【技术实现步骤摘要】
本技术涉及还原炉,具体为一种降低还原炉电耗的装置。
技术介绍
1、多晶硅生产技术中,气态氯硅烷在多晶还原炉中和氢气还原为多晶硅,氯硅烷和氢气按照一定的配比,从还原炉底部的炉盘上的进气喷嘴进入炉筒内,混合气体在装夹在电极对上的硅芯上高温进行还原后,未反应的尾气又从炉盘中央的尾气出口排出,进入下一工序,还原反应是吸热反应,需要大量的热量来维持,但是由于还原炉的炉筒内壁温度超过200℃后,就会沉积硅油,严重影响炉壁对热量的反射,而且还原炉筒材质是不耐高温的不锈钢,为了保护炉筒不被损坏,也为了避免产生硅油,一般采用在炉筒壁的夹套中通入大量的水来冷却炉筒,一方面不停的加载电流来维持硅芯上反应所需温度,一方面又不断通入冷却水带走热量,这不可避免的导致还原电耗增高,现有的还原炉日常生产过程中炉筒冷却水带走的热量占还原炉能耗30%,但是现有的还原炉不能够降低能耗损失,因此,我们提出一种降低还原炉电耗的装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种降低还原炉电耗的装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。< ...
【技术保护点】
1.一种降低还原炉电耗的装置,包括底盘(1),所述底盘(1)顶部设有还原炉体(2),所述还原炉体(2)顶部贯穿连通设有连接管(8),所述还原炉体(2)左右侧壁均贯穿连通设有两组视镜(3),其特征在于:所述还原炉体(2)内左右侧壁均设有支架(5),两组支架(5)相对侧壁均开设有插孔(10),所述还原炉体(2)内设置有隔热罩(6),隔热罩(6)左右侧壁均设有固定板(4),两组固定板(4)内部均开设有空腔(11),两组空腔(11)内均设有支撑组件(9)。
2.根据权利要求1所述的降低还原炉电耗的装置,其特征在于:所述支撑组件(9)包括空腔(11)内滑动连接设有的
...【技术特征摘要】
1.一种降低还原炉电耗的装置,包括底盘(1),所述底盘(1)顶部设有还原炉体(2),所述还原炉体(2)顶部贯穿连通设有连接管(8),所述还原炉体(2)左右侧壁均贯穿连通设有两组视镜(3),其特征在于:所述还原炉体(2)内左右侧壁均设有支架(5),两组支架(5)相对侧壁均开设有插孔(10),所述还原炉体(2)内设置有隔热罩(6),隔热罩(6)左右侧壁均设有固定板(4),两组固定板(4)内部均开设有空腔(11),两组空腔(11)内均设有支撑组件(9)。
2.根据权利要求1所述的降低还原炉电耗的装置,其特征在于:所述支撑组件(9)包括空腔(11)内滑动连接设有的滑动板(92),所述滑动板(92)右侧壁设有两组插杆(90),两组插杆(90)一端贯穿空腔(11)内右侧壁与插孔(10)相匹配,所述滑动板(92)右侧壁贯穿设...
【专利技术属性】
技术研发人员:武学龙,陈世涛,侯镇成,
申请(专利权)人:新疆晶诺新能源产业发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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