【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置及方法，属于设备气氛测试。
技术介绍
1、气密封器件的封装内部气氛如水汽、氧气、氢气及二氧化碳过高，会对器件内部产生腐蚀、参数漂移、电迁移等危害，在外部因素的作用下，这些危害或潜在缺陷还会恶化，导致器件功能丧失，因此内部气氛含量是评价气密封器件封装可靠性的重要指标之一。gjb128半导体分立器件试验方法中方法1018内部气体成分分析和mil-std-750中method1018.3internal gas analysis中对该测试方法进行了详细规定。
2、两个标准中均对3.0mm*2.46mm尺寸器件，即0.01cc腔体尺寸的器件如何进行内部气氛测试进行了规定，由于该类器件腔体过小，内部气氛测试设备无法对其进行固定及密封，因此可以采用同批次生产的大尺寸陪样进行内部气氛测试，该规定针对国产器件可以采用大尺寸陪样进行测试，但对于进口3.0mm*2.46mm尺寸器件无法提供同批次大尺寸陪样件，对于进口3.0mm*2.46mm尺寸器件目前暂无法进行内部气氛测试。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是：针对目前现有技术中，缺少对于指定尺寸器件的测试手段的问题，提出了一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置及方法。
2、本专利技术解决上述技术问题是通过如下技术方案予以实现的：
3、一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，包括凹槽底座、固定装置，待测试器件反向放置于凹槽底座的凹槽中，通过固定装置进行紧固，待
4、所述凹槽底座包括凹槽、第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔、第一固定孔、第二固定孔、穿刺孔，凹槽设置于凹槽底座一侧表面，另一侧对应位置设置有穿刺孔，第一固定孔、第二固定孔分别设置于凹槽内的两侧边缘，用于对待测试器件进行固定；第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔设置于凹槽外两侧。
5、所述第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔关于凹槽轴对称设置于凹槽底板两侧；第一固定孔、第二固定孔关于凹槽中心轴对称设置于凹槽内。
6、所述固定装置包括长方形金属板、第一螺钉孔、第二螺钉孔，固定装置结构与凹槽对应，长方形金属板通过两端设置的第一螺钉孔、第二螺钉孔，与凹槽底座上的第一固定孔、第二固定孔通过螺钉对应旋紧连接。
7、所述待测试器件设置于凹槽底座的凹槽内后，调整待测试器件位置使待测试器件的壳体完全贴合凹槽的底部，完成待测试器件位置调整后通过固定装置进行待测试器件的固定。
8、外部穿刺取样台通过凹槽底板上与凹槽对应的穿刺孔进行水汽穿刺实现待测试器件的数据取样。
9、所述穿刺针通过穿刺孔穿入并刺穿待测试器件壳体盖板，并采集数据样本送入质谱仪进行气氛分析。
10、所述凹槽底座通过第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔及对应螺钉固定于外部穿刺取样台上。
11、所述固定装置采用金属材质，长方形金属板采用高导热材质，凹槽底座采用金属材质。
12、一种根据气氛测试装置实现的指定尺寸用器件用内部气氛测试方法，包括：
13、将待测试器件放置于凹槽底座的凹槽中，调整待测试器件位置使待测试器件的壳体完全贴合凹槽的底部；
14、通过固定装置对待测试器件进行固定；固定过程中，通过固定装置的第一螺钉孔、第二螺钉孔，与凹槽底座上的第一固定孔、第二固定孔通过螺钉对应旋紧连接实现固定；
15、通过凹槽底座两端的第一紧固螺钉孔、第二紧固螺钉孔讲凹槽底座固定于外部穿刺取样台上；
16、将穿刺针从凹槽底座的穿刺孔穿入，刺穿待测试器件盖板后通过质谱仪采集数据对待测试器件的内部气氛进行分析；
17、记录质谱仪输出的气氛成分数据结果，并与待测试器件的标定气氛数据对比，判断待测试器件是否合格。
18、本专利技术与现有技术相比的优点在于：
19、(1)本专利技术提供的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置及方法，将3.0mm*2.46mm尺寸器件装入与其匹配的保持装置中，使其可以得到固定及密封，从而进行穿刺，对其内部气氛进行测试。突破了该类器件无法进行内部气氛测试的瓶颈；
20、(2)本专利技术使器件的试验气体收集面形成规则平面，以便在保证密封性的同时进行测试。器件置于测试装置中，在真空状态下与穿刺取样台密封连接，可以最大程度上弥补该类器件在内部气氛测试中的不确定性对后续使用的影响，为后续的工程任务开展等提供有力支持。优化后该测试装置使小腔体器件气体采集过程更加准确，得到的入口压力值和最终得到的水汽含量值更接近于真实水平，提高了内部气氛检测结果的准确性。
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1.一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
7.根据权利要求6所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试方法，其特征在于：
10.一种根据权利要求9所述的气氛测试装置实现的指定尺寸用器件用内部气氛测试方法，其特征在于包括：
【技术特征摘要】
1.一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种指定尺寸用器件用内部气氛测试装置，其特征在于：
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪晓亮，丁鸷敏，吴凯莲，李光耀，栗超，田阳，曹瑞，王旭，孟猛，
申请(专利权)人：中国空间技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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