一种CVI沉积工装和CVI沉积炉制造技术

本技术实施例提供了一种CVI沉积工装及CVI沉积炉，用于制备筒状碳/碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：导流件，所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部；支撑件，在所述导流件位于所述加热空间内时，所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间，所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙，所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。这种结构更简单的沉积工装可以简化装炉和拆炉操作，有助于缩短沉积工艺的整体耗时，可提高沉积工艺效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉热场件制造，特别是涉及一种cvi沉积工装和cvi沉积炉。

技术介绍

1、目前，在埚帮、热屏、导流筒这类热场件制造过程中，通常将由碳纤维、碳布、网胎针刺而成的预制体置于沉积炉中，将甲烷等碳源气体从炉底通入，经过扩散进入预制体孔隙内，高温分解后沉积增密预制体，预制体达到一定密度后经过高温热处理，加工至所需成品尺寸。

2、受限于预制体的不规则形状尺寸，会导致碳源气体难以充分地扩散至预制体的孔隙内，因此，业内通常在cvi(chemical vapor infiltration，化学气相渗透)沉积炉内安装使用多个限气工装，使气体与预制体充分接触。

3、然而，现有的限气工装零部件多，装配复杂，导致沉积工艺进行前后拆装沉积炉耗时较长，降低了沉积工艺效率。

技术实现思路

1、本技术提供一种cvi沉积工装和cvi沉积炉，旨在解决现有限气工装零部件多，装配复杂，导致沉积工艺进行前后拆装沉积炉耗时较长，降低了沉积工艺效率的问题。

2、本技术实施例提供了一种cvi沉积工装，用于制备本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种CVI沉积工装，用于制备筒状碳/碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：

2.根据权利要求1所述的沉积工装，其特征在于，所述第一导流部为圆锥体形状，所述第一导流面为锥面形状。

3.根据权利要求1所述的沉积工装，其特征在于，所述第一导流面开设有多条导流槽，多条所述导流槽呈放射状布置。

4.根据权利要求3所述的沉积工装，其特征在于，所述导流槽的轨迹形状为直线或曲线形状。</p>

5.根据...

【技术特征摘要】

1.一种cvi沉积工装，用于制备筒状碳/碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：

2.根据权利要求1所述的沉积工装，其特征在于，所述第一导流部为圆锥体形状，所述第一导流面为锥面形状。

3.根据权利要求1所述的沉积工装，其特征在于，所述第一导流面开设有多条导流槽，多条所述导流槽呈放射状布置。

4.根据权利要求3所述的沉积工装，其特征在于，所述导流槽的轨迹形状为直线或曲线形状。

5.根据权利要求1所述的沉积工装，其特征在于，所述导流件还包括设置有第二导流面的第二导流部，所述第二导流部与所述第一导流部固定连接；

6.根据权利要求5所述的沉积工装，其特征在于，所述第二导流部为圆锥体形状，所述第二导流面为锥面形状。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张婷蕊，姚宏，杜路路，赵领航，段滨，李侨，张海洋，李鑫港，王洋，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：