【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镭射检测设备，更具体地说，涉及一种高精度镭射视觉检测一体机。
技术介绍
1、激光镭雕是用激光束在各种不同的物质表面打上永久的标记。打标的效应是通过表层物质的蒸发露出深层物质，或者是通过光能导致表层物质的化学物理变化而刻出痕迹，或者是通过光能烧掉部分物质，显出所需刻蚀的图案、文字。自动光学检测，是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。
2、现有的半导体设备、固态硬盘(ssd)、静电敏感器件(essd/ssd)、计算机随机存取存储器(ram)、表面贴装技术(smt)等的激光镭雕以及光学检测，都是采用激光镭雕设备进行线上加工，加工完后，再转到aoi光学检测设备中进行检测。而且，目前现有的激光镭雕设备和aoi光学检测设备都是采用x,y运动方式，且分开进行设计。即，传统方式下要完成镭雕和aoi检测，需要由两台完整的设备完成，且两台设备都是独立的个体，需要通过smema信号来进行信号的交互。同时，两台设备都需要采用x,y的龙门架构，采用伺服电机和驱动马达来控制激光机头或者aoi视觉机头进行运动来执行功能；在这样的场景下，基板在进入每个工序的时候都需要执行：基板载入，停板定位，mark校准，执行激光加工或者视觉检测，基板载出的动作，动作流程相对较多，中间耗时偏长，效率低下，而且，这种x,y运动方式的镭射机构和aoi检测机构均需要进行图像拼接，导致图像都会出现拼接痕迹，加工精度低，同时，设备的整体尺寸也会更大，不利于行业的发展。
3、因此，有必要提供出一种高精度镭射视觉检测一体机，来解决上
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提出了一种高精度镭射视觉检测一体机，其具体技术方案如下：
2、一种高精度镭射视觉检测一体机，包括底座机构，底座机构的上部安装有镭射进料输送轨道机构、镭射机构、aoi检测机构、移载机构、良品出料机构、不良品出料机构；按照工件由右至左的输送路径，镭射进料输送轨道机构的左侧对接移载机构，移载机构的左侧前后并排安装不良品出料机构和良品出料机构，且不良品出料机构和良品出料机构均能够与移载机构实现对接；
3、镭射机构安装于镭射进料输送轨道机构前后方向上的其中一侧，其包括沿左右方向紧固安装于底座机构上的两条支撑立柱，支撑横梁紧固于两条支撑立柱的顶部之间，支撑主架紧固安装在支撑横梁的偏右侧位置，支撑主架朝向镭射进料输送轨道机构的一侧上下分别紧固上丝杆轴承座、下丝杆轴承座，一驱动丝杆同轴心架设于上丝杆轴承座、下丝杆轴承座上，且上丝杆轴承座上安装有与驱动丝杆端部固连的升降电机；与驱动丝杆配合安装的驱动丝杆螺母上紧固安装镭雕激光器，镭雕激光器朝向镭射进料输送轨道机构的一侧紧固安装有一镭雕振镜，镭雕振镜的下方对应紧固连接分光镜片，分光镜片的右侧为紧固安装于支撑主架上的工业相机一，工业相机一上螺旋紧固有对准分光镜片的工业镜头一；
4、aoi检测机构包括紧固安装在支撑横梁偏左侧位置处的相机主安装机构，工业相机二紧固安装在相机主安装机构朝向镭射进料输送轨道机构的一侧，且工业相机二选用6500万像素的彩色工业相机，在满像素下的最大帧率为17.2fps；工业镜头二螺旋紧固在工业相机二的下方，且工业镜头二为35mm的f口镜头；工业光源紧固安装在相机主安装机构上并正对设于工业镜头二的下方。
5、优选地，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部且前后对应设置的前固定支撑、后固定支撑，前固定支撑与后固定支撑之间同轴心架设有镭射进料输送轨道调宽丝杆，镭射进料输送轨道调宽丝杆的端头连接第一调宽驱动电机；镭射进料输送固定轨道紧固安装在前固定支撑或后固定支撑上，镭射进料输送活动轨道安装在镭射进料输送轨道调宽丝杆的镭射进料输送轨道调宽丝杆螺母上；镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第一传送皮带，镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上的第一传送皮带分别通过第一固定轨驱动轮、第一活动轨驱动轮带动进行转动，第一输送驱动电机驱动第一固定轨驱动轮与第一活动轨驱动轮转动。
