【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金属纳米器件表面处理领域，尤其涉及一种抑制金属材料表面原子迁移的结构以及制备方法。
技术介绍
1、随着金属镀层纳米器件的微型化，由金属原子的迁移导致纳米器件寿命的减小致使纳米器件的商业化大大受到影响。镀层中金属原子的迁移会降低纳米器件的性能，例如可用于第五代和第六代移动通信系统的纳米天线结构中的金属原子迁移会导致器件发射波段的不稳定进而导致其使用寿命下降；金属原子的迁移导致纳米线的断裂进而导致电路的短路；原子的迁移导致镀层的纳米形貌产生变化进而导致光学性能的下降(如线栅起偏器中铝原子的迁移导致其光学性能下降)等，现有的抑制金属材料表面原子迁移的技术是在金属表面镀上钝化层，如氧化物介电层，单分子层等。具体镀膜方式有原子层沉积,化学气相沉积,电子束蒸镀，热蒸镀，单分子层自组装等。但是这些常规方法将金属镀层表面进行修饰，改变了金属材料表面的化学性质、光学性质和电学性质，使基于金属镀层制造出来的纳米器件的应用场景受到限制。
2、现有技术中，缺少一种抑制金属材料表面原子迁移的金属薄膜镀层结构以及制备方法，能够有效且简单的...
【技术保护点】
1.一种抑制金属材料表面原子迁移的结构，其特征是：包括基体，所述基体表面设置有金属薄膜镀层，所述金属薄膜镀层表面至少部分形成非晶区域。
2.如权利要求1所述的抑制金属材料表面原子迁移的结构，其特征是：所述金属薄膜镀层设置为金镀层、银镀层、铜镀层、铝镀层、镍镀层、钛镀层、铬镀层、铂金镀层、钯镀层、钨镀层、铱镀层、镓镀层、锌镀层、钴镀层其中的一种或者几种金属元素组成的合金。
3.一种抑制金属材料表面原子迁移的结构制备方法，其特征是：包括以下步骤：
4.如权利要求3所述的制备方法，其特征是：所述步骤2)中，惰性气体设置为氦气、氖气、氩气、...
【技术特征摘要】
1.一种抑制金属材料表面原子迁移的结构，其特征是：包括基体，所述基体表面设置有金属薄膜镀层，所述金属薄膜镀层表面至少部分形成非晶区域。
2.如权利要求1所述的抑制金属材料表面原子迁移的结构，其特征是：所述金属薄膜镀层设置为金镀层、银镀层、铜镀层、铝镀层、镍镀层、钛镀层、铬镀层、铂金镀层、钯镀层、钨镀层、铱镀层、镓镀层、锌镀层、钴镀层其中的一种或者几种金属元素组成的合金。
3.一种抑制金属材料表面原子迁移的结构制备方法，其特征是：包括以下步骤：
4.如权利要求3所述的制备方法，其特征是：所述步骤2)中，惰性气体设置为氦气、氖气、氩气、氪气或者氙...
【专利技术属性】
技术研发人员：程鑫，庄鑫，韩兵，高诗阳，徐靖夫，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：
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