System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种光刻胶保温装置及其使用方法制造方法及图纸_技高网

一种光刻胶保温装置及其使用方法制造方法及图纸

技术编号:40993632 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 21:34
本发明专利技术涉及光刻胶保温技术领域,尤其涉及一种光刻胶保温装置及其使用方法,包括保温箱、制冷腔和可拆卸组件,所述制冷腔之间叠放有光刻胶瓶,制冷腔内设有半导体制冷片和控温模块,制冷腔一侧等距开设的通槽内转动设有辊轴,保温箱靠近斜坡的一侧设置有可拆卸组件,保温箱内气缸的伸缩端通过推板设置有第一橡胶层。本发明专利技术中,可拆卸组件与保温箱之间不仅易于拆装,同时还能更好的进行限位,减少了保温箱内的冷气流失;提把可以便捷的对该光刻胶保温装置进行携带,在光刻胶瓶与半导体制冷片之间转动设置硅橡胶材质的辊轴,当光刻胶瓶移动时带动辊轴转动,有效的使得辊轴与半导体制冷片接触面与光刻胶瓶接触,提高了降温效率及均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光刻胶保温,尤其涉及一种光刻胶保温装置及其使用方法


技术介绍

1、在半导体行业的不断发展下,光刻胶也被人们所熟知,光刻胶通常需要在5℃-10℃的温度下冷藏,用以减缓光刻胶中溶剂的蒸发和化学反应的进行,从而保持其稳定性和性能,然而目前的光刻胶保存装置首先体积较大,不便于携带,同时冷藏时温度不够均匀,在开箱对光刻胶瓶体取放时易造成冷气流失,有鉴于此,有必要对目前的光刻胶保温予以改进,以解决上述问题;

2、本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本专利技术构思的
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,并且因此,它可以包含不构成现有技术的信息。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种光刻胶保温装置及其使用方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:

3、一种光刻胶保温装置及其使用方法,包括保温箱、制冷腔和可拆卸组件,所述保温箱的一侧设置有控制器,保温箱由内至外依次设置为内壁和保温层,保温箱顶端面的中部开设有入料口,入料口之外设置有提把,并且入料口的外侧螺合设置有旋盖;

4、所述制冷腔对称设置在保温箱内壁的一侧,并且制冷腔之间依次叠放设置有若干个光刻胶瓶,制冷腔内设置有半导体制冷片,半导体制冷片靠近内壁的一侧设置有控温模块,制冷腔靠近光刻胶瓶的一侧等距开设有若干个通槽,并且通槽内转动设置有辊轴;

5、所述凸台顶端面的一侧设置为水平面,凸台顶端面的另一侧设置为斜坡,保温箱靠近斜坡的一侧设置有可拆卸组件,可拆卸组件包括盖板、凸条、连接杆、挤压板和嵌入板,其中嵌入板的底端面对称设置有插销;

6、所述保温箱内壁底部的一侧水平设置有气缸,气缸的伸缩端通过推板设置有第一橡胶层,并且光刻胶瓶位于推板的第一橡胶层与挤压板的第二橡胶层之间;

7、此外,优选的结构是,所述辊轴的材质为硅橡胶,并且辊轴的一侧与半导体制冷片的一侧相贴合,辊轴的另一侧与光刻胶瓶的外壁相互贴合。

8、此外,优选的结构是,所述凸条位于盖板的一侧,盖板的另一侧通过连接杆设置有挤压板,并且挤压板靠近光刻胶瓶的一侧设置有第二橡胶层,盖板靠近凸台斜坡的一侧设置的嵌入板的底端面与凸台的斜坡面相互紧密贴合,嵌入板的顶端面与凸台的水平面位于同一平面。

9、此外,优选的结构是,所述凸台的顶端面等距设置有若干个滚珠,凸台斜坡的一侧水平开设有限位槽,并且嵌入板底端面设置的插销与限位槽之间相互适配。

10、此外,优选的结构是,所述推板包括水平部及垂直部,其中第一橡胶层设置在推板垂直部靠近光刻胶瓶的一侧。

11、此外,优选的结构是,所述控制器分别与控温模块、半导体制冷片和气缸之间通过电连接。

12、此外,优选的结构是,所述可拆卸组件的盖板靠近保温箱的一侧设置有金属卡条,保温箱与金属卡条相对应处设置有凹槽,凹槽为磁铁材质,并且凹槽与金属卡条之间通过磁性连接。

13、本专利技术的有益效果是:

14、1、通过在凸台斜坡的一侧水平开设的限位槽与嵌入板下的插销之间相互适配,当操作者将可拆卸组件进行安装时,相互适配的插销与限位槽又进一步的起到了限位的目的,避免后期可拆卸组件发生滑脱,还在可拆卸组件的盖板一侧设置金属卡条,在保温箱与金属卡条相对应处设置磁铁材质的凹槽,凹槽与金属卡条之间通过磁性连接,不仅易于拆装,同时还能更好的进行限位,从而及时减少了保温箱内的冷气流失;

15、2、通过设置提把可以便捷的对该光刻胶保温装置进行携带,其中光刻胶瓶位于推板的第一橡胶层与挤压板的第二橡胶层之间,可以在携带时起到良好的限位作用,避免光刻胶瓶与保温箱的内部造成碰撞损坏;

