具有带延伸红外透射的薄、耐久性抗反射涂层的制品制造技术

描述了一种制品，其包含：基板，具有相对的主表面；以及光学膜结构，与第一主表面直接接触且包括自约50nm至小于500nm的物理厚度；高折射率(RI)及低RI层，具有直接位于所述第一主表面上的第一低RI层；以及顶盖低RI层。所述高及低RI层总共三(3)层至九(9)层，其中每个低RI层及所述顶盖低RI层包括含硅氧化物，且每个高RI层包括含硅氮化物或氮氧化物。所述制品表现出在≥约50nm的压痕深度上测量的8GPa或更大的Berkovich最大硬度。所述制品在0°入射时表现出在自840至860nm及自930至950nm的红外波长下＞85％的双侧平均透射率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及具有带延伸红外透射的薄、耐久性抗反射涂层的制品。

技术介绍

1、本专利技术涉及具有带延伸红外(infrared，ir)透射的薄、耐久性抗反射涂层的制品，且更具体，涉及具有带此类性质的薄、多层抗反射涂层的制品。

2、覆盖制品通常用于保护电子产品内的装置及组件，提供用于输入和/或显示的用户接口，保护相机盖和/或传感器，和/或用于许多其他功能。此类产品包含移动装置，例如智能型手机、智能型手表、mp3播放器及计算机平板。覆盖制品还包含建筑制品、运输制品(例如用于汽车应用、列车、飞机、海轮等的内部及外部显示及非显示制品)、电器制品或可受益于某种透明度、耐刮擦性、耐磨性或其组合的任何制品。就最大透射及最小反射而言，这些应用通常需要耐刮擦性及强大的光学效能特性。在一些显示器、相机及传感器应用中，覆盖此类元件中的一种或多种的制品应提供机械保护以及高可见光透射(例如在相机及显示器上)及高ir波长(例如940nm)透射(例如用于传感器应用，诸如接近、光检测和测距(light-detection and ranging，lidar)及飞行时间传感器)。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制品，包括：

2.如权利要求1所述的制品，其中所述制品表现出在约50nm或更大的压痕深度上测量的10GPa或更大的最大硬度。

3.如权利要求1或2所述的制品，其中所述制品在6°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下小于1.5％且在自930nm至950nm的红外波长下小于3％的单侧平均反射率。

4.如权利要求1至3中任一项所述的制品，其中所述制品在0°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下大于92％且在自930nm至950nm的红外波长下大于89％的双侧平均透射率。

5.如权利要求1至4中任一项所述的制品，其中...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种制品，包括：

2.如权利要求1所述的制品，其中所述制品表现出在约50nm或更大的压痕深度上测量的10gpa或更大的最大硬度。

3.如权利要求1或2所述的制品，其中所述制品在6°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下小于1.5％且在自930nm至950nm的红外波长下小于3％的单侧平均反射率。

4.如权利要求1至3中任一项所述的制品，其中所述制品在0°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下大于92％且在自930nm至950nm的红外波长下大于89％的双侧平均透射率。

5.如权利要求1至4中任一项所述的制品，其中所述制品表现出在6°入射及20°入射时小于1％的单侧适光平均反射率及在0°入射时大于93％的双表面适光平均透射率。

6.如权利要求1至5中任一项所述的制品，其中所述制品表现出在6°及20°入射时小于5的第一表面反射颜色(√(a*2+b*2))、针对自0°至60°入射的所有角度小于10的第一表面反射颜色(√(a*2+b*2))及在0°入射时小于2的双表面透射颜色(√(a*2+b*2))。

7.如权利要求1至6中任一项所述的制品，其中所述基板为玻璃基板或玻璃陶瓷基板。

8.如权利要求1至7中任一项所述的制品，其中所述顶盖低ri层及所述多个交替的高ri及低ri层总共五(5)层至七(7)层。

9.如权利要求1至8中任一项所述的制品，其中所述光学膜结构包括自275nm至350nm的物理厚度，每个高ri层为sinx，每个低ri层为sio2且所述顶盖低ri层为sio2。

10.一种消费性电子产品，包括：

11.一种制品，包括：

12.如权利要求11所述的制品，其中所述制品表现出在约50nm或更大的压痕深度上测量的10gpa或更大的最大硬度。

13.如权利要求11或12所述的制品，其中所述制品在6°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下小于1.5％且在自930nm至950nm的红外波长下小于3％的单侧平均反射率。

14.如权利要求11至13中任一项所述的制品，其中所述制品在0°入射时表现出在自840nm至860nm的红外波长下大于89％且在自930nm至950nm的红外波长下大于92％的双侧平均透射率。

15.如权利要求11至14中任一项所述的制品，其中所述制品表现出在6°入射及20°入射时小于1％的单侧适光平均反射率及在0°入射时大于93％的双表面适光平均透射率。

16.如权利要求11至15中任一项所述的制品，其中所述制品表现出在6°及20°入射时小于5的第一表面反射颜色(√(a*2+b*2))、针对自0°至60°入射的所有角度小于10的第一表面反射颜色(√(a*2+b*2))及在0°入射时小于2的...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·D·哈特，K·W·科奇三世，C·A·科斯基威廉姆斯，林琳，J·J·普莱斯，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：