【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
下文描述涉及用于施加固化聚合物覆盖涂层到表面上的技术，尤其针对施加覆盖涂覆固化聚合物涂层到衬底上的表面，所述衬底可用作用于处理半导体晶片的静电卡盘。
技术介绍
1、静电卡盘是在制造过程期间固持及支撑衬底(通常为半导体晶片)的装置。所述卡盘也可在非机械夹持所述衬底的情况下从所述衬底上散热。
2、在使用静电卡盘期间，衬底的背侧通过静电力固持到所述静电卡盘的上表面。所述衬底通过覆包电极的材料的表面层与作为静电卡盘的部分的一或多个电极分离。在库仑静电卡盘中，所述表面层是电绝缘的，而在约翰森-拉贝克静电卡盘中，所述表面层是弱导电的。
3、静电卡盘的上表面可为完全平坦的，或可具有一或多个突部、凸出部或进一步从所述覆包电极分离衬底的背侧的其它表面特征。通过与所述突部的接触热传导，或通过与在所述卡盘的上表面与所述衬底的底部表面之间流动的冷却气体的气体热传导，可将在处理期间含于所述衬底中的热量从衬底传递到静电卡盘。接触热传导在从衬底移除热量方面通常比气体热传导更高效。然而，控制所述衬底与所述突部之间的接触量可为困难的。
4、在微电子生产中，随着半导体及存储器装置几何形状逐渐变小，晶片、平坦屏幕显示器、光罩及其它经处理的衬底的尺寸逐渐变大，晶片表面的颗粒污染的公差继续变得更加严格。由于半导体晶片将在物理上接触静电卡盘夹持表面，因此从静电卡盘导出的颗粒碎片的影响特别值得关注。如果静电卡盘的上表面允许任何颗粒被截留在静电卡盘的上表面与衬底的底部表面之间，那么衬底可因截留的颗粒而变形。例如，如果晶片的背侧静电地经夹持在
技术实现思路
1、在半导体及微电子加工技术及静电卡盘
，需要持续改进的技术来制备静电卡盘表面。还需要持续改进静电卡盘表面，例如在使用期间产生较少量颗粒碎片的静电卡盘表面。
2、如本说明书所描述，已确定用于施加固化聚合物层(也称“膜”)到静电卡盘表面的新颖的及创造性方法。所述表面可为完全平坦的，或可包含三维结构，例如主场及接触由所述卡盘支撑的晶片的下表面的突部，或气体密封环。固化聚合物层可呈固化聚合物覆盖涂层形式，其经施加且经固化作为覆盖所述整个表面的涂层，而非选择地固化所施加的溶液喷雾的任何部分，且非选择性地移除所施加的溶液喷雾的任何部分。
3、通过施加液体喷雾溶液涂层到静电卡盘的整个表面且然后在覆盖涂层的整个表面区域上固化覆盖涂层的聚合物而而制备固化聚合物覆盖涂层。涂层是非选择性固化的，即以非图案化方式经固化，特定来说在不遮蔽涂层的一部分的情况下。在施加液体聚合物溶液到表面上之后，在最终固化步骤(例如，“硬烘烤”步骤)之前，不移除所施加的喷雾溶液涂层的任何部分。在所施加的喷雾溶液涂层最终固化后，整个固化聚合物涂层作为固化聚合物覆盖涂层保留在衬底的整个表面上。
4、在一个方面中，本公开涉及一种用于施加覆盖涂覆聚合物涂层到静电卡盘的表面的方法。所述方法包含：施加喷雾溶液到静电卡盘的表面以在整个表面上形成喷雾溶液涂层，所述喷雾溶液包括可辐射固化聚合物；将所述喷雾溶液涂层的整个表面暴露于辐射，以形成辐射固化聚合物涂层；及将所述辐射固化聚合物涂层加热到高温，以从所述辐射固化聚合物涂层中移除溶剂。
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1.一种施加覆盖涂覆聚合物涂层到静电卡盘的表面的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述可辐射固化聚合物包括可辐射固化环氧聚合物。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述喷雾溶液包括至少75重量百分比的有机溶剂。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其中所述溶液在经施加到陶瓷表面时具有在3到9厘泊的范围内的黏度。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的方法，其中当施加所述溶液到所述表面时，所述表面处于低于30摄氏度的温度。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的方法，其包括通过多个路径将所述溶液施加到所述表面，其中每一路径在端到端方向上越过所述表面，其中所有路径在相同端到端方向上移动。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其包括：
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的方法，其包括将所述辐射固化聚合物涂层加热到在150到400摄氏度的范围内的温度，且持续至少45分钟。
9.根据权利要求1至8中任一权利要求所述的方法，其包括以3到5微米的范围内的
10.根据权利要求1至9中任一权利要求所述的方法，其中所述静电卡盘的所述表面基本上由陶瓷组成。
11.根据权利要求1至9中任一权利要求所述的方法，其中所述静电卡盘的所述表面由陶瓷组成。
12.根据权利要求1至11中任一权利要求所述的方法，其中所述表面包括：
13.根据权利要求1至12中任一权利要求所述的方法，其中所述表面具有在0.01到10微米Ra的范围内的粗糙度。
14.根据权利要求1至13中任一权利要求所述的方法，其中所述可辐射固化聚合物是导电的。
15.一种静电卡盘，其包括根据权利要求1至14中任一权利要求所述的方法所施加的涂层。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种施加覆盖涂覆聚合物涂层到静电卡盘的表面的方法，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述可辐射固化聚合物包括可辐射固化环氧聚合物。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述喷雾溶液包括至少75重量百分比的有机溶剂。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其中所述溶液在经施加到陶瓷表面时具有在3到9厘泊的范围内的黏度。
5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的方法，其中当施加所述溶液到所述表面时，所述表面处于低于30摄氏度的温度。
6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的方法，其包括通过多个路径将所述溶液施加到所述表面，其中每一路径在端到端方向上越过所述表面，其中所有路径在相同端到端方向上移动。
7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的方法，其包括：
8.根据权利要求1至7中任一权利要求所述的方法，其包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘研，刘羽轩，C·凡卡拉曼，C·瓦尔德弗里德，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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