【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件、以及碱产生剂。
技术介绍
1、如今，在各种领域中，使用包含树脂的树脂组合物来应用树脂材料。
2、例如，聚酰亚胺等环化树脂由于耐热性及绝缘性等优异，因此适用于各种用途。作为上述用途，并没有特别限定，若以实际安装用半导体器件为例，则可以举出作为绝缘膜、密封材料的素材或保护膜的利用。并且，也可以用作挠性基板的基底膜、覆盖层等。
3、例如，在上述用途中，聚酰亚胺等环化树脂以包含聚酰亚胺前体等环化树脂的前体的树脂组合物的方式使用。
4、将此类树脂组合物例如通过涂布等适用于基材上而形成感光膜，之后根据需要进行曝光、显影、加热等，由此能够在基材上形成固化物。
5、聚酰亚胺前体等上述环化树脂的前体例如通过加热被环化而在固化物中成为聚酰亚胺等环化树脂。
6、由于能够通过公知的涂布方法等适用树脂组合物，因此，可以说例如所适用的树脂组合物的适用时的形状、大小、适用位置等设计自由度高等制造上的适应性优异。除了聚酰亚胺等环化树脂所具有的高性能以外，从此类制造上的适应性也优异的观点出发，上述树脂组合物在产业上的应用拓展越发令人期待。
7、例如，专利文献1中记载有一种感光性树脂组合物，其特征为含有以由特定化学式表示且通过电磁波的照射和加热产生碱为特征的碱产生剂、以及通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而向最终生成物的反应得到促进的高分子前体及上述碱产生剂。
9、专利文献
10、专利文献1：日本特开2011-089102号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术课题
2、在用于获得固化物的树脂组合物中，要求所获得的固化物图案的图案矩形性优异。
3、本专利技术的目的在于提供一种可以获得图案矩形性优异的固化物的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、上述层叠体的制造方法、包括上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件。
4、并且，本专利技术的目的在于提供一种新型碱产生剂。
5、用于解决技术课题的手段
6、以下，示出本专利技术的代表性实施方式的例子。
7、<1>一种树脂组合物，其包含：
8、树脂；
9、碱产生剂；及
10、感光剂，
11、上述碱产生剂具有2个以上的酰胺基，上述酰胺基中，至少2个酰胺基中的羰基分别与具有羟基及羧基中的至少一者的1价有机基团键合，
12、上述碱产生剂不包含一末端与芳香环直接键合且另一末端与酰胺基中的羰基直接键合的烯属不饱和键。
13、<2>一种树脂组合物，其包含：
14、树脂；
15、碱产生剂；及
16、感光剂，
17、上述碱产生剂具有2个以上的酰胺基，上述酰胺基中，至少2个酰胺基中的羰基分别与具有羟基及羧基中的至少一者的1价有机基团键合，
18、上述有机基团中连结上述羰基与上述羟基或上述羧基中至少1个的连结基团为芳香族基团、饱和脂肪族烃基或由这些的键合表示的基团、或者由芳香族基团及饱和脂肪族烃基中的至少一者与-o-、-s-或-nrn-的组合表示的基团。
19、<3>一种树脂组合物，其包含：
20、树脂；
21、碱产生剂；及
22、感光剂，
23、上述碱产生剂具有2个以上的酰胺基，上述酰胺基中，至少2个酰胺基中的羰基分别与具有羟基及羧基中的至少一者的1价有机基团键合，
24、上述碱产生剂在波长365nm处的摩尔吸光系数为100mol-1·l·cm-1以下。
25、<4>根据<1>至<3>中任一项所述的树脂组合物，其中，
26、上述碱产生剂为由下述式(1-1)表示的化合物。
27、[化学式1]
28、
29、式(1-1)中，r1分别独立地表示氢原子或1价有机基团，r1彼此可以连结而形成环结构，r2分别独立地表示氢原子或1价有机基团，r2彼此可以连结而形成环结构，n分别独立地表示0以上的整数，z分别独立地表示单键、-o-、-s-或-nrn-，rn分别独立地表示氢原子或烃基，ar分别独立地表示单键或芳香族基团，l1分别独立地表示单键或可以被取代的亚烷基，a分别独立地表示羟基或羧基，m表示2以上的整数，x表示m价连结基团，r1中至少一者与x可以连结而形成环结构，不包括n为o、ar为单键、且l1成为单键的情况，不包括n为o、且z成为-o-、-s-或-nrn-的情况。
30、<5>根据<4>所述的树脂组合物，其中，
31、式(1-1)中的上述a为羟基。
32、<6>根据<4>或<5>所述的树脂组合物，其中，
33、式(1-1)中的上述r1中至少一者为1价有机基团。
34、<7>根据<4>至<6>中任一项所述的树脂组合物，其中，
