一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器制造技术

本发明专利技术公开了一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，涉及红外探测器技术领域。该光子晶体增强胶体量子点红外探测器，通过引入光子晶体结构，可以对入射的红外光进行放大，增强了光与量子点的相互作用，从而提高了光响应度；另一方面，量子点嵌套在光子晶体中，与衬底的接触更加紧密，可提高其使用过程中的高稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外探测器，具体为一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器。

技术介绍

1、红外图像传感器广泛应用于军事国防领域，包括飞机导弹、侦察卫星、舰艇、装甲车辆、单兵武器等；社会安全领域，包括消防救援、执法搜救、警用侦察、城市监控等平台；民用民生领域，包括电力巡检、环境监测、医疗检疫、工业监控、智能生活等平台。红外探测器是实现红外成像的关键部件，基于红外胶体量子点的红外探测器具有低成本的潜力，被广泛研究。

2、量子点(qd)是几纳米大小的半导体粒子，由于量子力学，其光学和电子特性不同于较大粒子。当量子点被紫外线照射时，量子点中的电子可以被激发到更高能量的状态。在半导体量子点的情况下，这个过程对应于电子从价带到导带的跃迁。被激发的电子可以回到价带，以光的形式释放能量；

3、量子点具有介于大块半导体和离散原子或分子之间的特性。它们的光电特性随着尺寸和形状的变化而变化。直径为5–6nm的较大qd会发射更长的波长，颜色如橙色或红色。较小的量子点(2–3nm)发射较短的波长，产生蓝色和绿色等颜色。然而，具体颜色取决于qd的确切组成；

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【技术保护点】

1.一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于：所述步骤S1中衬底1选择具有氧化硅的硅衬底或者CMOS芯片衬底。

3.根据权利要求1所述的一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于：所述步骤S2中钛金属厚度为2-20nm，金的厚度为30-300nm。

4.根据权利要求1所述的一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于：所述步骤S3中介质层的材料可以选择二氧化硅、氮化硅或者二氧化钛等其中的一种，其厚度为50-300nm。

【技术特征摘要】

1.一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光子晶体增强胶体量子点红外探测器，其特征在于：所述步骤s1中衬底1选择具有氧化硅的硅衬底或者cmos芯片衬底。

3.根据权利要求1所述的一种光子晶体增强胶体量子点...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑玉琳，
申请(专利权)人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：