【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及光子结构。
技术介绍
1、集成电路(ic)产业经历了指数级增长。ic材料和设计的技术进步产生了几代ic，每一代的电路都比上一代更小、更复杂。在ic演进过程中，功能密度(即每芯片面积互连器件的数量)普遍增加，而几何尺寸(即可以使用制造工艺创建的最小组件(或线))减小。这种按比例缩小工艺通常通过提高生产效率和降低相关成本来提供益处。这种按比例缩小也增加了ic处理和制造的复杂性，并且为了实现这些进步，需要ic处理和制造方面的类似发展。例如，诸如波导或光学谐振器的光学器件与其他器件集成到相同的衬底中或相同的封装中。光学器件是光子集成电路(pic)中的重要器件，并且被广泛地用于光学计算、传感和电信等多种用途。
2、光学谐振器在经典的光学通信系统中得到了广泛的应用。例如，光学谐振器非常有希望为光通信系统中的波分复用(wdm)技术(包括密集wdm(dwdm)技术)提供高数据速率、超低功耗和小占位面积(或尺寸)。最近，光学谐振器也在光子量子技术中得到了应用，诸如量子计算。例如，光学谐振器可以被实施为用于过滤或传感，或者作为提供压缩光的光源。压缩光是指某些相的电场强度具有比相干态的电场强度更小的量子不确定性(也称为噪声)的光。广泛的应用范围可以受益于高质量的压缩光源。当ic转向具有更小部件尺寸的先进技术节点时，由于光学器件的特性，光学器件几乎是不可缩小的，并且不能像诸如场效应晶体管的其他器件一样按比例缩小到较小的尺寸。光学器件会造成很大的电路面积损失。此外，光学器件的现有结构和制备光学器件的方法将缺陷(诸如功率损
3、为了充分利用光学谐振器的潜力，诸如光子量子技术中的压缩光，期望光学谐振器是可扩展的、可调节的、与现有光学技术兼容的。此外，期望在降低的功率损耗和增强的耦合的情况下光学谐振器是有效且可靠的。相应地，需要与其他电路器件集成的光学器件结构及其制造方法没有上述缺点，诸如进一步改进提供高光谱纯度和高的光功率效率的光学谐振器结构。
技术实现思路
1、本专利技术的一些实施例提供了一种光子结构，该光子结构包括：环形光波导，位于衬底上；轨道光波导，被配置为将光耦合到环形光波导中；以及增强部件，被配置在环形光波导和轨道光波导周围以增强光子结构。
2、本专利技术的另一些实施例提供了一种光子结构，该光子结构包括：第一环形光波导，位于衬底上；第一轨道光波导，被配置为将第一光耦合到第一环形光波导中；第一增强部件，被配置在第一环形光波导和第一轨道光波导周围；第二环形光波导，位于衬底上；第二轨道光波导，被配置为将第二光耦合到第二环形光波导中；以及第二增强部件，被配置在第二环形光波导和第二轨道光波导周围，其中，第一环形光波导、第一轨道光波导和第一增强部件位于衬底上方的第一水平处，第二环形光波导、第二轨道光波导和第二增强部件位于衬底上方的第二水平处，并且第二水平不同于第一水平。
3、本专利技术的又一些实施例提供了一种光子结构，该光子结构包括：第一光学环形谐振器，位于衬底上的第一水平处，其中，第一光学环形谐振器还包括第一环形光波导、被配置为将第一光耦合到第一环形光波导中的第一轨道光波导、以及被配置在第一环形光波导和第一轨道光波导周围的第一增强部件；第二光学环形谐振器，位于衬底上的第二水平处，其中，第二光学环形谐振器还包括第二环形光波导、被配置为将第二光耦合到第二环形光波导中的第二轨道光波导、以及被配置在第二环形光波导和第二轨道光波导周围的第二增强部件；以及第三光学环形谐振器，位于衬底上的第三水平处，其中，第三光学环形谐振器还包括第三环形光波导、被配置为将第三光耦合到第三环形光波导中的第三轨道光波导、以及被配置在第三环形光波导和第三轨道光波导周围的第三增强部件，其中，第一水平、第二水平和第三水平是彼此不同的，第一环形光波导、第二环形光波导和第三环形光波导垂直地对准，以及第一增强部件、第二增强部件和第三增强部件所具有的宽度小于第一环形光波导、第二环形光波导和第三环形光波导的宽度。
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1.一种光子结构，包括：
2.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述轨道光波导、所述环形光波导和所述增强部件形成在半导体衬底上方的相同水平处的所述半导体衬底上。
3.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述轨道光波导、所述环形光波导和所述增强部件包括由包覆材料围绕的相同材料。
4.根据权利要求3所述的光子结构，其中，所述包覆材料包括氧化硅。
5.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述环形光波导包括非线性材料，所述非线性材料选自由氮化硅(SiN)、铌酸锂(LiNbO3)、砷化铝镓(AlGaAs)、磷化铟(InP)、氮化铝(AlN)及它们的组合构成的组。
6.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述增强部件包括：
7.根据权利要求6所述的光子结构，其中，所述增强部件所包括的宽度小于所述轨道光波导和所述环形光波导的宽度。
8.根据权利要求6所述的光子结构，其中，
9.一种光子结构，包括：
10.一种光子结构，包括：
【技术特征摘要】
1.一种光子结构，包括：
2.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述轨道光波导、所述环形光波导和所述增强部件形成在半导体衬底上方的相同水平处的所述半导体衬底上。
3.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述轨道光波导、所述环形光波导和所述增强部件包括由包覆材料围绕的相同材料。
4.根据权利要求3所述的光子结构，其中，所述包覆材料包括氧化硅。
5.根据权利要求1所述的光子结构，其中，所述环形光波导包括非线性材料，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑文豪，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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