【技术实现步骤摘要】
本说明书总体上涉及接合到金属箔的玻璃陶瓷，并且具体地涉及玻璃陶瓷到金属箔的激光接合。
技术介绍
1、气密接合玻璃或玻璃陶瓷和金属箔封装越来越流行地应用于电子设备和可受益于气密环境进行持续操作的其他设备。然而，传统的激光接合工艺可能不会导致玻璃陶瓷的充分接合。
2、因此，存在对生产具有足够的接合强度的激光接合玻璃陶瓷和金属箔封装的替代性方法的需要。
技术实现思路
1、根据第一方面a1，一种将玻璃陶瓷激光接合到金属箔的方法可包括：使第一玻璃陶瓷基板的第一表面与第一金属箔的第一表面接触，以在第一玻璃陶瓷基板的第一表面的至少一部分与第一金属箔的第一表面之间创建第一接触位置；以及通过将激光束引导至第一接触位置的至少一部分上来进行第一焊接步骤，以将第一玻璃陶瓷基板接合到第一金属箔并形成第一接合位置和封装，其中第一玻璃陶瓷基板具有大于或等于20μm且小于或等于250μm的厚度，并且其中激光束包括波长大于或等于250nm且小于或等于2μm的脉冲激光。
2、第二方面a2包括根据第一方面a1的方法，其中第一玻璃陶瓷基板在大于或等于250nm且小于或等于2μm的波长下具有大于或等于50％的透射率。
3、第三方面a3包括根据第一方面a1和第二方面a2的方法，其中第一玻璃陶瓷基板包括氧化铝陶瓷基板或氧化锆陶瓷基板。
4、第四方面a4包括根据第一方面a1至第三方面a3中任一项的方法，其中第一金属箔包括铝箔。
5、第五方面a5包括根据第一方面a4的方法
6、第六方面a6包括根据第一方面a1至第五方面a5中任一项的方法，其中第一金属箔具有大于或等于10μm且小于或等于100μm的厚度。
7、第七方面a7包括根据第一方面a1至第六方面a6中任一项的方法，其中脉冲激光具有小于或等于6j/cm2的功率密度。
8、第八方面a8包括根据第一方面a1至第七方面a7中任一项的方法，其中脉冲激光是纳秒脉冲激光、皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光。
9、第九方面a9包括根据第一方面a1至第八方面a8中任一项的方法，其中脉冲激光具有大于或等于1ns且小于或等于30ns的脉冲宽度。
10、第十方面a10包括根据第八方面a8的方法，其中脉冲激光具有大于或等于10ps的脉冲宽度。
11、第十一方面a11包括根据第八方面a8的方法，其中脉冲激光具有小于或等于1ps的脉冲宽度。
12、第十二方面a12包括根据第一方面a1至第十一方面a11中任一项的方法，其中脉冲激光具有大于或等于1khz且小于或等于800khz的重复率。
13、第十三方面a13包括根据第一方面a1至第十二方面a12中任一项的方法，其中脉冲激光具有大于或等于10μm且小于或等于200μm的光斑尺寸。
14、第十四方面a14包括根据第一方面a1至第十三方面a13中任一项的方法，其中封装具有大于或等于3mpa的接合强度。
15、第十五方面a15包括根据第一方面a1至第十四方面a14中任一项的方法，其中封装具有小于或等于30cm的弯曲半径。
16、第十六方面a16包括根据第一方面a1至第十五方面a15中任一项的方法，其中第一接合位置具有小于或等于2μm的最大接合深度。
17、第十七方面a17包括根据第一方面a1至第十六方面a16中任一项的方法，其中封装具有抛物柱形状。
18、第十八方面a18包括根据第十七方面a17的方法，其中封装是抛物反射器天线。
19、第十九方面a19包括根据第一方面a1至第十六方面a16中任一项的方法，进一步包括：使第一玻璃陶瓷基板的第二表面与第二金属箔的第一表面接触，以在第一玻璃陶瓷基板的第二表面的至少一部分与第二金属箔的第一表面之间创建第二接触位置；以及通过将激光束引导至第二接触位置的至少一部分上来进行第二焊接步骤，以将第一玻璃陶瓷基板接合到第二金属箔并形成第二接合位置。
20、第二十方面a20包括根据第十九方面a19的方法，进一步包括：在第一金属箔和第二金属箔中的至少一者上形成图案以形成图案化金属箔。
21、第二十一方面a21包括根据第二十方面a20的方法，其中封装是印刷天线。
22、第二十二方面a22包括根据第一方面a1至第十六方面a16中任一项的方法，进一步包括：使第二玻璃陶瓷基板的第一表面与第一金属箔的第一表面接触，以在第二玻璃陶瓷基板的第一表面的至少一部分与第一金属箔的第一表面之间创建第二接触位置；以及通过将激光束引导至第二接触位置的至少一部分上来进行第二焊接步骤，以将第二玻璃陶瓷基板接合到第一金属箔并形成第二接合位置，其中第一金属箔连接第一玻璃陶瓷基板和第二玻璃陶瓷基板。
23、第二十三方面a23包括根据第二十二方面a22的方法，其中封装是角反射器。
24、第二十四方面a24包括根据第一方面a1至第二十三方面a23中任一项的方法，其中金属箔包括小于或等于1200℃的熔点。
25、第二十五方面a25包括根据第一方面a1至第二十四方面a24中任一项的方法，其中激光束是以相对于第一玻璃陶瓷基板的倾斜入射角引导的。
26、第二十六方面a26包括根据第二十五方面a25的方法，其中倾斜入射角小于或等于45°。
27、本文中所描述的激光接合方法的附加特征和优点将在以下具体实施方式中阐述，并且将部分地从所述描述中对本领域的技术人员变得显而易见，或可通过实践本文中所描述的实施例(包括下面的具体实施方式、权利要求书以及附图)而被认识。
