【技术实现步骤摘要】
【】本技术涉及硅片承载装置，尤其涉及一种新型硅片花篮。
技术介绍
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技术介绍
1、硅片花篮是半导体制造工艺中必不可少的设备之一，它通常用于储存硅片以及将其移动到各种不同的加工工作站，现有硅片花篮通过设置多个对应的齿条，以用于夹紧并储存硅片；
2、但硅片花篮在长期使用过程中，齿条会因受到过大的压力或摩擦力而变形，并处于弯曲状态，这会影响硅片移动的稳定性，并导致硅片在加工过程中受损。
技术实现思路
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技术实现思路
1、为解决上述硅片花篮在长期使用过程中，齿条容易弯曲变形的问题，本技术提出了一种新型硅片花篮。
2、本技术由以下技术方案实现的：
3、一种新型硅片花篮，包括花篮侧板，设于两所述花篮侧板之间的支撑杆，齿条，多个所述齿条围设以形成用于供硅片插入的存储空间，以及设于所述齿条和所述花篮侧板之间并用于两者可拆卸连接的定位机构；
4、所述定位机构包括用于沿所述齿条轴向方向拉紧所述齿条以使所述齿条处于拉伸状态的连接机构，所述连接机构包括用于使所述齿条一端与所述花篮侧板连接的固定机构，以及用于使所述齿条另一端与另一所述花篮侧板连接的拉伸机构。
5、如上所述的一种新型硅片花篮，当所述固定机构用于使所述齿条一端和所述花篮侧板固定连接后，所述拉伸机构用于使所述齿条另一端往远离所述固定机构的方向保持拉伸趋势。
6、如上所述的一种新型硅片花篮，所述连接机构还包括设于所述齿条端部的连接部，设于所述花篮
7、如上所述的一种新型硅片花篮，所述花篮侧板包括第一花篮侧板，以及与所述第一花篮侧板相对设置的第二花篮侧板；
8、所述固定机构包括设于所述齿条一端的轴向定位端面，以及用于和所述轴向定位端面配合以夹紧所述第一花篮侧板的第一连接件。
9、如上所述的一种新型硅片花篮，所述拉伸机构包括设于所述齿条另一端并用于和所述第二花篮侧板内侧壁保持间距的轴向避空端面，以及与所述齿条连接并用于贴紧顶压所述第二花篮侧板外侧壁的第二连接件，所述第二连接件和所述第一连接件对应配合并分别顶压所述第二花篮侧板和所述第一花篮侧板以用于使所述齿条处于拉伸状态。
10、如上所述的一种新型硅片花篮，所述连接孔内还设有顶压凸台，当所述齿条插入所述连接孔内后，所述顶压凸台用于和所述轴向定位端面顶压配合以限制所述齿条和所述花篮侧板之间的相对位置。
11、如上所述的一种新型硅片花篮，所述定位机构还包括用于限制所述齿条和所述花篮侧板之间相对转动的限位机构。
12、如上所述的一种新型硅片花篮，所述限位机构包括设于所述齿条上的定位销，以及设于所述花篮侧板上并用于供所述定位销插入的限位槽。
13、如上所述的一种新型硅片花篮，所述齿条包括连接杆，以及套设于所述连接杆外侧壁上的齿条部。
14、如上所述的一种新型硅片花篮，两所述花篮侧板之间还设有位于所述花篮侧板底部的支撑底杆，以及套设于所述支撑底杆外侧壁上的保护圆管。
15、与现有技术相比，本技术有如下优点：
16、本技术提出了一种新型硅片花篮，本技术通过支撑杆连接并顶压两花篮侧板以固定两花篮侧板之间的相对位置，通过固定机构使齿条一端与花篮侧板固定连接以限制齿条和花篮侧板之间的相对位置，并通过拉伸机构使齿条另一端与另一花篮侧板连接，进而使齿条沿其轴向方向拉紧，并保持处于拉伸状态，减少了齿条因受到过大的压力或摩擦力而变形的问题，提高了硅片移动的稳定性，减少了硅片在加工过程中受损，提高了硅片的加工质量和效率。
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1.一种新型硅片花篮，其特征在于：包括花篮侧板(1)，设于两所述花篮侧板(1)之间的支撑杆(2)，齿条(3)，多个所述齿条(3)围设以形成用于供硅片插入的存储空间(4)，以及设于所述齿条(3)和所述花篮侧板(1)之间并用于两者可拆卸连接的定位机构(5)；
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，当所述固定机构(61)用于使所述齿条(3)一端和所述花篮侧板(1)固定连接后，所述拉伸机构(62)用于使所述齿条(3)另一端往远离所述固定机构(61)的方向保持拉伸趋势。
3.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述连接机构(6)还包括设于所述齿条(3)端部的连接部(63)，设于所述花篮侧板(1)上并用于供所述连接部(63)穿过的连接孔(64)，以及和所述连接部(63)螺纹配合并用于顶压所述花篮侧板(1)侧壁的连接件(65)。
4.根据权利要求3所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述花篮侧板(1)包括第一花篮侧板(11)，以及与所述第一花篮侧板(11)相对设置的第二花篮侧板(12)；
5.根据权利要求4所述的一种
6.根据权利要求4所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述连接孔(64)内还设有顶压凸台(641)，当所述齿条(3)插入所述连接孔(64)内后，所述顶压凸台(641)用于和所述轴向定位端面(611)顶压配合以限制所述齿条(3)和所述花篮侧板(1)之间的相对位置。
7.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述定位机构(5)还包括用于限制所述齿条(3)和所述花篮侧板(1)之间相对转动的限位机构(7)。
8.根据权利要求7所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述限位机构(7)包括设于所述齿条(3)上的定位销(71)，以及设于所述花篮侧板(1)上并用于供所述定位销(71)插入的限位槽(72)。
9.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述齿条(3)包括连接杆(31)，以及套设于所述连接杆(31)外侧壁上的齿条部(32)。
10.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，两所述花篮侧板(1)之间还设有位于所述花篮侧板(1)底部的支撑底杆(8)，以及套设于所述支撑底杆(8)外侧壁上的保护圆管(81)。
...【技术特征摘要】
1.一种新型硅片花篮，其特征在于：包括花篮侧板(1)，设于两所述花篮侧板(1)之间的支撑杆(2)，齿条(3)，多个所述齿条(3)围设以形成用于供硅片插入的存储空间(4)，以及设于所述齿条(3)和所述花篮侧板(1)之间并用于两者可拆卸连接的定位机构(5)；
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，当所述固定机构(61)用于使所述齿条(3)一端和所述花篮侧板(1)固定连接后，所述拉伸机构(62)用于使所述齿条(3)另一端往远离所述固定机构(61)的方向保持拉伸趋势。
3.根据权利要求1所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述连接机构(6)还包括设于所述齿条(3)端部的连接部(63)，设于所述花篮侧板(1)上并用于供所述连接部(63)穿过的连接孔(64)，以及和所述连接部(63)螺纹配合并用于顶压所述花篮侧板(1)侧壁的连接件(65)。
4.根据权利要求3所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述花篮侧板(1)包括第一花篮侧板(11)，以及与所述第一花篮侧板(11)相对设置的第二花篮侧板(12)；
5.根据权利要求4所述的一种新型硅片花篮，其特征在于，所述拉伸机构(62)包括设于所述齿条(3)另一端并用于和所述第二花篮侧板(12)内侧壁保持间距的轴向避空端面(621)，以及与所述齿条(3)连接并用于贴紧顶压所述第二花篮侧板...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘奇，刘勇，
申请(专利权)人：中山市浩晨科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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