【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种紫外光照装置、控制方法和紫外光固化设备。
技术介绍
1、紫外光固化系统广泛应用在集成电路的生产线上。紫外光固化系统主要包括承载晶圆的反应腔室、用于照射晶圆的紫外灯箱以及用于带动紫外灯箱内气体流动的送风装置和回风管道系统。为了保证晶圆上能获得足够光强的紫外光，紫外灯箱具有至少两个紫外光源。另外，为保证晶圆上光照均匀，紫外灯箱和反应腔室之间还设置了皮带旋转机构，皮带旋转机构带动紫外灯箱按照工艺需求进行旋转，从而使晶圆上各点获得均匀的紫外光照射。紫外光固化工艺要求皮带旋转机构带动两个承载台对应的紫外灯箱实现0～270°的往复运动。
2、皮带旋转机构通过皮带进行传动，皮带的内齿与从动带轮的外齿之间存在间隙，皮带的张紧度直接影响了传动效果。如果皮带过松，在紫外灯箱往复运动换向时会出现皮带与电机主动带轮之间相对滑动现象，同时导致运动到某些位置时电机阻力过大；皮带过紧则会增大张紧惰轮的受力，使张紧惰轮的转轴逐渐变形、倾斜，加剧皮带打滑风险，甚至在力矩较大时皮带与主动轮之间发生跳齿。以上两种情况都会导致电机脉冲位置和实际灯箱旋转位置存在偏差，进而影响紫外线光照效果，最终导致晶圆表面异常。
3、虽然，部分方案中设置张紧惰轮的位置可调，通过调节张紧惰轮的位置可调节皮带的张紧度。但张紧惰轮需要在停机状态下进行，一方面，如果停机调节张紧惰轮，则会造成当前加工的晶圆报废；另一方面，停机会调节严重影响生产效率，为企业造成较大的损失。
4、因此，如何减少紫外光固化过程造成晶圆表面异
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种紫外光照装置、控制方法和紫外光固化设备。
2、为实现本申请的目的而提供一种紫外光照装置，用于紫外光固化设备，包括光照机构和旋转机构，旋转机构包括主电机、带轮组件和皮带，带轮组件与光照机构相连、用于在主电机的驱动下转动、并带动光照机构旋转；皮带环绕带轮组件设置，用于带轮组件的传动；
3、旋转机构还包括张紧轮和调节组件；
4、张紧轮，用于张紧皮带；
5、调节组件，用于带动张紧轮移动、以实时调节皮带的张紧度。
6、在一些实施例中，旋转机构还包括检测组件和控制组件；
7、检测组件，用于检测张紧参数，张紧参数用于反映皮带的张紧度；
8、控制组件，用于接收检测组件发送的张紧参数、并根据张紧参数判断皮带的张紧度是否需要调节，若是，则控制调节组件进行相应的调节。
9、在一些实施例中，检测组件为扭矩传感器，张紧参数为主电机的当前扭矩；
10、根据张紧参数判断皮带的张紧度是否需要调节，包括：
11、比较当前扭矩和扭矩容许范围；
12、若当前扭矩小于扭矩容许范围的扭矩下限，则控制调节组件张紧皮带；
13、若当前扭矩大于扭矩容许范围的扭矩上限，则控制调节组件放松皮带。
14、在一些实施例中，调节组件包括调节电机和传动结构；
15、调节电机通过传动结构与张紧轮相连，传动结构用于将调节电机的转动转换为直线运动。
16、在一些实施例中，带轮组件包括主动齿轮和两个从动齿轮，主动齿轮和两个从动齿轮呈三角形分布；
17、主动齿轮与主电机相连，从动齿轮与光照机构一一对应地连接；
18、旋转机构还包括固定惰轮；
19、固定惰轮于一个从动齿轮与主动齿轮之间张紧皮带；
20、张紧轮于另一个从动齿轮与主动齿轮之间张紧皮带。
21、本申请还提供了一种控制方法，用于控制任意一种的紫外光照装置中皮带的张紧度，包括：
22、响应于张紧度调节指令，控制调节组件带动张紧轮移动、以调节皮带的张紧度。
23、在一些实施例中，张紧度调节指令包括张紧指令和放松指令；
24、响应于张紧度调节指令，控制调节组件带动张紧轮移动、以调节皮带的张紧度前，还包括：
25、获取主电机的当前扭矩；
26、比较当前扭矩和扭矩容许范围；
27、若当前扭矩小于扭矩下限，则发出张紧指令；
