一种大尺寸平面靶冷等静压的方法技术

技术编号：40833539 阅读：3 留言：0更新日期：2024-04-01 14:57

本发明专利技术涉及ITO平面靶成型技术领域，公开了一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，将靶坯、PE板交替堆叠并压紧，使靶坯两侧面均与PE板贴合，进行冷等静压加工；PE板的洛氏硬度为30～60。本发明专利技术通过对PE板的硬度进行选择，能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免因为PE板的硬度太低或太高所导致的靶材变形、靶材开裂的问题。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ito平面靶成型，具体涉及一种大尺寸平面靶冷等静压的方法。

技术介绍

1、ito平面靶是一种用于光学薄膜涂层的基板材料，由氧化铟锡薄膜覆盖在玻璃、塑料或其他基材上制成。这种平面靶通常用于制造光电子器件，如液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等。它具有优良的导电性、透明性和耐腐蚀性，是制造高性能光电子产品的重要材料之一。

2、cn201721748063.0公开了及一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具，包括上夹板和下夹板，还包括有底托和用于防止靶材滑落的底部挡块，所述的下夹板连接在底托上，底部挡块安装在底托的一端上并紧靠下夹板的端面，下夹板上安装有连接螺栓，上夹板上开有与螺栓配合的螺栓孔，上夹板的螺栓孔套装到下夹板的连接螺栓上并通过螺母紧固。

3、上述技术方案可用于装夹大尺寸平面靶材素坯，在上夹板和下夹板的作用下，减小靶材素坯在冷等静压过程中的变形，但是上述技术方案一次只能装载一块靶材，效率低，并且对于上夹板和下夹板的硬度并没有进行过多的说明，如果硬度太低，则达不到限制靶材形变的作用；如果硬度太高，那么靶材受力过大，容易导致靶坯开裂。

4、cn201710707384.4公开了一种平面陶瓷靶材素坯的冷等静压夹具，设有多个层叠设置的夹板和用于对夹板施加弹性力以便夹持素坯的夹板固定装置，相邻夹板的相对面为用于夹持素坯的夹持面，在夹板内分布有连通至夹板夹持面的垂直通孔和连通至夹板侧面的水平通孔，所述垂直通孔与水平通孔相连通，使液体工作介质能够经水平通孔和垂直通孔作用在素坯被夹持的表面上。

5、上述技术方案虽然能够对多块靶材素坯进行夹持，提高了素坯放置时对空间的利用率，提高生产效率，降低生产成本。但是上述技术还是没有对硬度的选择进行过多的说明，依然存在上述的问题，虽然采用了弹簧对夹板进行固定，但是靶材素坯发生形变导致弹簧发生形变时，影响到整个夹具中靶材素坯，而且上述技术方案也没有考虑到夹板的硬度对靶材素坯的影响。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是为了解决上述问题，提供了一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，本方法涉及装载工具，通过对pe板的硬度进行选择，能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免因为pe板的硬度太低或太高所导致的靶材变形、靶材开裂的问题。

2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：

3、一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，将靶坯、pe板交替堆叠并压紧，进行冷等静压加工；

4、所述pe板的洛氏硬度为30～60，包括但不限于30、40、50、60。

5、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述靶材的厚度为6mm～16mm，所述pe板的厚度为6mm～10mm。

6、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述方法采用一种装载工具，所述装载工具包括支撑座、压条、多块pe板，所述支撑座上设有用于放置平面靶的平台，所述平台上设有第一连接件，所述支撑座的顶部设有与第一连接件对应布置的第二连接件；所述方法具体为：

7、步骤(1)：将洛氏硬度为30～60的pe板以垂直于平台的方式放置在平台上；

8、步骤(2)：将靶坯以垂直于平台的方式放置在平台上，并使靶坯的一侧与pe板贴合；

9、步骤(3)：再次放置与步骤(1)相同的pe板，并与靶坯的另一侧贴合；

10、步骤(4)：重复步骤(2)和步骤(3)，将pe板和靶坯交替堆叠放置在平台上；

11、步骤(5)：将压条的两端分别连接在第一连接件和第二连接件上，且压条抵紧在最外侧的pe板上；

12、步骤(6)：将装载有靶坯和pe板的装载工具放入冷等静压设备中进行冷等静压。

13、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述步骤(6)中，冷等静压的压力为400～450mpa，包括但不限于400mpa、410mpa、420mpa、430mpa、440mpa、450mpa，时间为45～50min，包括但不限于45min、46min、47min、48min、49min、50min。

14、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述支撑座包括水平布置的底架、连接在底架的两侧且竖直布置的连接架、可拆卸连接在连接架一侧上的主架，所述平台位于主架上，且位于底架上方，所述第二连接件位于连接架的顶部。

15、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述连接架连接在底架侧面的中部处，所述底架与连接架组成倒t型结构，所述主架为两个，且分别可拆卸连接在连接架的两侧，所述第二连接件在连接架的顶部对称布置。