6、优选地，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部的第一前固定支撑、第二前固定支撑、第一后固定支撑、第二后固定支撑，第一前固定支撑与第一后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的左侧位置，第二前固定支撑与第二后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的右侧位置，第一前固定支撑与第一后固定支撑之间同轴心架设有第一镭射进料输送轨道调宽丝杆，第二前固定支撑与第二后固定支撑之间同轴心架设有第二镭射进料输送轨道调宽丝杆，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆与第二镭射进料输送轨道调宽丝杆通过一调宽同步带张紧连接，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆或第二镭射进料输送轨道调宽丝杆远离调宽同步带的端头连接第一调宽驱动电机；第一输送驱动电机共设置两个，分别驱动第一固定轨驱动轮与第一活动轨驱动轮转动。
7、优选地，移载机构包括紧固安装在底座机构上部的移载滑轨；底座机构上部的前端紧固安装有移载电机轴承一体座，后端紧固安装有轴承单座，移载丝杆同轴心安装在移载电机轴承一体座和轴承单座上，移载电机轴承一体座上安装有与移载丝杆端部固连的移载驱动电机，移载丝杆配合安装的移载丝杆螺母上紧固安装移载主板，移载主板与位于其底部的移载滑轨滑动连接；移载主板上部前后对应安装有第一调宽丝杆座、第一调宽轴承座，第一调宽丝杆座与第一调宽轴承座之间同轴心架设有移载轨道调宽丝杆，第一调宽丝杆座上安装有与移载轨道调宽丝杆端部固连的第二调宽驱动电机，移载固定轨道紧固安装于移载主板上，移载活动轨道安装在移载轨道调宽丝杆的移载轨道调宽丝杆螺母上；移载固定轨道和移载活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第二传送皮带，移载固定轨道和移载活动轨道上的第二传送皮带分别通过第二固定轨驱动轮、第二活动轨驱动轮带动进行转动，第二输送驱动电机驱动第二固定轨驱动轮与第二活动轨驱动轮转动。
8、优选地，良品出料机构及不良品出料机构的结构相同，分别包括前后对应安装于底座机构上部的第二调宽丝杆座、第二调宽轴承座，第二调宽丝杆座与第二调宽轴承座之间同轴心架设有出料机构调宽丝杆，第二调宽丝杆座上安装有与出料机构调宽丝杆端部固连的第三调宽驱动电机，出料固定轨道紧固安装于底座机构上，出料活动轨道安装在出料机构调宽丝杆的出料机构调宽丝杆螺母上；出料固定轨道和出料活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第三传送皮带，出料固定轨道和出料活动轨道上的第三传送皮带分别通过第三固定轨驱动轮、第三活动轨驱动轮带动进行转动，第三输送驱动电机驱动第三固定轨驱动轮与第三活动轨驱动轮转动；良品出料机构的出料轨道左侧紧固连接良品料盒，不良品出料机构的出料轨道左侧紧固连接不良品料盒。
9、优选地，移载主板上紧固安装有第一六角杆轴承座，第二输送驱动电机与第一六角杆轴承座前后对应设置，第一六角驱动杆的一端紧固安装在第一六角杆轴承座上，另一端与第二输送驱动电机固本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，包括底座机构，底座机构的上部安装有镭射进料输送轨道机构、镭射机构、AOI检测机构、移载机构、良品出料机构、不良品出料机构；按照工件由右至左的输送路径，镭射进料输送轨道机构的左侧对接移载机构，移载机构的左侧前后并排安装不良品出料机构和良品出料机构，且不良品出料机构和良品出料机构均能够与移载机构实现对接；
2.根据权利要求1所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部且前后对应设置的前固定支撑、后固定支撑，前固定支撑与后固定支撑之间同轴心架设有镭射进料输送轨道调宽丝杆，镭射进料输送轨道调宽丝杆的端头连接第一调宽驱动电机；镭射进料输送固定轨道紧固安装在前固定支撑或后固定支撑上，镭射进料输送活动轨道安装在镭射进料输送轨道调宽丝杆的镭射进料输送轨道调宽丝杆螺母上；镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第一传送皮带，镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上的第一传送皮带分别通过第一固定轨驱动轮、第一活动轨驱动轮带动进行转动，第一输送驱动电机驱动第
