【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开总体涉及一种致动器，更具体地，涉及一种被配置用于相机封装内的微型mems致动器及其制作方法。
技术介绍
1、如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在许多应用中，例如便携式装置、成像相关装置、电信组件和医疗仪器，微型致动器易于实现这些应用的小尺寸、低功率和成本限制的要求。
2、微机电系统(mems)技术最一般的形式可被定义为使用微制造技术制造的微型机械和机电元件的技术。mems装置的关键尺寸区间从远低于一微米到几毫米。通常，mems致动器比常规致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。
技术实现思路
1、在一个实施方式中，一种被配置为使玻璃膜变形的玻璃膜变形组件，包括：可变形玻璃膜，具有第一表面和第二表面；压电层，固接至可变形玻璃膜的表面，其中该压电层通过电势可控制地可变形；结构构件，固接至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少第一部分；以及可变形透镜组件，固接至该可变形玻璃膜的第二表面的至少第二部分；其中该压电层的可控制地变形被配置为将该可变形玻璃膜和该可变形透镜组件可控制地变形。
2、以下特征的一个或多个可以被包括。该压电层可被配置为使该可变形玻璃膜从通常的平面构造可控制地变形为通常的凸面构造。该可变形玻璃膜可以是圆形可变形玻璃膜；以及该压电层可以是环形压电层。该压电层可以通过溅射技术固接至该可变形玻璃膜的表面。该压电层可以包括用于施加电势的第一电极和第二电极。该结构构件可以是环形结构构件。该结构构件可以包括以下一种或多种：金属基结构构件；以
3、在另一个实施方式中，一种被配置为使玻璃膜变形的玻璃膜变形组件，包括：可变形玻璃膜，具有第一表面和第二表面；压电层，固接至该可变形玻璃膜的表面，其中该压电层通过电势可控制地可变形；结构构件，固接至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少第一部分；以及可变形透镜组件，固接至该可变形玻璃膜的该第二表面的至少第二部分；其中：该压电层的该可控制地变形被配置为将该可变形玻璃膜和该可变形透镜组件可控制地变形，该可变形玻璃膜是圆形可变形玻璃膜，该压电层是环形压电层。
4、以下特征的一个或多个可以被包括。该压电层可被配置为使该可变形玻璃膜从通常的平面构造可控制地变形为通常的凸面构造。该压电层可以包括用于施加电势的第一电极和第二电极。该结构构件可以是环形结构构件。该结构构件可以包括以下一种或多种：金属基结构构件；以及硅基结构构件。该可变形玻璃膜可以是石英基可变形玻璃膜。该可变形透镜组件可以是聚合物可变形透镜组件。该可变形透镜组件可以包括刚性支柱组件。刚性底座结构可被固接在该可变形透镜组件上。
5、在另一个实施方式中，提供了一种制造玻璃膜变形组件的方法，包括：利用mems工艺而部分地生产该玻璃膜变形组件；将该玻璃膜变形组件固接至硅衬底上；倒置该玻璃膜变形组件；以及将聚合物注入该玻璃膜变形组件的空腔部分。
6、以下特征的一个或多个可以被包括。刚性支柱组件可以被安装在该聚合物内。刚性底座结构可以被固接在该玻璃膜变形组件上。该玻璃膜变形组件可以被固化。利用mems工艺而部分地生产该玻璃膜变形组件可以包括：将压电层固接至可变形玻璃膜的表面；蚀刻该压电层的一部分以暴露该可变形玻璃膜的该表面的一部分；将结构构件固接至该可变形玻璃膜的第二表面；以及蚀刻该结构构件的的部分以暴露该可变形玻璃膜的该第二表面的一部分。将压电层固接至可变形玻璃膜的表面可以包括：将该压电层溅射到该可变形玻璃膜的该表面上。将结构构件固接至该可变形玻璃膜的第二表面可以包括：通过环氧树脂将该结构构件固接至该可变形玻璃膜的该第二表面。将结构构件固接至该可变形玻璃膜的第二表面还可以包括：通过粘合技术将该结构构件粘合至该可变形玻璃膜的该第二表面。
7、在以下附图和说明书中描述了一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求，其他特征和优点将显而易见。
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1.一种被配置为使玻璃膜变形的玻璃膜变形组件，包括：
2.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层被配置为将所述可变形玻璃膜从通常的平面构造可控制地变形为通常的凸面构造。
3.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中：
4.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层通过溅射技术固接至所述可变形玻璃膜的所述表面。
5.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层包括用于施加电势的第一电极和第二电极。
6.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件是环形结构构件。
7.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件包括以下一种或多种：
8.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件通过以下一种或多种方式固接至所述可变形玻璃膜的所述第二表面：
9.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形玻璃膜为石英基可变形玻璃膜。
10.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形透镜组件为聚合物可变形透镜组件。<...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种被配置为使玻璃膜变形的玻璃膜变形组件，包括：
2.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层被配置为将所述可变形玻璃膜从通常的平面构造可控制地变形为通常的凸面构造。
3.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中：
4.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层通过溅射技术固接至所述可变形玻璃膜的所述表面。
5.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层包括用于施加电势的第一电极和第二电极。
6.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件是环形结构构件。
7.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件包括以下一种或多种：
8.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述结构构件通过以下一种或多种方式固接至所述可变形玻璃膜的所述第二表面：
9.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形玻璃膜为石英基可变形玻璃膜。
10.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形透镜组件为聚合物可变形透镜组件。
11.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，其中，所述可变形透镜组件包括刚性支柱组件。
12.根据权利要求1所述的玻璃膜变形组件，还包括：
13.一种被配置为使玻璃膜变形的玻璃膜变形组件，包括：
14.根据权利要求13所述的玻璃膜变形组件，其中，所述压电层被配置为将所述可变形玻璃膜从通常的平面构造可控制地变形为通常的凸面构造。
15.根据权利要求13所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王桂芹，刘晓蕾，
申请(专利权)人：麦斯卓微电子南京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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