晶片收纳容器清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术抑制清洗液进入门的内部空间。实施方式的晶片收纳容器清洗装置为对晶片收纳容器的门进行清洗的晶片收纳容器清洗装置，所述晶片收纳容器的门在其中一面具有钥匙孔，所述钥匙孔通过在插入了闩锁钥匙的状态下旋转而能够切换与晶片收纳容器主体的锁定/解锁，在侧面形成有在所述锁定时供闩锁能够突出的突出用孔，所述晶片收纳容器清洗装置包括：门保持部，对所述门进行保持；清洗液喷嘴，对所述门的另一面供给清洗液；以及气体喷嘴，在至少从所述清洗液喷嘴向所述门供给所述清洗液时，产生阻碍所述清洗液从所述突出用孔侵入的气体的流动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的涉及一种晶片收纳容器清洗装置。

技术介绍

1、以往，有对收纳(收容)半导体晶片的前开式晶片传送盒(front opening unifiedpod，foup)或前开式晶片出货盒(front opening shipping box，fosb)等晶片收纳容器进行清洗的晶片收纳容器清洗装置。晶片收纳容器包括：晶片收纳容器主体，对半导体晶片进行收纳；以及门，相对于晶片收纳容器主体能够开闭地设置。在门的侧面形成有供闩锁能够突出的孔，所述闩锁用于与晶片收纳容器主体连结。另外，在门的内部，闩锁以能够滑行的状态设置，因此形成了与所述孔连通的内部空间。通过从门突出的闩锁与晶片收纳容器主体卡合，门与晶片收纳容器主体连结。另外，通过将闩锁与晶片收纳容器主体的卡合解除，门与晶片收纳容器分离(分解)。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、专利文献1：日本专利特开2005-109523号公报

技术实现思路

1、[专利技术所要解决的问题]

2、在晶片收纳容器清洗装置中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶片收纳容器清洗装置，为对晶片收纳容器的门进行清洗的晶片收纳容器清洗装置，所述晶片收纳容器的门在其中一面具有钥匙孔，所述钥匙孔通过在插入了闩锁钥匙的状态下旋转而能够切换与晶片收纳容器主体的锁定/解锁，在侧面形成有在所述锁定时供闩锁能够突出的突出用孔，所述晶片收纳容器清洗装置的特征在于包括：

2.根据权利要求1所述的晶片收纳容器清洗装置，其特征在于，还具有：

3.根据权利要求2所述的晶片收纳容器清洗装置，包括罩，所述罩设置于所述门保持部且对所述门进行覆盖，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶片收纳容器清洗装置，其中，所述气体喷嘴向所述钥匙孔供...

【技术特征摘要】

1.一种晶片收纳容器清洗装置，为对晶片收纳容器的门进行清洗的晶片收纳容器清洗装置，所述晶片收纳容器的门在其中一面具有钥匙孔，所述钥匙孔通过在插入了闩锁钥匙的状态下旋转而能够切换与晶片收纳容器主体的锁定/解锁，在侧面形成有在所述锁定时供闩锁能够突出的突出用孔，所述晶片收纳容器清洗装置的特征在于包括：

2.根据权利要求1所述的晶片收纳容器清洗装置，其特征在于，还具有：

3.根据权利要求2所述的晶片收纳容器清洗装...

【专利技术属性】
技术研发人员：石原淳司，宫迫久顕，西部幸伸，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置株式会社，
类型：发明
国别省市：