用于有效的表面区域蒸发的蒸发器制造技术

提供了一种用于进行热蒸发的方法和装置。热蒸发器包括扁平坩埚设计，相对于传统设计，它提供了用于蒸发要沉积的材料的增加的表面面积。增加用于蒸发的表面面积意味着，可以产生更多的蒸发材料的蒸气，这会增加蒸发器主体内部的压力，导致蒸发材料流出喷嘴的流量增加。扁平坩埚可以与热蒸发器的蒸发器主体附接。扁平坩埚可以整合在蒸发器主体内。蒸发器主体可以包括多个纵向凹槽，这些凹槽增加了蒸发器主体的表面面积。热蒸发器可以包括多个挡板，这些挡板将热蒸发器分成单独的隔室。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开内容大致与用于为反应性沉积工艺提供气体的蒸发系统相关。更详细而言，本公开内容大致与一种热蒸发器设计相关，它在相对较低的温度下提供均匀的蒸发速率。

技术介绍

1、对柔性基板(诸如塑料膜或箔)的处理，在包装行业、半导体行业和其他行业都有很高的需求。处理可以包括用选定的材料(诸如金属)对柔性基板进行涂层。这些涂层的经济生产经常受到产品所需的厚度均匀性、涂层材料的反应性、涂层材料的成本以及涂层材料的沉积速率的限制。最苛刻的应用通常涉及在真空腔室中沉积，以精确控制涂层厚度和最佳光学性质。真空涂层设备的高资本成本使得大规模的商业应用必须要有高产量的涂层区域。每单位时间的涂层面积通常与涂层基板的宽度和涂层材料的真空沉积速率成正比。

2、能够利用大型真空腔室的工艺具有巨大的经济优势。真空涂层腔室、基板处理和搬运设备以及泵送能力，其成本随着腔室的尺寸而增加，但不是线性的。因此，对于固定的沉积速率和涂层设计来说，最经济的工艺将利用可用的最大的基板。在涂层制造完成后，较大的基板一般可以被制作成离散的部分。在由连续的卷材制造产品的情况下，卷材被分切或片状切割成最本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发组件，包括：

2.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发表面面积与该喷嘴开口表面面积的面积比为从约100至约330。

3.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的该顶表面是平坦表面。

4.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的该顶表面具有界定纵向凹槽的曲折图案。

5.如权利要求4所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的相对侧壁具有界定纵向凹槽的曲折图案。

6.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体包括具有多个挡板的挡板区域，每个挡板从该蒸发器主体的第一侧壁延伸到该蒸发器主体的第二侧壁，其中该第一侧壁与该...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种蒸发组件，包括：

2.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发表面面积与该喷嘴开口表面面积的面积比为从约100至约330。

3.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的该顶表面是平坦表面。

4.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的该顶表面具有界定纵向凹槽的曲折图案。

5.如权利要求4所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体的相对侧壁具有界定纵向凹槽的曲折图案。

6.如权利要求1所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体包括具有多个挡板的挡板区域，每个挡板从该蒸发器主体的第一侧壁延伸到该蒸发器主体的第二侧壁，其中该第一侧壁与该第二侧壁相对。

7.如权利要求6所述的蒸发组件，其中该蒸发器主体进一步包括定位在该挡板区域下方的加热器区域，该加热器区域包括多个管状加热器，该蒸发器主体具有界定开口的底表面，该开口与该矩形主体中的该开口对应。

8.如权利要求7所述的蒸发组件，进一步包括将该矩形主体分成单独的隔室的多个挡板。

9.如权利要求8所述的蒸发组件，其中每个挡板从该矩形主体的底表面通过该开口延伸到相邻的管状加热器之间的该加...

【专利技术属性】
技术研发人员：山布·昆杜，普拉桑纳卡莱什瓦拉·布达帕·拉马钱德拉帕，维森特·M·林，苏布拉曼亚·P·赫尔勒，维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：