ATE设备的参数校准系统技术方案

本技术实施例提供了一种ATE设备的参数校准系统，涉及测试技术领域。其中，该系统包括：ATE设备，包括待校准的多个数字板，各所述数字板包括多个IO通道；DC校准板，包括多个开关组件；校准负载模块，通过所述DC校准板中的多个开关组件分别与多个数字板一一对应连接，所述校准负载模块包括测量单元和负载单元；主控模块，与所述校准负载模块连接，用于控制所述测量单元对所述负载单元进行校准，以及若所述负载单元完成校准，则控制所述测量单元对所述ATE设备中各所述数字板的多个IO通道进行同步校准。本技术实施例解决了相关技术中ATE设备的参数校准的效率低下的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测试，具体而言，本技术涉及一种ate设备的参数校准系统。

技术介绍

1、在使用ate设备等测试系统对半导体器件进行测试的过程中，在特定的功能测试中，ate设备通过io通道向dut提供测试信号，利用驱动器将振幅、阻抗、电流、转换速率等测试信号传送到dut。ate设备接收dut响应于测试信号产生的输出信号，ate设备中的模拟比较器在接收到输出信号后对其进行采样，捕捉到的输出信号与预期的输出信号进行比较，以便确定该dut是否工作正常。

2、目前，集成电路测试公司在进行规模测试前，需对ate设备进行参数校准。ate设备有若干个io通道需要校准，通常，ate设备中每个io通道的校准是利用测试设备(如电压表、电流表等等)手动进行的，每个io通道的待校准参数都被测量后才能得到补偿数据。

3、由上可知，ate设备的参数校准的效率低下成为亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本技术各实施例提供了一种ate设备的参数校准系统，可以解决相关技术中存在的ate设备的参数校准的效率低下的问题。所述技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ATE设备的参数校准系统，其特征在于，所述系统包括：

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，在每一个所述数字板上，一个四象限单引脚参数测量单元与一个引脚单元复用一个IO通道，多个IO通道复用一个高精密测量单元。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述高精密测量单元的待校准参数包括以下至少一种：补偿驱动电压FV、驱动电流FI、测量电压MV、测量电流MI、钳位电压CV或钳位电流CI。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述四象限单引脚参数测量单元的待校准参数包括以下至少一种：FV、FI、MV、MI、CV、CI。p>

5.如权利...

【技术特征摘要】

1.一种ate设备的参数校准系统，其特征在于，所述系统包括：

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，在每一个所述数字板上，一个四象限单引脚参数测量单元与一个引脚单元复用一个io通道，多个io通道复用一个高精密测量单元。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述高精密测量单元的待校准参数包括以下至少一种：补偿驱动电压fv、驱动电流fi、测量电压mv、测量电流mi、钳位电压cv或钳位电流ci。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述四象限单引脚参数测量单元的待校准参数包括以下至少一种：fv、fi、...

【专利技术属性】
技术研发人员：成源涛，吴海涛，许应，
申请(专利权)人：深圳市辰卓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：