【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造工艺设备，特别涉及，一种可折叠的踩踏装置。
技术介绍
1、目前半导体设备有单腔、双腔、多腔等类型，其体积高大，很多时候都需要登高作业和维护。传统登高作业方式是在需要登高作业或维护时，采用常规登高凳，即一个独立的大长凳；登高作业或维护完之后，再将大长凳挪走放在旁边。如此一来，不仅操作麻烦，而且将登高凳来回移动耽误时间，影响工作效率。
2、除此之外，一些机台由于设备设计因素，在靠近底端处有凸出的部分，传统登高作业方式需要让大长凳跨在该凸出的部分上方，如此很容易发生磕碰，从而造成机台损坏和内部精密零部件故障。
技术实现思路
1、针对上述缺陷，本专利技术解决的技术问题在于，提供一种可折叠的踩踏装置，以解决现在技术所存在的独立凳操作麻烦，影响工作效率，与机台凸出的部分易磕碰造成机台损坏和内部精密零部件故障的问题。
2、本专利技术提供了一种可折叠的踩踏装置，包括：
3、踏板，翻转设置于机台，且在翻转路径上至少具有一个收纳位置和一个使用位置；<...
【技术保护点】
1.一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述锁扣设有若干个、且对称设置于所述踏板的两侧。
4.根据权利要求2所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述锁扣还包括：
5.根据权利要求1所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述支腿包括：
6.根据权利要求5所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述底座包括与所述支撑件螺纹连接的螺纹柱，所述螺纹柱贯穿所述紧固件设置、且与所述紧固...
【技术特征摘要】
1.一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求2所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述锁扣设有若干个、且对称设置于所述踏板的两侧。
4.根据权利要求2所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述锁扣还包括：
5.根据权利要求1所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述支腿包括：
6.根据权利要求5所述的一种可折叠的踩踏装置，其特征在于，所述底座包括与所述支撑件螺纹连接的螺纹柱，所述螺纹柱贯穿所述紧固件设置、且与所述紧固件螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯永刚，周峰，章海霞，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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