片材清洗花篮制造技术

本技术属于半导体技术领域，公开了片材清洗花篮。片材清洗花篮包括连接柱和至少一层置物托盘，连接柱的底端设置有限位结构。置物托盘用于容置片材，置物托盘上设置有连接孔，连接柱的顶端能够从连接孔穿过，至少一层置物托盘通过连接孔套于连接柱上进行层叠，限位结构被配置为对最底层的置物托盘进行限位。通过设置连接柱，使连接柱穿过连接孔，以将置物托盘依次套设于连接柱上，连接柱底端的限位结构对最底层的置物托盘进行限位固定，无需额外设置固定装置对置物托盘进行固定，置物托盘在连接柱上的层叠操作快捷。置物托盘通过连接孔套接于连接柱，能够保证各置物托盘安装牢固，避免发生置物托盘安装不牢固而导致片材脱落的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，尤其涉及片材清洗花篮。

技术介绍

1、在晶圆加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗。晶圆清洗时放置在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮投入清洗槽内，利用清洗槽内的清洗剂进行清洗。

2、清洗花篮一般包括多个置物托盘，多个置物托盘内放入晶圆后再进行层叠，以能够一次性清洗多个晶圆。现有的清洗花篮，多个置物托盘层叠时，操作不方便，费时费力，影响了晶圆加工效率。

3、因此，亟需对片材清洗花篮进行改进，以解决以上问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种片材清洗花篮，置物托盘层叠操作快捷，提高了晶圆加工效率。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、片材清洗花篮，包括：

4、连接柱，所述连接柱的底端设置有限位结构；

5、至少一层置物托盘，所述置物托盘用于容置待清洗的片材，所述置物托盘上设置有连接孔，所述连接柱的顶端能够从所述连接孔穿过，至少一层所述置物托盘通过所述连接孔套于所述连接柱上进行层叠，所述限位结构被配置为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.片材清洗花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述连接柱(1)设置为圆柱形，所述置物托盘(2)能够绕所述连接柱(1)转动。

3.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述限位结构为设置于所述连接柱(1)的底端的外螺纹(12)，最底层的所述置物托盘(2)上的所述连接孔(211)设置有内螺纹，最底层的所述置物托盘(2)能够螺纹连接于所述连接柱(1)的底端。

4.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述限位结构为设置于所述连接柱(1)的底端的限位凸起，最底层的所述置物托盘(2)抵接于所述限位凸起上。...

【技术特征摘要】

1.片材清洗花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述连接柱(1)设置为圆柱形，所述置物托盘(2)能够绕所述连接柱(1)转动。

3.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述限位结构为设置于所述连接柱(1)的底端的外螺纹(12)，最底层的所述置物托盘(2)上的所述连接孔(211)设置有内螺纹，最底层的所述置物托盘(2)能够螺纹连接于所述连接柱(1)的底端。

4.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述限位结构为设置于所述连接柱(1)的底端的限位凸起，最底层的所述置物托盘(2)抵接于所述限位凸起上。

5.根据权利要求1所述的片材清洗花篮，其特征在于，所述连接柱(1)设置有至少两个，每个所述置物托盘(2)上设置有至少两个所述连接孔(211)，所述置物托盘(2)上的所述连接孔(211)与所述连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海波，刘刚，冷祥，
申请(专利权)人：无锡市华辰芯光半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：