微纳流控芯片的对准装置及其使用方法制造方法及图纸

技术编号:40905009 阅读:16 留言:0更新日期:2024-04-18 14:36
本发明专利技术属于微纳流控芯片技术领域,具体为微纳流控芯片的对准装置及其使用方法,其中装置包括底座,所述底座的上端设置有放置架,放置架上部设置有对准机构,所述对准机构包括移动组件、夹持组件和吸附结构,所述移动组件包括横向驱动机构、竖向驱动机构和纵向驱动机构,所述吸附结构与纵向驱动机构连接,通过横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构的配合带动吸附机构三维移动,所述放置架的一侧设置有控制器,所述底座底部设置有成像组件,所述成像组件包括显微镜和CCD成像模块,所述CCD成像模块与控制器连接,所述控制器与外部的上位机连接。本发明专利技术可以自动实现芯片加工过程中的快速对准过程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微纳流控芯片,具体为微纳流控芯片的对准装置及其使用方法


技术介绍

1、微纳流控芯片,是指在芯片中包含了微米通道和纳米通道,将微米通道和纳米通道通过一定的方式组合而成。由于纳米通道尺寸比较小,纳米通道中阻力比较大,并且在纳米通道中压力损失也比较大,因此,单独应用纳米通道进行生化分析存在一定困难。目前微纳流控芯片大多采用微米通道与纳米通道相结合的集成体系,利用微米通道将分析样品引入纳米通道,对样品进行分离或者富集。

2、在芯片加工过程中,最重要的是加工通道,常见的方法是通过紫外线曝光的方法在两个芯片(盖片和基片)上分别制作微米和纳米沟道,再将两个芯片键合,形成闭环的通道;在键合过程中,沟道间的对准,尤为重要,直接影响芯片的质量。现有技术中,常见的是通过观察系统配合微动板方法实现对准;即通过挡板固定基片,通过微动板调整盖板的一边使其与基片的一边对齐,然后旋转微动板再调整盖片的另一边,使其与基片的另外一边对其,完成对基片的对准。这种方法调整速度较慢,对人员的操作经验要求较高。


技术实现思路

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【技术保护点】

1.微纳流控芯片的对准装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端设置有放置架(201),放置架(201)上部设置有对准机构,所述对准机构包括移动组件(2)、夹持组件(3)和吸附结构(4),所述移动组件(2)包括横向驱动机构、竖向驱动机构和纵向驱动机构,所述吸附结构(4)与纵向驱动机构连接,通过横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构的配合带动吸附机构三维移动,所述吸附结构(4)包括抽气泵(401)和与抽气泵(401)连接的吸盘(402),所述吸盘(402)的底部开设有定位槽,所述夹持组件(3)包括气泵(301)、出气管(302)、出气板(303)、控制阀(304)、进气管...

【技术特征摘要】

1.微纳流控芯片的对准装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上端设置有放置架(201),放置架(201)上部设置有对准机构,所述对准机构包括移动组件(2)、夹持组件(3)和吸附结构(4),所述移动组件(2)包括横向驱动机构、竖向驱动机构和纵向驱动机构,所述吸附结构(4)与纵向驱动机构连接,通过横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构的配合带动吸附机构三维移动,所述吸附结构(4)包括抽气泵(401)和与抽气泵(401)连接的吸盘(402),所述吸盘(402)的底部开设有定位槽,所述夹持组件(3)包括气泵(301)、出气管(302)、出气板(303)、控制阀(304)、进气管(305)、活塞伸缩杆(306)、移动板(307),所述移动板(307)上设置有当移动板(307)挤压基片时自动转动夹紧基片的限位块(314),所述放置架(201)的一侧设置有控制器(5),所述横向移动驱动机构、竖向移动机构和纵向驱动机构分别与控制器(5)连接,所述底座(1)底部设置有成像组件,所述成像组件包括显微镜(212)和ccd成像模块,所述ccd成像模块与控制器(5)连接,所述控制器(5)与外部的上位机连接。

2.根据权利要求1所述的微纳流控芯片的对准装置,其特征在于:所述放置架(201)的上端两侧设置有横向导轨(205),所述横向导轨(205)的上端滑动安装有移动架(211),所述移动架(211)的上部设置有纵向支架,所述纵向支架的侧面设置有若干纵向导轨,所述纵向导轨上滑动设置有纵向滑块,所述纵向滑块侧面设置有固定板(206),所述固定板(206)的侧端安装有安装板(213),所述安装板(213)的侧端滑动安装有升降块(214),所述升降块(214)远离安装板(213)的一端与抽气泵(401)连接。

3.根据权利要求2所述的微纳流控芯片的对准装置,其特征在于:所述横向驱动机构包括横向电机(202),所述横向电机(202)设置在放置架(201)一侧,所述横向电机(202)的输出端连接有横向螺纹杆(208),所述横向螺纹杆(208)的外壁上螺纹安装有移动块(210),所述移动块(210)与移动架(211)连接,所述放置架(201)上部靠近横向导轨(205)的一侧设置有距离传感器一(6),所述横向电机(202)和距离传感器一(6)分别与控制器(5)连接。

4.根据权利要求3所述的微纳流控芯片的对准装置,其特征在于:所述纵向驱动机构包括纵向电机(203),所述纵向电机(203)设置在纵向支架的一侧,所述纵向电机(203)的输出端设置有纵向螺纹杆(209),所述纵向螺纹杆(209)的外壁螺纹连接有固定块(215),所述固定块(215)与固定板206侧面连接,所述纵向导轨的一侧设置有距离传感器三(8),所述距离传感器三(8)和纵向电机(203)分别与控制器(5)连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员:韩文曼李惠
申请(专利权)人:深圳技术大学
类型:发明
国别省市:

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