一种二氧化碳化学清洗监视管制造技术

本技术公开了一种二氧化碳化学清洗监视管，包括二氧化碳供应管一、二氧化碳供应管二和监视管壳体，所述二氧化碳供应管一通过密封法兰盘一与所述监视管壳体密封连接，所述二氧化碳供应管二通过密封法兰盘二与所述监视管壳体密封连接，该种二氧化碳化学清洗监视管，可以实时监控二氧化碳化学清洗过程中二氧化碳的供应浓度与速度，以便清洗设备和工作人员判断二氧化碳是否泄漏、二氧化碳化学清洗进程是否处于正常状态，并在与设定参数不符合时，主动发出警报，提示工作人员查看和检修，同时本技术还可以随时根据需求安装、拆卸、检修，具有操作简单、灵活程度高的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及化学清洗设备领域，具体为一种二氧化碳化学清洗监视管。

技术介绍

1、化学清洗是指利用化学方法及化学药剂达到清洗设备目的的方法，最初的化学清洗试剂普遍采用酸、碱、有机螯合剂、分散剂等化学药剂，达到溶解、清除附在金属表面的污垢、水垢的目的，适用于金属表面处理要求高的设备清洗。而随着科技的发展和进步，半导体行业的蓬勃发展对化学清洗提出了更高的要求，传统的化学清洗设备无法再用于精密、敏感的半导体设备的清洗作业，二氧化碳清洗应运而生，二氧化碳清洗是指利用二氧化碳气体的物理性质进行清洗的技术，因为二氧化碳是一种无毒、无味、无色、不易燃的气体，不会对环境造成污染，因此具有环保效果好的优点。二氧化碳清洗技术的应用范围非常广泛，包括电子、半导体、光学、医疗、食品、化工等领域。

2、在化学清洗设备运行过程中，需要使用监控管来采集化学清洗过程中的各项参数，以便清洗设备和工作人员判断化学清洗进程是否处于正常状态，比如申请号为：cn201310345460.3的中国专利，具体内容为：一种水冷壁化学清洗监视管，包括开口向上的pvc上部管道及竖直向下的pvc下部管道，pvc上下部管道之间由pvc斜管连接，在pvc斜管斜上壁外侧制有温度计套筒，在pvc下部管道上由上至下依次安装有管道上阀门、管道上法兰、管道下阀门及管道下法兰。就是一种经典的化学清洗监视管，但由于二氧化碳化学清洗设备采用的是二氧化碳，其与传统的清洗用酸、碱等清洗液存在着不同的化学状态和性质，因此传统的化学清洗监视管无法准确、及时的采集和反馈二氧化碳化学清洗设备中二氧化碳的供应参数。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种二氧化碳化学清洗监视管，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的化学清洗设备监视管无法准确采集、反馈二氧化碳化学清洗设备参数的问题。

2、本技术的技术方案是这样实现的：一种二氧化碳化学清洗监视管，包括二氧化碳供应管一、二氧化碳供应管二和监视管壳体，所述二氧化碳供应管一通过密封法兰盘一与所述监视管壳体密封连接，所述二氧化碳供应管二通过密封法兰盘二与所述监视管壳体密封连接，所述监视管壳体的底部靠近所述密封法兰盘二的位置设置有与所述监视管壳体内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器一，所述监视管壳体的顶部靠近所述密封法兰盘一的位置设置有与所述监视管壳体内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器二，所述监视管壳体的中部设置有与所述监视管壳体内部相连接的流速传感器，所述二氧化碳浓度检测传感器一、所述二氧化碳浓度检测传感器二、所述流速传感器均与电控柜电连接，所述电控柜的壳体上电连接有扩音器，所述扩音器下方设置有与所述电控柜电连接的工作指示灯和开关按钮，所述电控柜的侧边通过电缆接头与外部电力网电连接。

3、优选的，所述电控柜通过固定卡环可拆卸的固定在所述监视管壳体外部。

4、优选的，所述二氧化碳浓度检测传感器一、所述二氧化碳浓度检测传感器二、所述流速传感器均通过贴附在所述监视管壳体表面的电缆线与所述电控柜电连接，电缆线上每隔十厘米黏贴有一条固定黏贴带，所述固定黏贴带为绝缘胶带。

5、优选的，所述固定卡环包括与所述电控柜一体化成型的母环和子环，所述母环与所述子环中部成型有便于所述监视管壳体安装的通槽，所述母环与所述子环通过两个固定栓可拆卸的拧接在一起。

6、优选的，所述母环上成型的通槽中固定设置有卡合圈二，所述子环上成型的通槽中固定设置有卡合圈一。

7、优选的，所述电控柜包括绝缘的绝缘外壳体，所述绝缘外壳体内底部设置有数据储存模块，所述数据储存模块的一端通过插接头分别与所述二氧化碳浓度检测传感器一、所述二氧化碳浓度检测传感器二、所述流速传感器可拆卸的电连接，所述数据储存模块的上方与微处理器电连接，所述微处理器分别与蜂鸣警报器和电源盒电连接。