28、应当理解，以上一般描述和以下详细描述两者描述了各种实施例，并且它们旨在提供用于理解所要求保护的主题的本质和特性的概观或框架。附图被包括以提供对各个实施例的进一步的理解，并且附图被结合到本说明书中并构成说明书的一部分。附图示出本文所述的各个实施例，并与说明书一起用于说明所要求保护的主题的原理和操作。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种将玻璃陶瓷激光接合到金属箔的方法，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃陶瓷基板在大于或等于250nm且小于或等于2μm的波长下具有大于或等于50％的透射率。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃陶瓷基板包括氧化铝陶瓷基板或氧化锆陶瓷基板。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔包括铝箔。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔进一步包括除铝之外的金属。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔具有大于或等于10μm且小于或等于100μm的厚度。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有小于或等于6J/cm2的功率密度。
8.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光是纳秒脉冲激光、皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于1ns且小于或等于30ns的脉冲宽度。
10.如权利要
11.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有小于或等于1ps的脉冲宽度。
12.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于1kHz且小于或等于800kHz的重复率。
13.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于10μm且小于或等于200μm的光斑尺寸。
14.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述封装具有大于或等于3MPa的接合强度。
15.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，所述封装具有小于或等于30cm的弯曲半径。
16.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一接合位置具有小于或等于2μm的最大接合深度。
17.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述封装具有抛物柱形状。
18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，所述封装是抛物反射器天线。
19.如权利要求1-3中任一项所述的方法，进一步包括：
20.如权利要求19所述的方法，进一步包括：
21.如权利要求20所述的方法，其特征在于，所述封装是印刷天线。
22.如权利要求1-3中任一项所述的方法，进一步包括：
23.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述封装是角反射器。
24.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述金属箔包括小于或等于1200℃的熔点。
25.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述激光束是以相对于所述第一玻璃陶瓷基板的倾斜入射角引导的。
26.如权利要求25所述的方法，其特征在于，所述倾斜入射角小于或等于45°。
...【技术特征摘要】
1.一种将玻璃陶瓷激光接合到金属箔的方法，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃陶瓷基板在大于或等于250nm且小于或等于2μm的波长下具有大于或等于50％的透射率。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一玻璃陶瓷基板包括氧化铝陶瓷基板或氧化锆陶瓷基板。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔包括铝箔。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔进一步包括除铝之外的金属。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属箔具有大于或等于10μm且小于或等于100μm的厚度。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有小于或等于6j/cm2的功率密度。
8.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光是纳秒脉冲激光、皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于1ns且小于或等于30ns的脉冲宽度。
10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于10ps的脉冲宽度。
11.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有小于或等于1ps的脉冲宽度。
12.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述脉冲激光具有大于或等于1khz且小于或等于800khz的重复率。
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【专利技术属性】
技术研发人员：A·科布亚科夫，S·L·洛古诺夫，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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