂为沿宽度方向倾斜设置的板状结构，所述外层搅拌壳上的搅拌臂与内层搅拌轴上的搅拌臂倾斜方向相反。
...【技术特征摘要】
1.一种搅拌溶解罐，包括竖直设置的罐体，其特征在于：所述罐体内设置有搅拌机构，所述搅拌机构包括内层搅拌轴，所述内层搅拌轴上水平均布有多条搅拌臂；所述搅拌机构包括外层搅拌壳，所述外层搅拌壳贴设在所述罐体的内侧面；所述外层搅拌壳的内侧面上水平设置有多条搅拌臂，所述外层搅拌壳上的搅拌臂与内层搅拌轴上的搅拌臂交错设置；所述罐体上分别设置有内层电机和外层电机，所述内层电机的输出轴与所述内层搅拌轴连接，所述外层电机的搅拌轴与所述外层搅拌壳连接；所述搅拌臂内部中空设置，在搅拌臂的内部设置有加热棒。
2.根据权利要求1所述的搅拌溶解罐，其特征在于：所述罐体内设置有多重渐进过滤网，所述多重渐进过滤网包括多个水平设置的过滤网；多个所述过滤网的滤孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：李永斌，黄玉伟，何龙龙，姜伟龙，乃国涛，陈志鹏，
申请(专利权)人：甘肃华隆芯材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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