3.根据权利要求2所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部的第一前固定支撑、第二前固定支撑、第一后固定支撑、第二后固定支撑，第一前固定支撑与第一后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的左侧位置，第二前固定支撑与第二后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的右侧位置，第一前固定支撑与第一后固定支撑之间同轴心架设有第一镭射进料输送轨道调宽丝杆，第二前固定支撑与第二后固定支撑之间同轴心架设有第二镭射进料输送轨道调宽丝杆，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆与第二镭射进料输送轨道调宽丝杆通过一调宽同步带张紧连接，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆或第二镭射进料输送轨道调宽丝杆远离调宽同步带的端头连接第一调宽驱动电机；第一输送驱动电机共设置两个，分别驱动第一固定轨驱动轮与第一活动轨驱动轮转动。
4.根据权利要求1所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，移载机构包括紧固安装在底座机构上部的移载滑轨；底座机构上部的前端紧固安装有移载电机轴承一体座，后端紧固安装有轴承单座，移载丝杆同轴心安装在移载电机轴承一体座和轴承单座上，移载电机轴承一体座上安装有与移载丝杆端部固连的移载驱动电机，移载丝杆配合安装的移载丝杆螺母上紧固安装移载主板，移载主板与位于其底部的移载滑轨滑动连接；移载主板上部前后对应安装有第一调宽丝杆座、第一调宽轴承座，第一调宽丝杆座与第一调宽轴承座之间同轴心架设有移载轨道调宽丝杆，第一调宽丝杆座上安装有与移载轨道调宽丝杆端部固连的第二调宽驱动电机，移载固定轨道紧固安装于移载主板上，移载活动轨道安装在移载轨道调宽丝杆的移载轨道调宽丝杆螺母上；移载固定轨道和移载活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第二传送皮带，移载固定轨道和移载活动轨道上的第二传送皮带分别通过第二固定轨驱动轮、第二活动轨驱动轮带动进行转动，第二输送驱动电机驱动第二固定轨驱动轮与第二活动轨驱动轮转动。
5.根据权利要求4所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，良品出料机构及不良品出料机构的结构相同，分别包括前后对应安装于底座机构上部的第二调宽丝杆座、第二调宽轴承座，第二调宽丝杆座与第二调宽轴承座之间同轴心架设有出料机构调宽丝杆，第二调宽丝杆座上安装有与出料机构调宽丝杆端部固连的第三调宽驱动电机，出料固定轨道紧固安装于底座机构上，出料活动轨道安装在出料机构调宽丝杆的出料机构调宽丝杆螺母上；出料固定轨道和出料活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第三传送皮带，出料固定轨道和出料活动轨道上的第三传送皮带分别通过第三固定轨驱动轮、第三活动轨驱动轮带动进行转动，第三输送驱动电机驱动第三固定轨驱动轮与第三活动轨驱动轮转动；良品出料机构的出料轨道左侧紧固连接良品料盒，不良品出料机构的出料轨道左侧紧固连接不良品料盒。
6.根据权利要求5所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，移载主板上紧固安装有第一六角杆轴承座，第二输送驱动电机与第一六角杆轴承座前后对应设置，第一六角驱动杆的一端紧固安装在第一六角杆轴承座上，另一端与第二输送驱动电机固连，第一六角驱动杆的中间连接第二活动轨驱动轮与第二固定轨驱动轮；良品出料机构及不良品出料机构所对应的底座机构上各自紧固安装有第二六角杆轴承座，两个第三输送驱动电机分别与两个第二六角杆轴承座前后对应设置，第二六角驱动杆的一端紧固安装在第二六角杆轴承座上，另一端与对应的第三输送驱动电机固连，第二六角驱动杆的中间连接对应的第三活动...
