一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构制造技术

技术编号:40937766 阅读:21 留言:0更新日期:2024-04-18 14:56
本申请涉及一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,包括:真空加热平台,所述真空加热平台上方设置有微孔石墨板,所述微孔石墨板用于真空吸附薄膜;所述微孔石墨板上方还设置有盖板,所述盖板用于夹持薄膜,所述盖板上设置有连通薄膜的避位槽;所述真空加热平台四个拐角均固定设置有腰孔型定位块,所述盖板上设置有对应的腰孔来定位安装在腰孔型定位块上;所述腰孔型定位块上设置有可转动的弹性锁扣,所述弹性锁扣用于锁紧盖板。本技术的真空吸附平台可以快速移动,拓宽了薄膜上制备镀层测试的可操作性;设置的腰孔型定位块和弹性锁扣,能更好的固定膜和盖板,旋转式锁紧装置的设计,操作方便快捷。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于薄膜上制备镀层设备,尤其是涉及一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构


技术介绍

1、氢能行业中,对于在薄膜上制备的镀层,所覆薄膜在8-15微米,需要用微孔材质进行真空吸附,整个平台在工艺过程中需要移动,速度在100mm/s-250mm/s,目前所用的真空加热平台都是慢速移动,上方的夹具多为靠重力维持,定位不够准确,容易产生相对移动。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是:为解决现有技术中的不足,从而提供一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,整体可以根据需要快速移动,并方便拆分和组装。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:

3、一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,包括:

4、真空加热平台,所述真空加热平台上方设置有微孔石墨板,所述微孔石墨板用于真空吸附薄膜;

5、所述微孔石墨板上方还设置有盖板,所述盖板用于夹持薄膜,所述盖板上设置有连通薄膜的避位槽;

6、所述真空加热平台四个拐角均固定设置有腰孔型定位块,所述盖板上设置有对应的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述弹性锁扣(15)与腰孔型定位块(14)仿形,且弹性锁扣(15)的尺寸不大于腰孔型定位块(14)的尺寸,所述盖板(13)上腰孔(16)能穿过弹性锁扣(15)。

3.根据权利要求2所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述腰孔型定位块(14)的厚度不大于盖板(13)的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述腰孔型定位块(14)与弹性锁扣(15)之...

【技术特征摘要】

1.一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述弹性锁扣(15)与腰孔型定位块(14)仿形,且弹性锁扣(15)的尺寸不大于腰孔型定位块(14)的尺寸,所述盖板(13)上腰孔(16)能穿过弹性锁扣(15)。

3.根据权利要求2所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述腰孔型定位块(14)的厚度不大于盖板(13)的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述腰孔型定位块(14)与弹性锁扣(15)之间设置有拉伸弹簧。

5.根据权利要求4所述的一种可快速移动的真空吸附平台夹持机构,其特征在于,所述真空加热平台(10)底部设置有第一凹槽,所述第一凹槽内设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙建新
申请(专利权)人:苏州细奉自动化有限公司
类型:新型
国别省市:

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