【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本文中提供的实施例涉及图像增强技术，并且更具体地涉及用于带电粒子束检查图像的失真校正机制。
技术介绍
1、在集成电路(ic)的制造过程中，对未完成或已完成的电路组件进行检查，以确保它们是根据设计而制造的，并且没有缺陷。可以采用利用光学显微镜或带电粒子(例如，电子)束显微镜(诸如扫描电子显微镜(sem))的检查系统。随着ic组件的物理尺寸不断缩小，缺陷检测的准确性和良率变得更加重要。诸如sem图像等检查图像可以用于标识或分类制造的ic的(多个)缺陷。为了提高缺陷检测性能，期望获取没有失真也没有未对准的准确的sem图像。
技术实现思路
1、本文中提供的实施例公开了一种粒子束检查装置、更具体地是一种使用多个带电粒子束的检查装置。
2、在一些实施例中，提供了一种用于校正检查图像的失真的方法。该方法包括：获取检查图像；基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块(patch)的局部对准结果；针对局部对准结果的多个子集中的每个子集：基于局部对准结果的子集来确定对准模型，以及基于...
【技术保护点】
1.一种用于校正检查图像的失真的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中评估所述对准模型包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子集是随机选择的。
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，还包括：
6.一种用于校正检查图像的失真的装置，所述装置包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其中在评估所述对准模型时，所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
8.根据权利要求6所述的装置，其中所述多个子集是随机选择的。
<...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于校正检查图像的失真的方法，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中评估所述对准模型包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子集是随机选择的。
4.根据权利要求1所述的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的方法，还包括：
6.一种用于校正检查图像的失真的装置，所述装置包括：
7.根据权利要求6所述的装置，其中在评估所述对准模型时，所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
8.根据权利要求6所述的装置，其中所述多个子集是随机选择的。
9.根据权利要求6所述的装置，其中所述至少一个处理器被配置为执行所述指令集以使得所述装置还执行：
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述至少一个...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁浩毅，陈志超，浦凌凌，张芳诚，于良江，王喆，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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