【技术特征摘要】
1.一种高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，包括底座机构，底座机构的上部安装有镭射进料输送轨道机构、镭射机构、aoi检测机构、移载机构、良品出料机构、不良品出料机构；按照工件由右至左的输送路径，镭射进料输送轨道机构的左侧对接移载机构，移载机构的左侧前后并排安装不良品出料机构和良品出料机构，且不良品出料机构和良品出料机构均能够与移载机构实现对接；
2.根据权利要求1所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部且前后对应设置的前固定支撑、后固定支撑，前固定支撑与后固定支撑之间同轴心架设有镭射进料输送轨道调宽丝杆，镭射进料输送轨道调宽丝杆的端头连接第一调宽驱动电机；镭射进料输送固定轨道紧固安装在前固定支撑或后固定支撑上，镭射进料输送活动轨道安装在镭射进料输送轨道调宽丝杆的镭射进料输送轨道调宽丝杆螺母上；镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第一传送皮带，镭射进料输送固定轨道和镭射进料输送活动轨道上的第一传送皮带分别通过第一固定轨驱动轮、第一活动轨驱动轮带动进行转动，第一输送驱动电机驱动第一固定轨驱动轮与第一活动轨驱动轮转动。
3.根据权利要求2所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，镭射进料输送轨道机构包括紧固安装在底座机构上部的第一前固定支撑、第二前固定支撑、第一后固定支撑、第二后固定支撑，第一前固定支撑与第一后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的左侧位置，第二前固定支撑与第二后固定支撑前后对应设置且固定于底座机构上部的右侧位置，第一前固定支撑与第一后固定支撑之间同轴心架设有第一镭射进料输送轨道调宽丝杆，第二前固定支撑与第二后固定支撑之间同轴心架设有第二镭射进料输送轨道调宽丝杆，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆与第二镭射进料输送轨道调宽丝杆通过一调宽同步带张紧连接，第一镭射进料输送轨道调宽丝杆或第二镭射进料输送轨道调宽丝杆远离调宽同步带的端头连接第一调宽驱动电机；第一输送驱动电机共设置两个，分别驱动第一固定轨驱动轮与第一活动轨驱动轮转动。
4.根据权利要求1所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，移载机构包括紧固安装在底座机构上部的移载滑轨；底座机构上部的前端紧固安装有移载电机轴承一体座，后端紧固安装有轴承单座，移载丝杆同轴心安装在移载电机轴承一体座和轴承单座上，移载电机轴承一体座上安装有与移载丝杆端部固连的移载驱动电机，移载丝杆配合安装的移载丝杆螺母上紧固安装移载主板，移载主板与位于其底部的移载滑轨滑动连接；移载主板上部前后对应安装有第一调宽丝杆座、第一调宽轴承座，第一调宽丝杆座与第一调宽轴承座之间同轴心架设有移载轨道调宽丝杆，第一调宽丝杆座上安装有与移载轨道调宽丝杆端部固连的第二调宽驱动电机，移载固定轨道紧固安装于移载主板上，移载活动轨道安装在移载轨道调宽丝杆的移载轨道调宽丝杆螺母上；移载固定轨道和移载活动轨道上分别通过各自对应的皮带轮张紧有一条第二传送皮带，移载固定轨道和移载活动轨道上的第二传送皮带分别通过第二固定轨驱动轮、第二活动轨驱动轮带动进行转动，第二输送驱动电机驱动第二固定轨驱动轮与第二活动轨驱动轮转动。
5.根据权利要求4所述的高精度镭射视觉检测一体机，其特征在于，良品出料机构及不良品出料机构的结构相同，分别包括前后对应安装于底座机构上部的第二调宽丝杆座、第二调宽轴承座，第二调宽丝杆座与第二调宽轴承座之间同轴心架设有出料机构调宽丝杆，第二调宽丝杆座上安装有与出料机构调宽丝杆端部...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱旺，叶啸龙，
申请(专利权)人：深圳市英尚半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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