【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空箱氦检装置，具体为一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置。
技术介绍
1、氦检装置，是用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
2、如申请号为cn202021388706.7的技术公开了一种用于真空箱氦检漏装置的氦气回收装置，类似于上述申请的射流抛光装置目前还存在以下几点不足：在进行氦气回收的过程中，不便于对氦气进行净化处理，回收的氦气纯度较低，此外，一般采用膜渗透法回收氦气的过程中需要频繁更换氦提取渗透膜，使用存在局限性。
3、于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，包括箱体、质谱室和净化回收组件，所述箱体的一侧连接有抽吸连接管，且箱体的内部上方设置有质谱室，所述质谱室的下方一侧安装有第一抽气泵，所述净化回收组件位于箱体的内部下方，且净化回收组件包括过滤室、杂质过滤层、单向阀管、回收室和氦提取渗透膜，所述过滤室的内部设
3、进一步的，所述质谱室的内部设置有离子源，且离子源的下侧设置有磁场分析器，并且磁场分析器的一侧安装有收集器。
4、进一步的，所述质谱室通过第一抽气泵与过滤室之间相互连通，所述回收室通过第二抽气泵与回收储气箱之间相互连通。
5、进一步的，所述箱体的内部中间设置有压缩气室，且压缩气室的一侧安装有空气压缩泵，并且空气压缩泵外接处理净化过的洁净气体。
6、进一步的，所述压缩气室的下方安装有膜清洗组件，且膜清洗组件位于氦提取渗透膜的背面。
7、进一步的，所述膜清洗组件包括送气管、高压喷头、导流罩和连通管，所述送气管的下方安装有高压喷头，且高压喷头的外侧固定有导流罩，所述导流罩的一次连通有连通管。
8、进一步的，所述膜清洗组件还包括分流管，所述连通管的下方等距离分布有八组分流管，且分流管的下侧开口处呈倾斜状结构。
9、本技术提供了一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，具备以下
10、有益效果：
11、本技术设置有净化回收组件，通过第一抽气泵便于将检测后的含氦气体进行抽吸并送入到过滤室的内部，通过过滤室内部的三层杂质过滤层便于对含氦气体中的杂质进行吸附过滤，并对含氦气体进行干燥吸潮，通过氦提取渗透膜能够利用不同气体的渗透性，从含氦气体中渗透提取氦气，实现氦气的回收净化，通过第二抽气泵便于将所提取的氦气送入至回收储气箱并进行压缩储存。
12、本技术设置有膜清洗组件，净化过的洁净气体能够压缩储存至压缩气室的内部，通过送气管、高压喷头便于喷出压缩气流，通过导流罩使得这部分气流能够进入至连通管中并流动至下侧等距离分布的八组分流管内部，最终通过分流管下侧的倾斜状开口喷出至氦提取渗透膜背面，进而便于对氦提取渗透膜进行气流冲洗，规避氦气回收过程中需要频繁更换氦提取渗透膜的麻烦。
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1.一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，包括箱体(1)、质谱室(3)和净化回收组件(8)，其特征在于，所述箱体(1)的一侧连接有抽吸连接管(2)，且箱体(1)的内部上方设置有质谱室(3)，所述质谱室(3)的下方一侧安装有第一抽气泵(7)，所述净化回收组件(8)位于箱体(1)的内部下方，且净化回收组件(8)包括过滤室(801)、杂质过滤层(802)、单向阀管(803)、回收室(804)和氦提取渗透膜(805)，所述过滤室(801)的内部设置有三层杂质过滤层(802)，且过滤室(801)的下方一侧连接有单向阀管(803)，所述单向阀管(803)的一侧设置有回收室(804)，且回收室(804)的内部安装有氦提取渗透膜(805)，所述回收室(804)的外部一侧安装有第二抽气泵(9)，且第二抽气泵(9)的下方安装有回收储气箱(10)。
2.根据权利要求1所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述质谱室(3)的内部设置有离子源(4)，且离子源(4)的下侧设置有磁场分析器(5)，并且磁场分析器(5)的一侧安装有收集器(6)。
3.根据权利要求1所述的
4.根据权利要求1所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述箱体(1)的内部中间设置有压缩气室(11)，且压缩气室(11)的一侧安装有空气压缩泵(12)，并且空气压缩泵(12)外接处理净化过的洁净气体。
5.根据权利要求4所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述压缩气室(11)的下方安装有膜清洗组件(13)，且膜清洗组件(13)位于氦提取渗透膜(805)的背面。
6.根据权利要求5所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述膜清洗组件(13)包括送气管(1301)、高压喷头(1302)、导流罩(1303)和连通管(1304)，所述送气管(1301)的下方安装有高压喷头(1302)，且高压喷头(1302)的外侧固定有导流罩(1303)，所述导流罩(1303)的一次连通有连通管(1304)。
7.根据权利要求6所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述膜清洗组件(13)还包括分流管(1305)，所述连通管(1304)的下方等距离分布有八组分流管(1305)，且分流管(1305)的下侧开口处呈倾斜状结构。
...【技术特征摘要】
1.一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，包括箱体(1)、质谱室(3)和净化回收组件(8)，其特征在于，所述箱体(1)的一侧连接有抽吸连接管(2)，且箱体(1)的内部上方设置有质谱室(3)，所述质谱室(3)的下方一侧安装有第一抽气泵(7)，所述净化回收组件(8)位于箱体(1)的内部下方，且净化回收组件(8)包括过滤室(801)、杂质过滤层(802)、单向阀管(803)、回收室(804)和氦提取渗透膜(805)，所述过滤室(801)的内部设置有三层杂质过滤层(802)，且过滤室(801)的下方一侧连接有单向阀管(803)，所述单向阀管(803)的一侧设置有回收室(804)，且回收室(804)的内部安装有氦提取渗透膜(805)，所述回收室(804)的外部一侧安装有第二抽气泵(9)，且第二抽气泵(9)的下方安装有回收储气箱(10)。
2.根据权利要求1所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述质谱室(3)的内部设置有离子源(4)，且离子源(4)的下侧设置有磁场分析器(5)，并且磁场分析器(5)的一侧安装有收集器(6)。
3.根据权利要求1所述的一种便于氦气回收净化的真空箱氦检装置，其特征在于，所述质谱室(3)通过第一抽气泵(7)与过滤室(801)之间相互连通...
【专利技术属性】
技术研发人员：冉振为，洪荣丰，曹大阳，杨效，汪浩，李长杰，
申请(专利权)人：湖北华尔升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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