16、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述主架包括竖直布置的第一架体、水平布置且连接在第一架体一端的第二架体，所述第一架体和第二架体组成l型结构，所述第一架体上设有竖直布置的第一板体，所述第二架体上设有水平布置的第二板体，所述第二板体为平台，所述第二板体上还设有柔性垫，所述第一架体的顶部与连接架铰接，所述铰接为可拆卸连接。

17、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述连接架上设有限位组件，所述限位组件包括连接在连接架两侧的限位块、活动连接在限位块内的限位销，所述限位销用于使第一架体保持在倾斜状态。

18、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述连接架上还设有固定组件，所述固定组件包括水平布置连接在连接架上的固定板、与固定板活动连接的固定销，所述第一架体上设有与固定板匹配的连接板，所述连接板上设有与固定销匹配的连接孔，所述连接架的顶部还设有用于将装载工具整体吊起的吊架组件。

19、在上述的大尺寸平面靶冷等静压的方法中，所述压条为第一槽钢，所述第一连接件包括第二槽钢、与第二槽钢可拆卸连接的螺栓，所述第二连接件为螺杆，所述第一槽钢的一端套设在第二槽钢上，并通过螺栓抵紧在最外侧的隔板上，所述第二槽钢的另一端设有与螺杆匹配的连接槽，所述第二槽钢通过连接槽与螺杆连接，并通过螺母抵紧在最外侧的隔板上。

20、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：

21、本专利技术通过对pe板的硬度进行选择，能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免因为pe板的硬度太低或太高所导致的靶材变形、靶材开裂的问题。

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【技术保护点】

1.一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，将靶坯、PE板交替堆叠并压紧，使靶坯两侧面均与PE板贴合，进行冷等静压加工；

2.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述靶材的厚度为6mm～16mm，所述PE板的厚度为6mm～10mm。

3.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述方法采用一种装载工具，所述装载工具包括支撑座、压条、多块PE板，所述支撑座上设有用于放置平面靶的平台，所述平台上设有第一连接件，所述支撑座的顶部设有与第一连接件对应布置的第二连接件；所述方法具体为：

4.根据权利要求3所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述步骤(6)中，冷等静压的压力为400～450MPa，时间为45～50min。

5.根据权利要求3所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述支撑座包括水平布置的底架、连接在底架的两侧且竖直布置的连接架、可拆卸连接在连接架一侧上的主架，所述平台位于主架上，且位于底架上方，所述第二连接件位于连接架的顶部。

6.根据权利要求5所述的大

7.根据权利要求6所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述主架包括竖直布置的第一架体、水平布置且连接在第一架体一端的第二架体，所述第一架体和第二架体组成L型结构，所述第一架体上设有竖直布置的第一板体，所述第二架体上设有水平布置的第二板体，所述第二板体为平台，所述第二板体上还设有柔性垫，所述第一架体的顶部与连接架铰接，所述铰接为可拆卸连接。

8.根据权利要求7所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述连接架上设有限位组件，所述限位组件包括连接在连接架两侧的限位块、活动连接在限位块内的限位销，所述限位销用于使第一架体保持在倾斜状态。

9.根据权利要求8所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述连接架上还设有固定组件，所述固定组件包括水平布置连接在连接架上的固定板、与固定板活动连接的固定销，所述第一架体上设有与固定板匹配的连接板，所述连接板上设有与固定销匹配的连接孔，所述连接架的顶部还设有用于将装载工具整体吊起的吊架组件。

10.根据权利要求5所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述压条为第一槽钢，所述第一连接件包括第二槽钢、与第二槽钢可拆卸连接的螺栓，所述第二连接件为螺杆，所述第一槽钢的一端套设在第二槽钢上，并通过螺栓抵紧在最外侧的隔板上，所述第二槽钢的另一端设有与螺杆匹配的连接槽，所述第二槽钢通过连接槽与螺杆连接，并通过螺母抵紧在最外侧的隔板上。

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【技术特征摘要】

1.一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，将靶坯、pe板交替堆叠并压紧，使靶坯两侧面均与pe板贴合，进行冷等静压加工；

2.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述靶材的厚度为6mm～16mm，所述pe板的厚度为6mm～10mm。

3.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述方法采用一种装载工具，所述装载工具包括支撑座、压条、多块pe板，所述支撑座上设有用于放置平面靶的平台，所述平台上设有第一连接件，所述支撑座的顶部设有与第一连接件对应布置的第二连接件；所述方法具体为：

4.根据权利要求3所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述步骤(6)中，冷等静压的压力为400～450mpa，时间为45～50min。

6.根据权利要求5所述的大尺寸平面靶冷等静压的方法，其特征在于，所述连接架连接在底架侧面的中部处，所述底架与连接架组成倒t型结构，所述主架为两个，且分别可拆卸连接在连接架的两侧，所述第二连接件在连接架的顶部对称布置。

7.根据权利要求6...

【专利技术属性】
技术研发人员：李叶，李帅，蔡常基，余芳，李明鸿，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：

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