【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳电池，尤其涉及一种金属氧化物掺杂方法。
技术介绍
1、钙钛矿太阳能电池制备过程中常用的p型材料有氧化镍，相关技术中，氧化镍常用的制备方法有真空法和溶液法，真空法往往是通过电子束蒸发、磁控溅射等方法直接沉积氧化镍，溶液法通常指直接配置纳米氧化镍的颗粒的胶体溶液进行旋涂、涂布。氧化镍纳米颗粒的制备通常由醋酸镍与氧化剂(去离子水)反应生成制备。溶液法相对于真空法，氧化镍的制备过程中更容易添加一些添加剂，其中其他金属离子的存在有助于提高载流子浓度和载流子迁移率，增强电导率改进电荷的转移和提取，减少复合损失，使以其他金属掺杂的氧化镍作为空穴传输层的器件效率高于传统的氧化镍作为空穴传输层的器件。
2、真空法往往是购买一定纯度的氧化镍靶材进行真空电镀，氧化镍的靶材是预先制备好的且商业可得的，使真空法很难对氧化镍进行掺杂，而一些领域的氧化镍制备方法无法采用溶液法，例如在制备钙钛矿/硅异质结叠层太阳能电池时，溶液法旋涂氧化镍纳米颗粒后，需要300摄氏度的退火成膜，而异质结硅基底的耐受温度为200摄氏度，因此制备钙钛矿的空穴传...
【技术保护点】
1.一种金属氧化物掺杂方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，在真空电镀过程中持续使用冷却水对样品进行降温。
3.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，对所述复合薄膜进行脉冲光加热时在所述样品和所述靶材之间设置挡板，对所述样品进行电镀时移除所述挡板。
4.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，利用脉冲光对所述复合薄膜进行加热的步骤包括：
5.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，使用所述镀膜靶材对所述样品进行真空电镀后，利用脉冲光对所述镀...
【技术特征摘要】
1.一种金属氧化物掺杂方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，在真空电镀过程中持续使用冷却水对样品进行降温。
3.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，对所述复合薄膜进行脉冲光加热时在所述样品和所述靶材之间设置挡板，对所述样品进行电镀时移除所述挡板。
4.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，利用脉冲光对所述复合薄膜进行加热的步骤包括：
5.根据权利要求1所述的金属氧化物掺杂方法，其特征在于，使用所述镀膜靶材对所述样品进行真空电镀后，利用脉冲光对所述镀膜金属薄膜进行加热。
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彩霞，墙子跃，高翔，吴瑶，赵晓霞，刘雨奇，李吉红，
申请(专利权)人：国家电投集团科学技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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