本发明专利技术属于靶材退绑技术领域，公开了一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，包括如下步骤：步骤1：将多个带有背衬管的残靶圆筒放入退绑机中，然后将退绑机内部抽真空使退绑机内部形成真空氛围；步骤2：根据残靶圆筒长度开启相对应的区间加热，升温至200～300℃后保温；步骤3：待铟熔化成铟液流出直至没有铟液流出后停止加热，收集铟液；步骤4：抽出残靶。本发明专利技术提供了一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，可以批量退绑多个ITO旋转靶材的残靶，并且在退绑过程中可以有效防止铟流出过慢且在高温状态下铟容易氧化生成氧化银的问题，可以有效缩短残靶回收周期，并且有效降低整个残靶回收的成本。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材退绑，具体涉及一种ito旋转靶材的残靶批量退绑方法。
技术介绍
1、铟锡氧化物(ito)靶材旋转靶在客户使用完成后，会产生大量的残靶，残靶回厂后需要经过一系列复杂的流程进行退绑，导致周期长，回收周期长，库存占用的残靶多，导致无法及时有效的回收残靶。
2、中国专利202011432887.3公开了一种旋转靶材的退绑修复方法，包括：已绑定的旋转靶材上包含若干退绑圆筒和若干非退绑圆筒，将旋转靶材竖直设置在旋转平台上，使退绑圆筒与背衬管加热至60～120℃，再使退绑圆筒与背衬管加热至170～200℃后铟就会融化，待铟完全融化并流出后，使用夹具将退绑圆筒从背衬管中取出即可完成退绑，将退绑圆筒进行金属化处理后，套设在背衬管上的原解绑位置，使退绑圆筒与背衬管加热至90～150℃，再使退绑圆筒与背衬管加热至180～230℃后，向退绑圆筒与背衬管之间的焊缝空间中注入铟液，待铟液填满焊缝空间后降温即可完成修复。
3、该专利技术不仅能实现圆筒的退绑，还能重新绑定圆筒实现靶材的修复，解决现有技术不能有效实现对靶材进行重新绑定的技术问题。
4、上述专利技术提供了残靶退绑的方法，是值得借鉴的，但是需要一个个残靶进行退绑，这个周期会很长，如果用于多个残靶退绑时，会产生铟流出慢，长时间加热使铟液流出的过程中铟很容易氧化，导致回收得到的铟掺杂了大量的氧化铟，需要重新回炉提纯，增加了生产成本和延长了回收工序。
5、因此需要研发一种适合于多个残靶批量退绑的方法，以降低成本和缩短回收周期。
/>技术实现思路
1、本专利技术的目的之一在于，提供一种ito旋转靶材的残靶批量退绑方法，以解决现有技术没有针对多个残靶批量退绑铟容易氧化，导致回收周期延长和成本提高的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了一种ito旋转靶材的残靶批量退绑方法，包括如下步骤：
3、步骤1：将多个带有背衬管的残靶圆筒放入退绑机中，然后将退绑机内部抽真空使退绑机内部形成真空氛围；
4、步骤2：根据残靶圆筒长度开启相对应的区间加热，升温至200～300℃后保温；
5、步骤3：待铟熔化成铟液流出直至没有铟液流出后停止加热，收集铟液；
6、步骤4：抽出残靶。
7、在ito旋转靶材的残靶批量退绑方法中，优选的，所述步骤1的真空氛围为真空度-0.03～-0.05mpa。
8、在ito旋转靶材的残靶批量退绑方法中，优选的，所述步骤1的残靶个数为5个及以上。
9、在ito旋转靶材的残靶批量退绑方法中，优选的，所述步骤4的具体操作为：往退绑机中充入惰性气体使退绑机内部恢复常压，然后用挡板抵住圆筒一端，将带有背衬管的残靶从另一端抽出。
10、有益效果
11、与现有技术相比，本专利技术提供了一种ito旋转靶材的残靶批量退绑方法，可以批量退绑多个ito旋转靶材的残靶，并且在退绑过程中可以有效防止铟流出过慢且在高温状态下铟容易氧化生成氧化铟的问题，可以有效缩短残靶回收周期，并且有效降低整个残靶回收的成本。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，所述步骤1的真空氛围为真空度-0.03～-0.05Mpa。
3.根据权利要求1所述的ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，所述步骤1的残靶个数为5个及以上。
4.根据权利要求1所述的ITO旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，所述步骤4的具体操作为：往退绑机中充入惰性气体使退绑机内部恢复常压，然后用挡板抵住圆筒一端，将带有背衬管的残靶从另一端抽出。
【技术特征摘要】
1.一种ito旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的ito旋转靶材的残靶批量退绑方法，其特征在于，所述步骤1的真空氛围为真空度-0.03～-0.05mpa。
3.根据权利要求1所述的ito旋转靶材的残靶...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖红军，甘宇，刘鸿飞，姚雁斌，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。