【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文中提供的实施例涉及图像增强技术，并且更具体地涉及用于带电粒子束检查图像的失真校正机制。
技术介绍
1、在集成电路(ic)的制造过程中，对未完成或已完成的电路组件进行检查，以确保它们是根据设计而制造的，并且没有缺陷。可以采用利用光学显微镜或带电粒子(例如，电子)束显微镜(诸如扫描电子显微镜(sem))的检查系统。随着ic组件的物理尺寸不断缩小，缺陷检测的准确性和良率变得更加重要。诸如sem图像等检查图像可以用于标识或分类制造的ic的(多个)缺陷。为了提高缺陷检测性能，期望获取没有失真也没有未对准的准确的sem图像。
技术实现思路
1、本文中提供的实施例公开了一种粒子束检查装置、更具体地是一种使用多个带电粒子束的检查装置。
2、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块(patch)的局部对准结果；针对局部对准结果的多个子集中的每个子集：基于局部对准结果的子集来确定对准模型，以及基于对准模型与局部对准结果的剩余集合的拟合(fit)来评估对准模型；基于评估来选择多个对准模型中的一个对准模型；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
3、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的装置。该装置包括存储指令集的存储器；以及至少一个处理器，该至少一个处理器被配置为执行该指令集以使得该装置执行：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像
4、在一些实施例中，提供了一种存储指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集由计算设备的至少一个处理器可执行以使得计算设备执行用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；针对局部对准结果的多个子集中的每个子集：基于局部对准结果的子集来确定对准模型，以及基于对准模型与局部对准结果的剩余集合的拟合来评估对准模型；基于评估来选择多个对准模型中的一个对准模型；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
5、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果的第一子集来估计第一对准模型，并且基于局部对准结果的第二子集来估计第二对准模型；基于第一对准模型与局部对准结果的第一剩余集合的拟合来评估第一对准模型，并且基于第二对准模型与局部对准结果的第二剩余集合的拟合来评估第二对准模型；基于评估来选择第一对准模型和第二对准模型之一；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
6、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的装置。该装置包括存储指令集的存储器；以及至少一个处理器，该至少一个处理器被配置为执行该指令集以使得该装置执行：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果的第一子集来估计第一对准模型，并且基于局部对准结果的第二子集来估计第二对准模型；基于第一对准模型与局部对准结果的第一剩余集合的拟合来评估第一对准模型，并且基于第二对准模型与局部对准结果的第二剩余集合的拟合来评估第二对准模型；基于评估来选择第一对准模型和第二对准模型之一；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
7、在一些实施例中，提供了一种存储指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集由计算设备的至少一个处理器可执行以使得计算设备执行用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果的第一子集来估计第一对准模型，并且基于局部对准结果的第二子集来估计第二对准模型；基于第一对准模型与局部对准结果的第一剩余集合的拟合来评估第一对准模型，并且基于第二对准模型与局部对准结果的第二剩余集合的拟合来评估第二对准模型；基于评估来选择第一对准模型和第二对准模型之一；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
8、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来对准检测图像的多个图像块；通过机器学习模型评估多个图像块中的每个图像块与参考图像的对应图像块之间的对准；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果来确定对准模型；以及基于对准模型来校正检查图像的失真。
9、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的装置。该装置包括存储指令集的存储器；以及至少一个处理器，该至少一个处理器被配置为执行该指令集以使得该装置执行：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来对准检测图像的多个图像块；通过机器学习模型评估多个图像块中的每个图像块与参考图像的对应图像块之间的对准；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果来确定对准模型；以及基于对准模型来校正检查图像的失真。
10、在一些实施例中，一种存储指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集由计算设备的至少一个处理器可执行以使得计算设备执行用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果；基于局部对准结果的第一子集来估计第一对准模型，并且基于局部对准结果的第二子集来估计第二对准模型；基于第一对准模型与局部对准结果的第一剩余集合的拟合来评估第一对准模型，并且基于第二对准模型与局部对准结果的第二剩余集合的拟合来评估第二对准模型；基于评估来选择第一对准模型和第二对准模型之一；以及基于所选择的对准模型来校正检查图像的失真。
11、在一些实施例中，提供了一种评估检查图像和参考图像的对准的方法。该方法包括：获取检查图像的多个图像块和参考图像的多个参考图像块，多个图像块对应于多个参考图像块；以及通过机器学习模型评估多个图像块和多个参考图像块的对准。
12、在一些实施例中，提供了一种评估检查图像和参考图像的对准的装置。该装置包括存储指令集的存储器；以及至少一个处理器，该至少一个处理器被配置为执行该指令集以使得该装置执行：获取检查图像的多个图像块和参考图像的多个参考图像块，多个图像块对应于多个参考图像块；以及通过机器学习模型评估多个图像块和多个参考图像块的对准。
13、在一些实施例中，一种存储指令集的非暂态计算机可读介质，该指令集由计算设备的至少一个处理器可执行以使得计算设备执行评估检查图像和参考图像的对准的方法。该方法包本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于校正检查图像的失真的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中评估所述对准模型包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子集是随机选择的。
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，还包括：
6.一种用于校正检查图像的失真的装置，所述装置包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其中在评估所述对准模型时，所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
8.根据权利要求6所述的装置，其中所述多个子集是随机选择的。
9.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
11.一种存储指令集的非暂态计算机可读介质，所述指令集能够由计算设备的至少一个处理器执行以使得所述计算设备执行用于校正检查图像的失真的方法，所述方法包括：
12.根据权利要求11所述
13.根据权利要求11所述的计算机可读介质，其中所述多个子集是随机选择的。
14.根据权利要求11所述的计算机可读介质，其中能够由所述计算设备的至少一个处理器执行的所述指令集使得所述计算设备还执行：
15.根据权利要求14所述的计算机可读介质，其中能够由所述计算设备的至少一个处理器执行的所述指令集使得所述计算设备还执行：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于校正检查图像的失真的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中评估所述对准模型包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子集是随机选择的。
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，还包括：
6.一种用于校正检查图像的失真的装置，所述装置包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其中在评估所述对准模型时，所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
8.根据权利要求6所述的装置，其中所述多个子集是随机选择的。
9.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述至少一个...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁浩毅，陈志超，浦凌凌，张芳诚，于良江，王喆，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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