一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法，该装置包括：激光输出模块：该模块包括He‑Ne激光器和电机，用于电机与待测激光器或He‑Ne激光器连接；能量平衡模块：该模块包括分光镜和衰减片，分光镜设于待测激光器之后，衰减片设于分光镜之后；光斑分离模块：该模块包括楔形棱镜与消色差透镜，楔形棱镜设于分光镜与消色差透镜之间，消色差透镜设于楔形棱镜之后；快门：设于消色差透镜与衰减片之间，用于控制测量启停；CCD：设于衰减片之后，用于分区采集双波长光束的光斑数据，并实时拟合质心，计算双波长光束的抖动性和指向性。与现有技术相比，本发明专利技术实现了对双波长光束的指向性与抖动性进行准确、快速的实时测量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光电检测领域，尤其是涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法。

技术介绍

1、对于高能激光系统，激光器出射光束的指向稳定性是影响系统性能的一项重要指标。指向稳定性会制约高能激光系统的扩束、发射、聚焦光学系统的设计与实现，并且指向稳定性较差的激光器将导致系统发射激光的远场聚焦光斑能量集中度变低，无法达到毁伤目标所需的远场光斑功率密度；激光器输出激光的指向稳定性也会影响激光在精密测量与精密加工领域的应用，例如，使用激光刻录光盘时，要求跟踪轨道间距误差小于0.2μm，即光束方向的漂移小于30μrad。因此，光束指向稳定性的检测是高能激光系统性能实现的必要环节，其检测精度将对系统瞄准精度、毁伤效能等产生非常重要的影响。

2、常见的光束指向性、抖动性检测方法有机械测量、光电测量等。其中机械测量多采用激光远距离照射靶板进行测量，受大气传输影响较大；光电测量方法主要是借助ccd直接或间接采集光斑，由光斑图像处理得到指向抖动性，现有光电测量方法大多只能实现对单光束的测量。随着激光技术的发展，双波长光束有着愈发广泛的研究价值及应用前景，指向与本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，所述分区中包含一个波长光斑。

3.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，双波长光束分别为1064nm波长和532nm波长，所述衰减片(8)对1064nm波长的透过率为0.3‰，对532nm波长的透过率为0.57‰。

4.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，所述楔形棱镜(5)的工作角度为6.838°。

5.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动...

【技术特征摘要】

1.一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，所述分区中包含一个波长光斑。

3.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，双波长光束分别为1064nm波长和532nm波长，所述衰减片(8)对1064nm波长的透过率为0.3‰，对532nm波长的透过率为0.57‰。

4.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，所述楔形棱镜(5)的工作角度为6.838°。

5.根据权利要求1所述的一种双波长光束抖动和指向性的测量装置，其特征在于，所述分光镜(4)表面镀制双波...

【专利技术属性】
技术研发人员：马彬，郑湘粤，沈正祥，张锦龙，王占山，周雷，何春伶，颜冬月，陈易凡，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：