【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术属于晶圆加工，特别是涉及一种模块化高效晶圆取料装置。
技术介绍
0、
技术介绍
1、晶圆加工过程中需要将晶圆在各个工序之间进行加工处理，现有技术中主要采用晶圆搬运机器人对晶圆进行搬运取放，晶圆搬运机器人从多层的晶圆料盒中将晶圆一片一片的取出，然后通过其他的搬运机构或者直接通过同一个晶圆搬运机器人将其转移到加工设备上。
2、现有技术中专利公开号为cn219155779u公开了一种搬运机器人、公开号为cn218957703u公开了一种晶圆取放牙叉机构，其每次均只能从晶圆料盒中取出一片晶圆，待取料机构将晶圆完全从料盒中取出后且同时取料机构取出的晶圆被释放转移后才能伸入到晶圆料盒中拾取下一片晶圆，而随着生产要求的逐步提升，晶圆的加工效率要求越来越高，单片晶圆的取料节拍已无法满足高节拍的生产工艺需求。
3、因此，需要提供一种新的模块化高效晶圆取料装置来解决上述问题。
技术实现思路
0、
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一...
【技术保护点】
1.一种模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：其包括壳体以及设置在所述壳体上的至少一个取料单元，每个所述取料单元包括驱动模组以及受所述驱动模组驱动进行独立运动的第一取料叉与第二取料叉，所述第一取料叉与所述第二取料叉呈高度错位分布且在所述壳体的上方空间内进行水平伸缩运动。
2.如权利要求1所述的模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：所述驱动模组包括设置在所述壳体内部的第一驱动组件与第二驱动组件、受所述第一驱动组件驱动进行水平直线运动的第一支撑板以及受所述第二驱动组件驱动进行水平直线运动的第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板分别位于所述壳体的左右两侧，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：其包括壳体以及设置在所述壳体上的至少一个取料单元，每个所述取料单元包括驱动模组以及受所述驱动模组驱动进行独立运动的第一取料叉与第二取料叉，所述第一取料叉与所述第二取料叉呈高度错位分布且在所述壳体的上方空间内进行水平伸缩运动。
2.如权利要求1所述的模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：所述驱动模组包括设置在所述壳体内部的第一驱动组件与第二驱动组件、受所述第一驱动组件驱动进行水平直线运动的第一支撑板以及受所述第二驱动组件驱动进行水平直线运动的第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板分别位于所述壳体的左右两侧，所述第一支撑板与所述第二支撑板自所述壳体内部水平向外延伸至所述壳体外部。
3.如权利要求2所述的模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：所述第一取料叉固定在所述第一支撑板上，所述第二取料叉固定在所述第二支撑板上。
4.如权利要求2所述的模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：所述壳体内设置有包括相对设置的第一侧立板与第二侧立板；所述第一驱动组件设置在所述第一侧立板上，所述第二驱动组件设置在所述第二侧立板上。
5.如权利要求4所述的模块化高效晶圆取料装置，其特征在于：所述第一驱动组件包括固定在所述第一侧立板上的第一电机、受所述第一电机驱动进行循环传动的第一传送带以及平行于所述第一传送带固定设置在所述第一侧立板上的第一滑轨，所述第一支撑板通过滑块滑动设置在所述第一滑轨上且与所述第一传送带本体固定连接。
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺竞人，朱俊杰，杜王杰，
申请(专利权)人：江苏元泰智能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。