28、若当前扭矩大于扭矩上限，则发出放松指令。
29、在一些实施例中，扭矩上限为扭矩设定值与容许偏差值之和，扭矩下限为扭矩设定值与容许偏差值之差；
30、扭矩设定值为30n/m，容许偏差值为1n/m。
31、在一些实施例中，比较当前扭矩和扭矩容许范围的步骤，在主电机达到匀速旋转阶段后、并经过滞后时间后进行。
32、本申请还提供了一种紫外光固化设备，包括上述任意一种的紫外光照装置。
33、本申请具有以下有益效果：
34、本申请提供的紫外光照装置，其通过主电机驱动带轮组件转动，皮带在带轮组件间传动，带轮组件转动的同时带动光照机构转动。在皮带的张紧度过紧或过松时，调节组件可带动张紧轮移动，实现皮带张紧度的实时调节，避免皮带与带轮组件之间发生打滑或跳齿，进而保证紫外光均匀照射晶圆表面，减少了晶圆在紫外光固化过程中产生表面异常。
35、本申请还提供了一种应用于上述紫外光照装置的控制方法和一种包括上述紫外光照装置的紫外光固化设备，并具有上述优点。
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1.一种紫外光照装置，用于紫外光固化设备，其特征在于，包括光照机构和旋转机构，所述旋转机构包括主电机、带轮组件和皮带，所述带轮组件与所述光照机构相连、用于在所述主电机的驱动下转动、并带动所述光照机构旋转；所述皮带环绕所述带轮组件设置，用于所述带轮组件的传动；
2.根据权利要求1所述的紫外光照装置，其特征在于，所述旋转机构还包括检测组件和控制组件；
3.根据权利要求2所述的紫外光照装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的紫外光照装置，其特征在于，所述调节组件包括调节电机和传动结构；
5.根据权利要求2至4任意一项所述的紫外光照装置，其特征在于，所述带轮组件包括主动齿轮和两个从动齿轮，所述主动齿轮和两个所述从动齿轮呈三角形分布；
6.一种控制方法，用于控制权利要求1至5任意一项所述的紫外光照装置中皮带的张紧度，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述张紧度调节指令包括张紧指令和放松指令；
8.根据权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述扭矩上限为扭矩设定值与容许偏差
9.根据权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述比较所述当前扭矩和扭矩容许范围的步骤，在所述主电机达到匀速旋转阶段后、并经过滞后时间后进行。
10.一种紫外光固化设备，其特征在于，包括权利要求1至5任意一项所述的紫外光照装置。
...【技术特征摘要】
1.一种紫外光照装置，用于紫外光固化设备，其特征在于，包括光照机构和旋转机构，所述旋转机构包括主电机、带轮组件和皮带，所述带轮组件与所述光照机构相连、用于在所述主电机的驱动下转动、并带动所述光照机构旋转；所述皮带环绕所述带轮组件设置，用于所述带轮组件的传动；
2.根据权利要求1所述的紫外光照装置，其特征在于，所述旋转机构还包括检测组件和控制组件；
3.根据权利要求2所述的紫外光照装置，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的紫外光照装置，其特征在于，所述调节组件包括调节电机和传动结构；
5.根据权利要求2至4任意一项所述的紫外光照装置，其特征在于，所述带轮组件包括主动齿轮和两个从动齿轮，所述主动齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨建姣，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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