8、采用了上述技术方案，本技术的有益效果为：

9、该种二氧化碳化学清洗监视管，可以实时监控二氧化碳化学清洗过程中二氧化碳的供应浓度与速度，以便清洗设备和工作人员判断二氧化碳是否泄漏、二氧化碳化学清洗进程是否处于正常状态，并在与设定参数不符合时，主动发出警报，提示工作人员查看和检修，同时本技术还可以随时根据需求安装、拆卸、检修，具有操作简单、灵活程度高的优点。

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【技术保护点】

1.一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：包括二氧化碳供应管一(1)、二氧化碳供应管二(2)和监视管壳体(5)，所述二氧化碳供应管一(1)通过密封法兰盘一(3)与所述监视管壳体(5)密封连接，所述二氧化碳供应管二(2)通过密封法兰盘二(4)与所述监视管壳体(5)密封连接，所述监视管壳体(5)的底部靠近所述密封法兰盘二(4)的位置设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器一(6)，所述监视管壳体(5)的顶部靠近所述密封法兰盘一(3)的位置设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器二(7)，所述监视管壳体(5)的中部设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的流速传感器(8)，所述二氧化碳浓度检测传感器一(6)、所述二氧化碳浓度检测传感器二(7)、所述流速传感器(8)均与电控柜(10)电连接，所述电控柜(10)的壳体上电连接有扩音器(11)，所述扩音器(11)下方设置有与所述电控柜(10)电连接的工作指示灯(12)和开关按钮(13)，所述电控柜(10)的侧边通过电缆接头(14)与外部电力网电连接。

2.根据权利要求1所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述电控柜(10)通过固定卡环(9)可拆卸的固定在所述监视管壳体(5)外部。

3.根据权利要求1所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述二氧化碳浓度检测传感器一(6)、所述二氧化碳浓度检测传感器二(7)、所述流速传感器(8)均通过贴附在所述监视管壳体(5)表面的电缆线与所述电控柜(10)电连接，电缆线上每隔十厘米黏贴有一条固定黏贴带(15)，所述固定黏贴带(15)为绝缘胶带。

4.根据权利要求2所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述固定卡环(9)包括与所述电控柜(10)一体化成型的母环(901)和子环(902)，所述母环(901)与所述子环(902)中部成型有便于所述监视管壳体(5)安装的通槽，所述母环(901)与所述子环(902)通过两个固定栓(905)可拆卸的拧接在一起。

5.根据权利要求4所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述母环(901)上成型的通槽中固定设置有卡合圈二(904)，所述子环(902)上成型的通槽中固定设置有卡合圈一(903)。

6.根据权利要求1所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述电控柜(10)包括绝缘的绝缘外壳体(1001)，所述绝缘外壳体(1001)内底部设置有数据储存模块(1002)，所述数据储存模块(1002)的一端通过插接头(1003)分别与所述二氧化碳浓度检测传感器一(6)、所述二氧化碳浓度检测传感器二(7)、所述流速传感器(8)可拆卸的电连接，所述数据储存模块(1002)的上方与微处理器(1004)电连接，所述微处理器(1004)分别与蜂鸣警报器(1005)和电源盒(1006)电连接。

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【技术特征摘要】

1.一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：包括二氧化碳供应管一(1)、二氧化碳供应管二(2)和监视管壳体(5)，所述二氧化碳供应管一(1)通过密封法兰盘一(3)与所述监视管壳体(5)密封连接，所述二氧化碳供应管二(2)通过密封法兰盘二(4)与所述监视管壳体(5)密封连接，所述监视管壳体(5)的底部靠近所述密封法兰盘二(4)的位置设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器一(6)，所述监视管壳体(5)的顶部靠近所述密封法兰盘一(3)的位置设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的二氧化碳浓度检测传感器二(7)，所述监视管壳体(5)的中部设置有与所述监视管壳体(5)内部相连接的流速传感器(8)，所述二氧化碳浓度检测传感器一(6)、所述二氧化碳浓度检测传感器二(7)、所述流速传感器(8)均与电控柜(10)电连接，所述电控柜(10)的壳体上电连接有扩音器(11)，所述扩音器(11)下方设置有与所述电控柜(10)电连接的工作指示灯(12)和开关按钮(13)，所述电控柜(10)的侧边通过电缆接头(14)与外部电力网电连接。

2.根据权利要求1所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述电控柜(10)通过固定卡环(9)可拆卸的固定在所述监视管壳体(5)外部。

3.根据权利要求1所述的一种二氧化碳化学清洗监视管，其特征在于：所述二氧化碳浓度检测传感器一(6)、所述二氧化碳浓度检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：马久剑，沈昌平，
申请(专利权)人：天津市武清区嘉玺气体销售有限公司，
类型：新型
国别省市：