一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵制造技术

本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CVD‑SiC制备提供可靠和环保的MTS输送方案。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及化学气相沉积，具体的是用于化学气相沉积碳化硅(sic)过程中用于输送甲基三氯硅烷(mts)的蠕动泵。

技术介绍

1、本节中的陈述只提供与本公开有关的背景信息并且不构成现有技术。

2、在化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)技术中，碳化硅(sic)的制备过程通常涉及甲基三氯硅烷(methyltrichlorosilane，mts)和氢气(h2)体系，在该过程中，mts作为硅源，通过热分解在基底上沉积sic薄膜。由于mts的化学性质极具腐蚀性，mts的高腐蚀性和易燃易爆特性对输送系统提出了极高的要求，尤其是在蠕动泵输送mts的过程中；在传统的蠕动泵输送系统中，使用的软管材料容易受到mts的腐蚀，导致软管破裂；一旦软管破裂，腐蚀性的mts便会泄漏，不仅污染环境，还可能损害其他实验设备，影响实验的进行。

3、蠕动泵是一种常用的流体输送装置，特别适用于高精度、高纯度的化学试剂输送。传统的蠕动泵软管通常由常规橡胶或塑料材料制成，这样的软管在mts这种腐蚀性化学品作用下易发生退化和破裂，一旦软管破裂，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种耐腐蚀蠕动泵管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的耐腐蚀蠕动泵管，其特征在于：

3.一种用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于，包括：

4.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于：

6.根据权利要求3-5任一项所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于：<...

【技术特征摘要】

1.一种耐腐蚀蠕动泵管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的耐腐蚀蠕动泵管，其特征在于：

3.一种用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于，包括：

4.根据权利要求3所述的用于化学气相沉积炉的蠕动泵，其特征在于，还包括：

5.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李爱军，周亚迪，霍彩霞，张方舟，张玉卓，贺杜炜，王剑浩，郭子源，季志豪，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：