光斑尺寸转换器制造技术

本公开提供能够改善针对位置偏移的公差并且抑制耦合效率的变化的光斑尺寸转换器。光斑尺寸转换器具备第一光波导和第二光波导，所述第一光波导具有第一锥部，所述第一锥部沿着所述第一光波导所延伸的方向延伸，且越靠近所述第一光波导的端部越粗、越靠近所述第二光波导越细，所述第二光波导与所述第一锥部分离，并且具有第二锥部，所述第二锥部沿着所述第二光波导所延伸的方向延伸，且越靠近所述第一锥部越细、越远离所述第一锥部越粗。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光斑尺寸转换器。

技术介绍

1、有时将激光二极管等发光元件和光波导集中在一个装置。

2、通过光斑尺寸转换器来转换光的光斑尺寸，使光向光波导传输(专利文献1、非专利文献1、非专利文献2、非专利文献3等)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2004-184986号公报

6、非专利文献

7、非专利文献1：takeshi matsumoto et.al.“hybrid-integration of soa onsilicon photonics platform based on flip-chip bonding”journal of lightwavetechnology vol.37，no.2 307-313(2019)

8、非专利文献2：kazuya ohira et.al.“on-chip-optical interconnection byusing integrate iii-v laser diode and photodetect本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光斑尺寸转换器，其中，

2.根据权利要求1所述的光斑尺寸转换器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的长度是100μm以上。

4.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的长度是200μm以上。

5.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的靠近所述第二光波导一侧的粗度是所述第一锥部的靠近所述第一光波导的所述端部一侧的粗度的一半以下。

6.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一光波导的所述端部的粗度是6μm以上。p>

7.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种光斑尺寸转换器，其中，

2.根据权利要求1所述的光斑尺寸转换器，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的长度是100μm以上。

4.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的长度是200μm以上。

5.根据权利要求1或2所述的光斑尺寸转换器，其中，所述第一锥部的靠近所述第二光波导一侧的粗度是所述第一锥部的靠近所述第一光波导的所述端部一侧的粗度的一半以下。

【专利技术属性】
技术研发人员：小林国央，水野泰孝，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：

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