【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于测量光刻装置的光学系统处或光学系统中的温度的温度测量设备。本专利技术还涉及一种具有这种温度测量设备的光刻装置以及一种用于测量光刻装置的光学系统处或光学系统中的温度的方法。优先权申请de 102021208562.8的内容通过引用整体并入。
技术介绍
1、微光刻用于生产微结构部件，例如集成电路。使用具有照明系统和投射系统的光刻装置来执行微光刻工艺。借助于照明系统照射的掩模(掩模版)的像在此借助于投射系统投射到基板(例如硅晶片)上，该基板涂覆有光敏层(光致抗蚀剂)并且布置在投射系统的像平面中，以便将掩模结构转印到基板的光敏涂层。
2、受集成电路生产中对更小结构的需求的驱动，目前正在开发的是euv光刻装置，其使用波长在0.1nm至30nm范围内(特别是13.5nm)的光。在这种euv光刻装置的情况下，由于大多数材料对该波长的光的高吸收，因此必须使用反射光学单元，即反射镜，而不是如前所述的折射光学单元，即透镜元件。
3、温度传感器可以用于光刻装置中的各个区域中。例如，这种温度传感器用于量化由于euv光源发射的辐射的吸收而引起的反射镜的热变形。反射镜的光学变形可能导致对借助于投射镜头的成像的损害。为了抵消上述热变形，需要绝对精度优于50mk、特别是优于5mk的高精度温度测量。
4、已知使用热电阻器(热相关或温度相关电阻器)进行温度测量。这些提供了温度依赖的电阻，从该电阻可以导出温度。为了实现高精度温度测量并减少误差的影响，ep 0 120102 a1提出了一种测量装置，其中参考电阻
技术实现思路
1、在此背景下，本专利技术目的是改进光刻装置的光学系统处的温度的测量。
2、根据第一方面，提供了一种用于测量光刻装置的光学系统处或光学系统中的温度的温度测量设备。所述温度测量设备具有：
3、驱动源，用于在所述驱动源的第一连接点和第二连接点之间产生测量电流或测量电压；
4、多个温度电阻器，所述多个温度电阻器包括至少一个参考温度电阻器和至少一个测量温度电阻器，其中，所述温度电阻器在每种情况下被布置在多个第一线路节点和多个第二线路节点中的第一线路节点和第二线路节点之间；
5、第一开关单元，用于可选地将驱动源的第一连接点连接到第一线路节点中的一个或多个；
6、电压记录单元，用于记录温度电阻器处的电压；
7、第一线路，其将所述第二线路节点中的至少两个一起电连接到所述电压记录单元的第一连接点；以及
8、温度确定单元，所述温度确定单元适于通信地耦合到所述电压记录单元，以接收由所述电压记录单元记录的电压，并且基于从所述电压记录单元接收的电压来确定所述光学系统处或所述光学系统中的温度。
9、第一线路特别地将至少一个参考温度电阻器的第二线路节点和至少一个测量温度电阻器的第二线路节点一起电连接到电压记录单元的第一连接点。
10、使用公共第一线路可以减少所需部件的数量。特别地，多个温度电阻器可以通过电压记录单元共享用于电压抽头的线路，结果可以省去另外的线路和/或另外的开关单元。在温度的计算中包括参考温度电阻器处的电压还允许更精确地确定光学系统处或光学系统中的温度。
11、光刻装置是例如duv光刻装置或euv光刻装置。在这种情况下，duv代表“深紫外”，并且是指工作光的波长在30nm和250nm之间。euv代表“极紫外”并且是指工作光的波长在0.1nm与30nm之间。
12、光学系统可以包括光学元件(诸如反射镜或透镜元件)、传感器和/或致动器。温度测量设备(也可以称为“温度测量电路”)可以用于光刻装置的任何部分中的温度测量。温度测量设备也可以被认为是温度传感器。温度测量设备用于例如测量光刻装置的光学元件(例如，反射镜或透镜元件)处、致动器等处的温度。温度的确定在光刻装置的诊断中，特别是在老化的确定中也是重要的。
13、用于确定温度的设备特别适用于以高精度水平确定温度。“高精度”是指绝对精度在5mk和50mk之间、优选地在5mk和20mk之间的温度测量。高精度温度测量在光刻中特别重要，因为由此可以提供高精度光学单元。
14、驱动源可以是电流源或电压源。特别地，电流源是dc电流源。或者，电流源可以是提供例如方波信号或正弦波信号的ac电流源。由电流源输出的测量电流可以随着来自数模转换器的模拟电压信号而变化。
15、温度电阻器(热电阻器)是热电阻器。这种温度电阻器的电阻值根据温度电阻器处的温度而变化。因此，可以从电阻值导出温度电阻器处的温度。这里的德语术语“temperaturwiderstand”表示部件(即耐温元件)，而不是电阻值形式的抽象电阻。
16、温度电阻器包括至少一个参考电阻器和至少一个测量温度电阻器。优选地，温度电阻器包括恰好一个参考电阻器和多个测量温度电阻器。
17、温度电阻器可以全部被相同地配置。可替代地，参考温度电阻器是例如第一类型的电阻器，而测量温度电阻器是第二类型的电阻器。优选地，至少一个参考温度电阻器是允许比测量温度电阻器更精确的温度测量的电阻器。利用测量温度电阻器，还可以对精度提出更低的要求。一个或多个测量温度电阻器可以布置在光学系统处或光学系统中以检测那里的温度。
18、每个温度电阻器被布置在第一线路节点和第二线路节点之间，该温度电阻器特别地不与任何其他温度电阻器共享这些线节点。特别地，提供了与第一线路节点和第二线路节点相同数量的温度电阻器。例如，线路节点是多个线段彼此连接的点，或者是线路的端部。