16、3、通过在凸台上设置有若干个滚珠,更好的方便光刻胶瓶从保温箱内被推出,其中推板的水平部位于两个光刻胶瓶之间,在推板对最下方的光刻胶瓶进行推动时,推板的水平部可以有效的阻挡上一层的光刻胶瓶掉落卡位,为推板的复位起到辅助,进而提高了使用效率。

17、4、通过在光刻胶瓶与半导体制冷片之间转动设置硅橡胶材质的辊轴,当光刻胶瓶移动时带动辊轴转动,从而有效的使得辊轴与半导体制冷片接触面与光刻胶瓶接触,提高了降温效率及均匀性。

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【技术保护点】

1.一种光刻胶保温装置,包括保温箱(3)、制冷腔(6)和可拆卸组件(4),其特征在于,所述保温箱(3)的一侧设置有控制器(11),保温箱(3)由内至外依次设置为内壁(31)和保温层(32),保温箱(3)顶端面的中部开设有入料口(51),入料口(51)之外设置有提把(17),并且入料口(51)的外侧螺合设置有旋盖(52),所述制冷腔(6)对称设置在保温箱(3)内壁(31)的一侧,并且制冷腔(6)之间依次叠放设置有若干个光刻胶瓶(14),制冷腔(6)内设置有半导体制冷片(9),半导体制冷片(9)靠近内壁(31)的一侧设置有控温模块(10),制冷腔(6)靠近光刻胶瓶(14)的一侧等距开设有若干个通槽(7),并且通槽(7)内转动设置有辊轴(8),所述凸台(2)顶端面的一侧设置为水平面,凸台(2)顶端面的另一侧设置为斜坡,保温箱(3)靠近斜坡的一侧设置有可拆卸组件(4),可拆卸组件(4)包括盖板(41)、凸条(42)、连接杆(43)、挤压板(44)和嵌入板(45),其中嵌入板(45)的底端面对称设置有插销(162),所述保温箱(3)内壁(31)底部的一侧水平设置有气缸(12),气缸(12)的伸缩端通过推板(13)设置有第一橡胶层(181),并且光刻胶瓶(14)位于推板(13)的第一橡胶层(181)与挤压板(44)的第二橡胶层(182)之间。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述辊轴(8)的材质为硅橡胶,并且辊轴(8)的一侧与半导体制冷片(9)的一侧相贴合,辊轴(8)的另一侧与光刻胶瓶(14)的外壁相互贴合。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述凸条(42)位于盖板(41)的一侧,盖板(41)的另一侧通过连接杆(43)设置有挤压板(44),并且挤压板(44)靠近光刻胶瓶(14)的一侧设置有第二橡胶层(182),盖板(41)靠近凸台(2)斜坡的一侧设置的嵌入板(45)的底端面与凸台(2)的斜坡面相互紧密贴合,嵌入板(45)的顶端面与凸台(2)的水平面位于同一平面。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述凸台(42)的顶端面等距设置有若干个滚珠(15),凸台(42)斜坡的一侧水平开设有限位槽(161),并且嵌入板(45)底端面设置的插销(162)与限位槽(161)之间相互适配。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述推板(13)包括水平部及垂直部,其中第一橡胶层(181)设置在推板(13)垂直部靠近光刻胶瓶(14)的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述控制器(11)分别与控温模块(10)、半导体制冷片(9)和气缸(12)之间通过电连接。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述可拆卸组件(4)的盖板(41)靠近保温箱(3)的一侧设置有金属卡条(192),保温箱与金属卡条(192)相对应处设置有凹槽(191),凹槽(191)为磁铁材质,并且凹槽(191)与金属卡条(192)之间通过磁性连接。

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【技术特征摘要】

1.一种光刻胶保温装置,包括保温箱(3)、制冷腔(6)和可拆卸组件(4),其特征在于,所述保温箱(3)的一侧设置有控制器(11),保温箱(3)由内至外依次设置为内壁(31)和保温层(32),保温箱(3)顶端面的中部开设有入料口(51),入料口(51)之外设置有提把(17),并且入料口(51)的外侧螺合设置有旋盖(52),所述制冷腔(6)对称设置在保温箱(3)内壁(31)的一侧,并且制冷腔(6)之间依次叠放设置有若干个光刻胶瓶(14),制冷腔(6)内设置有半导体制冷片(9),半导体制冷片(9)靠近内壁(31)的一侧设置有控温模块(10),制冷腔(6)靠近光刻胶瓶(14)的一侧等距开设有若干个通槽(7),并且通槽(7)内转动设置有辊轴(8),所述凸台(2)顶端面的一侧设置为水平面,凸台(2)顶端面的另一侧设置为斜坡,保温箱(3)靠近斜坡的一侧设置有可拆卸组件(4),可拆卸组件(4)包括盖板(41)、凸条(42)、连接杆(43)、挤压板(44)和嵌入板(45),其中嵌入板(45)的底端面对称设置有插销(162),所述保温箱(3)内壁(31)底部的一侧水平设置有气缸(12),气缸(12)的伸缩端通过推板(13)设置有第一橡胶层(181),并且光刻胶瓶(14)位于推板(13)的第一橡胶层(181)与挤压板(44)的第二橡胶层(182)之间。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶保温装置,其特征在于,所述辊轴(8)的材质为硅橡胶,并且辊轴(8)的一侧与半导体制冷片(9)的一侧相贴合,辊轴(8)的另...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈宝生王海滨施高鸿
申请(专利权)人:江苏印势新材料集团有限公司
类型:发明
国别省市:

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