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气体浓度分析方法及装置制造方法及图纸

技术编号:40910822 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 14:39
本申请提供一种气体浓度分析方法,该方法包括以下步骤:步骤S1、利用紫外分光光度法采集得待测物光谱;步骤S2、根据待测物光谱,计算得第一吸光度谱图;步骤S3、对第一吸光度谱图进行平滑处理,以获得第二吸光度谱图;步骤S4、根据第二吸光度谱图计算目标气体浓度。通过这种方式,可以避免待测物光谱中波动较大的值被忽略,从而可以在监控平台上实现真实污染物预警。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及气体检测,尤其涉及一种气体浓度分析方法及装置


技术介绍

1、目前,在工艺过程控制行业,比如芯片制造、液晶屏面板制造等行业中,在芯片刻蚀过程中会实时排放cl2等有毒有害气体,对人身安全及环境造成较大的危害,由于对低限值的要求,数据波动较大就会影响整个测量水平;在过程安全行业,比如氯碱行业,会产生naclo3、cl2这样的有毒有害物质、气体,超出一定浓度会导致中毒事件的发生,现有报警仪大都存在测试不灵敏等的问题,异常数据的出现会导致报警仪“谎报”;在应急监测、化工园区安全巡查方面,h2s、nh3、o3等污染性气体的排放量较高,监测过程数据的稳定性至关重要。

2、在相关技术中,针对异常数据的处理方法之一就是校准,通过校准方法,将异常值回归到合理范围内,但其维持时间短,需要多次操作,当进入非线性区域后,校准的作用濒临失效;另外,通过光谱平均的方法来降低异常值在整体数据中的影响,从而保证整体检测浓度数据在某个水平值上下波动,但这种方法对整体的光谱稳定性要求较高。

3、因此,如何在监测平台上真实预警污染物、发现有害气体值超标是当务之急。


技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种技术方案,解决相关技术中存在的浓度波动较大状况污染物预警不准确、难以实现真实污染物预警的问题。

2、基于以上问题,本申请提供一种气体浓度分析方法,该方法包括以下步骤:

3、步骤s1、利用紫外分光光度法采集得待测物光谱;

4、步骤s2、根据待测物光谱,计算得第一吸光度谱图;

5、步骤s3、对第一吸光度谱图进行平滑处理,以获得第二吸光度谱图;

6、步骤s4、根据第二吸光度谱图计算目标气体浓度。

7、进一步的,步骤s3中,采用指数加权移动平均算法对第一吸光度谱图进行平滑处理。

8、进一步的,第一吸光度谱图包括各个采样时刻的原始吸光度,

9、步骤s3中还包括:

10、步骤s31、获取吸光度偏差,吸光度偏差为当前时刻的原始吸光度与相邻时刻的平滑吸光度之差,平滑吸光度由原始吸光度经过平滑处理获得;

11、步骤s32、将吸光度偏差与预设判定阈值进行对比,

12、响应于吸光度偏差小于预设判定阈值,采用第一指数加权移动平均关系式对原始吸光度进行平滑处理,以获得当前时刻的平滑吸光度,

13、响应于吸光度偏差大于预设判定阈值,采用第二指数加权移动平均关系式对原始吸光度进行平滑处理,以获得当前时刻的平滑吸光度,其中,第一指数加权移动平均关系式的平滑系数小于第二指数加权移动平均关系式的平滑系数。

14、进一步的,预设判定阈值根据预警浓度下的判定吸光度设置。

15、进一步的,对第二吸光度谱图中各个时刻的平滑吸光度进行均值化处理以获得吸光度均值,根据吸光度均值计算目标气体浓度。

16、进一步的,步骤s1中,利用紫外分光光度法采集得待测物光谱包括:

17、构建传感器像元温度修正关系式,测量传感器的工作环境温度,根据传感器像元温度修正关系式对传感器像元接收光照后响应的电压信号进行修正,并根据修正后的电压信号绘制待测物光谱。

18、构建传感器像元温度修正关系式,包括以下步骤:

19、步骤s11、构建传感器像元接收光照时光强与电压的关系式,

20、步骤s12、构建波长与温度系数的关系式;

21、步骤s13、结合光强与电压的关系式以及波长与温度系数的关系式,获得传感器像元温度修正关系式。

22、进一步的,步骤s2中还包括对根据待测物光谱计算得的第一吸光度谱图进行温度和压力修正。

23、本申请还提供一种气体浓度分析装置,装置包括:

24、光源、分光组件和传感器,光源、分光组件和传感器配合,以采用紫外分光光度法采集得待测物光谱;

25、装置还包括处理单元,处理单元根据待测物光谱,计算得第一吸光度谱图;

26、处理单元还对第一吸光度谱图进行平滑处理,以获得第二吸光度谱图;

27、处理单元根据第二吸光度谱图计算目标气体浓度。

28、进一步的,处理单元中存储有传感器像元温度修正关系式,

29、气体浓度分析装置还包括温度检测单元,温度检测单元用于测量传感器的工作环境温度,处理单元根据传感器像元温度修正关系式对传感器像元接收光照后响应的电压信号进行修正,并根据修正后的电压信号绘制待测物光谱。

30、进一步的,气体浓度分析装置还包括标定单元,利用标定单元定期对光源的分光波长非线性进行修正,以及,定期对传感器的光谱漂移进行修正。

31、综上,本申请实施例提供的气体浓度分析方法首先将待测物光谱转换为第一吸光度谱图,再将第一吸光度谱图进行平滑处理获得第二吸光度谱图,并根据第二吸光度谱图计算目标气体浓度,通过这种方式,可以避免待测物光谱中波动较大的值被忽略,从而可以在监控平台上实现真实污染物预警。

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【技术保护点】

1.一种气体浓度分析方法,其特征在于,所述气体浓度分析方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

6.根据权利要求5所述的气体浓度分析方法,其特征在于,所述构建传感器像元温度修正关系式包括以下步骤:

7.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

8.一种气体浓度分析装置,其特征在于,所述装置包括:

9.根据权利要求8所述的气体浓度分析装置,其特征在于,

10.根据权利要求9所述的气体浓度分析装置,其特征在于,

【技术特征摘要】

1.一种气体浓度分析方法,其特征在于,所述气体浓度分析方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的气体浓度分析方法,其特征在于,

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭杰韩晓红项金冬于志伟唐怀武詹昭杨禹万应华李好王正贤王贝贝
申请(专利权)人:杭州泽天春来科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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