35、式(1-1)中的上述x为饱和脂肪族烃基、芳香族烃基或由这些的组合表示的基团、或者由饱和脂肪族烃基、芳香族烃基或由这些的组合表示的基团与选自-o-、-c(＝o)-、-s-、-s(＝o)2-及-nrn-中的至少1个结构的组合表示的基团。
36、<8>根据<1>至<7>中任一项所述的树脂组合物，其中，
37、上述树脂为环化树脂或其前体。
38、<9>根据<1>至<8>中任一项所述的树脂组合物，其中，
39、上述树脂包含选自具有烯属不饱和基团的基团、环氧化物、氧杂环丁烷、醛及酮中的至少1个基团。
40、<10>根据<1>至<9>中任一项所述的树脂组合物，其还包含光聚合引发剂作为上述感光剂。
41、<11>根据<1>至<10>中任一项所述的树脂组合物，其还包含聚合性化合物。
42、<12>根据<1>至<11>中任一项所述的树脂组合物，其包含环化树脂或其前体作为上述树脂且用于形成再配线层用层间绝缘膜。
43、<13>一种固化物，其是固化<1>至<12>中任一项所述的树脂组合物而成的。
44、<14>一种层叠体，其包含2层以上由<13>所述的固化物形成的层，在由上述固化物形成的层彼此中的任意者之本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种树脂组合物，其包含：
2.一种树脂组合物，其包含：
3.一种树脂组合物，其包含：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂组合物，其中，
5.根据权利要求4所述的树脂组合物，其中，
6.根据权利要求4或5所述的树脂组合物，其中，
7.根据权利要求4至6中任一项所述的树脂组合物，其中，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的树脂组合物，其中，
9.根据权利要求1至8中任一项所述的树脂组合物，其中，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的树脂组合物，其还包含光聚合引发剂作为所述感光剂。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂组合物，其还包含聚合性化合物。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的树脂组合物，其包含环化树脂或其前体作为所述树脂且用于形成再配线层用层间绝缘膜。
13.一种固化物，其是固化权利要求1至12中任一项所述的树脂组合物而成的。
14.一种层叠体，其包含2层以上由权利要求13所述的固化物形成的层，在由
15.一种固化物的制造方法，其包括在基材上适用权利要求1至12中任一项所述的树脂组合物而形成膜的膜形成工序。
16.根据权利要求15所述的固化物的制造方法，其包括对所述膜进行选择性曝光的曝光工序以及使用显影液对所述膜进行显影而形成图案的显影工序。
17.根据权利要求15或16所述的固化物的制造方法，其包括在50℃～450℃下加热所述膜的加热工序。
18.一种层叠体的制造方法，其包括权利要求15至17中任一项所述的固化物的制造方法。
19.一种半导体器件的制造方法，其包括权利要求15至17中任一项所述的固化物的制造方法或权利要求18所述的层叠体的制造方法。
20.一种半导体器件，其包含权利要求13所述的固化物或权利要求14所述的层叠体。
21.一种碱产生剂，其由下述式(1-1)表示，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种树脂组合物，其包含：
2.一种树脂组合物，其包含：
3.一种树脂组合物，其包含：
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂组合物，其中，
5.根据权利要求4所述的树脂组合物，其中，
6.根据权利要求4或5所述的树脂组合物，其中，
7.根据权利要求4至6中任一项所述的树脂组合物，其中，
8.根据权利要求1至7中任一项所述的树脂组合物，其中，
9.根据权利要求1至8中任一项所述的树脂组合物，其中，
10.根据权利要求1至9中任一项所述的树脂组合物，其还包含光聚合引发剂作为所述感光剂。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂组合物，其还包含聚合性化合物。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的树脂组合物，其包含环化树脂或其前体作为所述树脂且用于形成再配线层用层间绝缘膜。
13.一种固化物，其是固化权利要求1至12中任一项所述的树脂组合物而成的。<...
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