本技术公开一种探针取料装置，包括吸嘴升降机构，所述吸嘴升降机构上设有放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构、真空吸取机构、旋转校正机构及两个视觉检测机构；所述放置盘检测机构和外观检测和坐标位置获取机构相邻设置；所述翻转机构的输出端与旋转校正机构相连，所述旋转校正机构的输出端与真空吸取机构相连。本技术解决了探针取料过程中的吸取及校正问题。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆测试的探针卡制造领域，具体涉及一种探针取料装置。
技术介绍
1、在半导体集成电路行业中，在测试机上进行晶圆级的电性测试时通常会使用到探针卡来进行辅助测试。现有的探针卡是将探针的一端固定在pcb板上，然后再通过pcb板与测试机台连接，探针的另一端则与晶圆上的每一块测试单元上的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。
2、而随着电子产品朝向精密化与多功能化发展，在电子产品内的集成电路之芯片趋于复杂，目前的芯片所需测试的脚位不断增加，故用以测试芯片的探针卡之探针数量也大幅增加，探针的取料效率及取料可靠性变得尤为重要。
3、在当前的探针取料过程中，下压力容易损坏探针，导致其变形损坏，影响产品的最终使用。而在采用平面吸取探针、垂直植入治具的场景中，平面吸取后的探针需要90°翻转后再垂直植入，探针植入的姿态存在偏差，使得植入治具内位置误差偏大，导致产品最终无法正常使用或变形损坏。
技术实现思路
1、为克服上述现有技术的不足，本技术提供一种探针取料装置，用以解决探针取料中的吸取及校正问题。
2、本技术是根据如下技术方案实现的：
3、一种探针取料装置，包括吸嘴升降机构，所述吸嘴升降机构上设有放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构、真空吸取机构、旋转校正机构及两个视觉检测机构；所述放置盘检测机构和外观检测和坐标位置获取机构相邻设置；所述翻转机构的输出端与旋转校正机构相连，所述旋转校正机构的输出端与真空吸取机构相连。
>4、优选地，所述吸嘴升降机构包括电动升降轴和与电动升降轴相连的连接板，所述连接板用于固定放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构及旋转校正机构的安装板。5、优选地，所述放置盘检测机构的安装板上设有位移传感器。
6、优选地，所述外观检测和坐标位置获取机构的安装板上设有检测相机，及与所述检测相机相适配的镜头和同轴光源。
7、优选地，所述翻转机构包括伺服电机和与所述伺服电机相连的第一旋转轴，所述第一旋转轴的输出端连接旋转校正机构。
8、优选地，所述旋转校正机构包括步进电机和与所述步进电机相连的第二旋转轴，所述第二旋转轴的输出端连接真空吸取机构。
9、优选地，所述真空吸取机构包括吸嘴。
10、优选地，所述视觉检测机构包括：第一视觉检测机构，设置于探针侧面；第二视觉检测机构，设置于探针正面。
11、优选地，所述第一视觉检测机构包括第一相机，与所述第一相机相适配的镜头及同轴光源；所述第二视觉检测机构包括第二相机，与所述第二相机相适配的镜头及同轴光源。
12、优选地，所述第一相机和第二相机的固定座底部均设置有xy调整台。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
14、(1)本技术通过放置盘检测机构检测放置盘上各测试点探针的相对高度并形成基准曲面，利用外观检测和坐标位置获取机构进行外观检测并获取待吸取探针的位置坐标，控制机构利用拟合基准曲面的相对高度对探针吸取的理论高度(即吸嘴升降机构的升降距离)进行补偿，并在吸嘴升降机构移动补偿后的距离时，控制真空吸取机构进行探针吸取，此时吸嘴既能够成功吸取探针，又不会触碰探针导致探针或吸嘴损坏，即通过各机构的相互配合，避免了探针吸取时因高度变化导致吸取不成功或吸嘴过低损坏产品及吸嘴的问题。
15、(2)本技术对吸取后的探针进行90°翻转后，通过探针正面旋转方向校正、探针侧面垂直校正和探针高度位置校正的相互配合，使得校正后的探针满足垂直植入治具的要求，解决了因机械零件制造和装配误差(含累积误差)导致探针吸取到植入治具位置整体偏差问题。
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【技术保护点】
1.一种探针取料装置，其特征在于，包括吸嘴升降机构，所述吸嘴升降机构上设有放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构、真空吸取机构、旋转校正机构及两个视觉检测机构；所述放置盘检测机构和外观检测和坐标位置获取机构相邻设置；所述翻转机构的输出端与旋转校正机构相连，所述旋转校正机构的输出端与真空吸取机构相连。
2.根据权利要求1所述一种探针取料装置，其特征在于，所述吸嘴升降机构包括电动升降轴和与电动升降轴相连的连接板，所述连接板用于固定放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构及旋转校正机构的安装板。
3.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述放置盘检测机构的安装板上设有位移传感器。
4.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述外观检测和坐标位置获取机构的安装板上设有检测相机，及与所述检测相机相适配的镜头和同轴光源。
5.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述翻转机构包括伺服电机和与所述伺服电机相连的第一旋转轴，所述第一旋转轴的输出端连接旋转校正机构。
6.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述旋转校正机构包括步进电机和与所述步进电机相连的第二旋转轴，所述第二旋转轴的输出端连接真空吸取机构。
7.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述真空吸取机构包括吸嘴。
8.根据权利要求1所述一种探针取料装置，其特征在于，所述视觉检测机构包括：第一视觉检测机构，设置于探针侧面；第二视觉检测机构，设置于探针正面。
9.根据权利要求8所述一种探针取料装置，其特征在于，所述第一视觉检测机构包括第一相机，与所述第一相机相适配的镜头及同轴光源；所述第二视觉检测机构包括第二相机，与所述第二相机相适配的镜头及同轴光源。
10.根据权利要求9所述一种探针取料装置，其特征在于，所述第一相机和第二相机的固定座底部均设置有XY调整台。
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【技术特征摘要】
1.一种探针取料装置，其特征在于，包括吸嘴升降机构，所述吸嘴升降机构上设有放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构、真空吸取机构、旋转校正机构及两个视觉检测机构；所述放置盘检测机构和外观检测和坐标位置获取机构相邻设置；所述翻转机构的输出端与旋转校正机构相连，所述旋转校正机构的输出端与真空吸取机构相连。
2.根据权利要求1所述一种探针取料装置，其特征在于，所述吸嘴升降机构包括电动升降轴和与电动升降轴相连的连接板，所述连接板用于固定放置盘检测机构、外观检测和坐标位置获取机构、翻转机构及旋转校正机构的安装板。
3.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述放置盘检测机构的安装板上设有位移传感器。
4.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其特征在于，所述外观检测和坐标位置获取机构的安装板上设有检测相机，及与所述检测相机相适配的镜头和同轴光源。
5.根据权利要求2所述一种探针取料装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓艳汉，陈竣，王莉，
申请(专利权)人：武汉华工激光工程有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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