System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 摄像装置制造方法及图纸_技高网

摄像装置制造方法及图纸

技术编号:40933519 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 14:53
摄像装置具备:半导体基板;有效像素区域,包括有效像素;非有效像素区域,位于有效像素区域的周边,不包括有效像素;光电转换部,被配置在半导体基板的上方,包括位于有效像素区域的第1部分以及位于非有效像素区域的第2部分;遮光膜,位于光电转换部的第2部分的上方,包含钛或者钽;以及功能膜,位于遮光膜上,与遮光膜相接。功能膜的膜厚比遮光膜的膜厚小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及摄像装置


技术介绍

1、在数字相机等中广泛使用ccd(电荷耦合器件(charge coupled device))图像传感器及cmos(互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor))图像传感器。众所周知,这些图像传感器具有被形成于半导体基板的光电二极管。

2、另一方面,提出了将包括光电转换层的光电转换部配置在半导体基板的上方的构造(例如参照专利文献1及2)。具有这样的构造的摄像装置有时被称为层叠型的摄像装置。

3、在层叠型的摄像装置中,通过光电转换而产生的电荷被积蓄于电荷积蓄区域。与电荷积蓄区域中积蓄的电荷量相应的信号经由形成于半导体基板的ccd电路或者cmos电路被读出。

4、在先技术文献

5、专利文献

6、专利文献1:日本特开2012-209342号公报

7、专利文献2:美国专利第10868068号说明书


技术实现思路

1、本专利技术所要解决的课题

2、本公开提供能够抑制性能劣化的摄像装置。

3、用于解决课题的手段

4、本公开的一个方式所涉及的摄像装置具备:半导体基板;有效像素区域,包括有效像素;非有效像素区域,位于所述有效像素区域的周边,不包括所述有效像素;光电转换部,被配置在所述半导体基板的上方,包括位于所述有效像素区域的第1部分以及位于所述非有效像素区域的第2部分;遮光膜,位于所述光电转换部的所述第2部分的上方,包含钛或者钽;以及功能膜,位于所述遮光膜上,与所述遮光膜相接。所述功能膜的膜厚比所述遮光膜的膜厚小。

5、专利技术效果

6、根据本公开所涉及的摄像装置,能够抑制性能的劣化。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种摄像装置,具备:

2.如权利要求1所述的摄像装置,还具备:

3.如权利要求2所述的摄像装置,

4.如权利要求1至3中任一项所述的摄像装置,

5.如权利要求1至4中任一项所述的摄像装置,

6.如权利要求1至5中任一项所述的摄像装置,

7.如权利要求1至6中任一项所述的摄像装置,

8.如权利要求1至7中任一项所述的摄像装置,

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种摄像装置,具备:

2.如权利要求1所述的摄像装置,还具备:

3.如权利要求2所述的摄像装置,

4.如权利要求1至3中任一项所述的摄像装置,

5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:平濑顺司仲顺秋男留河优子
申请(专利权)人:松下知识产权经营株式会社
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1