19、第一开关单元特别是可控电路，例如多路复用器。第一开关单元特别适用于总是将温度电阻器中的恰好一个温度电阻器电连接到驱动源。在这种情况下，可以单独且连续地向温度电阻器供应电流。在第一开关单元的每个开关状态下，特别地，恰好一个温度电阻器连接到驱动源。为此目的，第一开关单元可以在驱动源的第一连接点与在每种情况下的第一线路节点中的一个之间提供电连接。
20、可替代地，两个或更多个温度电阻器可以通过第一开关单元同时连接到驱动源。为此目的，第一开关单元可以在驱动源的第一连接点与在每种情况下的多个第一线路节点之间提供电连接。在这种情况下，在第一开关单元的每个开关状态下，多个温度电阻器连接到驱动源。
21、电压记录单元可以包括电压表和/或模数转换器。电压记录单元适用于测量在连接到驱动源的温度电阻器处下降的电压。电压记录单元可以经由另外的开关单元连接，该另外的开关单元优选地同步地切换到先前描述的开关单元，在每种情况下都连接到当前连接到驱动源的(一个或多个)温度电阻器。
22、线路在当前情况下被理解为通常是指绞合线。公共第一线路特别是将本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于测量光刻装置(1)的光学系统处或光学系统中的温度的温度测量设备(100)，包括：
2.根据权利要求1所述的温度测量设备，其中，所述温度确定单元(130)适于：
3.根据权利要求1所述的温度测量设备，所述温度测量设备包括多个测量温度电阻器(103、123a-123o)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的温度测量设备，其中，所述第一线路(107)将所述测量温度电阻器(103、123a-123o)的所有第二线路节点(125、125a-125o)一起连接到所述电压记录单元(105)的第一连接点(105a)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的温度测量设备，还包括印刷电路板(111)，所述驱动源(101)、所述电压记录单元(105)、所述温度确定单元(130)和用于连接所述第一线路(107)的接口单元布置在所述印刷电路板(111)上。
6.根据权利要求5所述的温度测量设备，其中，所述印刷电路板(111)还具有所述第一开关单元(104)和/或所述参考温度电阻器(102)。
7.根据权利要求1至6中任一项
8.一种光刻装置(1)，包括根据权利要求1至7中任一项所述的温度测量设备(100)和光学系统，所述光学系统具有反射镜、透镜元件和/或用于反射镜或透镜元件的致动器，其中，所述至少一个测量温度电阻器(103、123a-123o)布置在所述光学系统处或所述光学系统中。
9.根据权利要求8所述的光刻装置，还包括：
10.根据权利要求9所述的光刻装置，其中，在所述第一封闭区域(110)中存在真空，并且在所述第二封闭区域(112)中不存在真空。
11.根据权利要求9或10所述的光刻装置，其中
12.一种用于测量光刻装置(1)的光学系统中或光学系统处的温度的方法，所述光刻装置(1)特别地具有根据权利要求1至7中任一项所述的温度测量设备(100)，所述方法使用多个温度电阻器(102、103、123a-123o)，所述多个温度电阻器(102、103、123a-123o)包括至少一个参考温度电阻器(102)和至少一个测量温度电阻器(103、123a-123o)，其中，所述温度电阻器(102、103、123a-123o)分别布置在多个第一线路节点和第二线路节点(124、124a-124o、125、125a-125o)的第一和第二线路节点(124、124a-124o、125、125a-125o)之间，其中所述方法包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于测量光刻装置(1)的光学系统处或光学系统中的温度的温度测量设备(100)，包括：
2.根据权利要求1所述的温度测量设备，其中，所述温度确定单元(130)适于：
3.根据权利要求1所述的温度测量设备，所述温度测量设备包括多个测量温度电阻器(103、123a-123o)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的温度测量设备，其中，所述第一线路(107)将所述测量温度电阻器(103、123a-123o)的所有第二线路节点(125、125a-125o)一起连接到所述电压记录单元(105)的第一连接点(105a)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的温度测量设备，还包括印刷电路板(111)，所述驱动源(101)、所述电压记录单元(105)、所述温度确定单元(130)和用于连接所述第一线路(107)的接口单元布置在所述印刷电路板(111)上。
6.根据权利要求5所述的温度测量设备，其中，所述印刷电路板(111)还具有所述第一开关单元(104)和/或所述参考温度电阻器(102)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的温度测量设备，还包括：
8.一种光刻装置(1)，包括根据权利要求1至7中任一项所述的温...
【专利技术属性】
技术研发人员：L·伯格，T·雷滕迈尔，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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