脉冲退火装置制造方法及图纸

技术编号:40756847 阅读:20 留言:0更新日期:2024-03-25 20:10
本发明专利技术公开了一种脉冲退火装置,所述脉冲退火装置包括退火炉、样品台、脉冲组件、滤光件和遮光板,所述样品台设在所述退火炉内,所述脉冲组件设在所述退火炉内且位于所述样品台上方,所述脉冲组件用于向所述样品台发射脉冲光,所述滤光件设在所述样品台和所述脉冲组件之间,所述遮光板沿水平方向可移动地设在所述样品台和所述脉冲组件之间,所述遮光板上设有狭缝。本发明专利技术实施例的脉冲退火装置通过设置脉冲组件,利用脉冲光对样品进行加热升温和降温时间短且可大面积加热,有利于提高钙钛矿薄膜质量及稳定性,有利于大面积钙钛矿薄膜的生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳电池,尤其涉及一种脉冲退火装置


技术介绍

1、钙钛矿材料具有光吸收能力强,成本低,制备方法简单等特点,近年来已成为光伏领域的研究热点。目前钙钛矿薄膜的常规制备工艺为:通过旋涂、刮涂或狭缝涂布等方法制备湿膜后,再通过退火等工艺促进溶剂挥发,得到钙钛矿晶体薄膜。

2、在钙钛矿薄膜制备过程中,退火对提高钙钛矿薄膜的质量至关重要,常见退火工艺有采用热台加热退火、红外光退火等,相关技术中的退火工艺大多是针对样品进行整体加热,退火时间较长,效率较低。


技术实现思路

1、本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

2、为此,本专利技术的实施例提出一种可以实现钙钛矿材料快速退火的脉冲退火装置。

3、本专利技术实施例的脉冲退火装置包括退火炉、样品台、脉冲组件、滤光件和遮光板,所述样品台设在所述退火炉内,所述脉冲组件设在所述退火炉内且位于所述样品台上方,所述脉冲组件用于向所述样品台发射脉冲光,所述滤光件设在所述样品台和所述脉冲组件之间,所述遮光板沿水平方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种脉冲退火装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的脉冲退火装置,其特征在于,所述遮光板为矩形板,所述狭缝为长条状,所述遮光板的移动方向垂直于所述狭缝的长度方向。

3.根据权利要求2所述的脉冲退火装置,其特征在于,还包括直线电机,所述直线电机安装在所述退火炉的内壁上并与所述遮光板相连。

4.根据权利要求1所述的脉冲退火装置,其特征在于,所述脉冲组件包括灯罩和脉冲灯,所述灯罩与所述退火炉相连,所述灯罩的下端敞开设置以形成开口,所述灯罩的内壁面上设有反光层,所述脉冲灯设在所述灯罩内。

5.根据权利要求4所述的脉冲退火装置,其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种脉冲退火装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的脉冲退火装置,其特征在于,所述遮光板为矩形板,所述狭缝为长条状,所述遮光板的移动方向垂直于所述狭缝的长度方向。

3.根据权利要求2所述的脉冲退火装置,其特征在于,还包括直线电机,所述直线电机安装在所述退火炉的内壁上并与所述遮光板相连。

4.根据权利要求1所述的脉冲退火装置,其特征在于,所述脉冲组件包括灯罩和脉冲灯,所述灯罩与所述退火炉相连,所述灯罩的下端敞开设置以形成开口,所述灯罩的内壁面上设有反光层,所述脉冲灯设在所述灯罩内。

5.根据权利要求4所述的脉冲退火装置,其特征在于,所述滤光件设在所述灯罩的开口处,所述遮光板设在所述滤光件的下方。

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【专利技术属性】
技术研发人员:吴瑶墙子跃王彩霞赵晓霞宗军
申请(专利权)人:国家电投集团科学技术研究院有限公司
类型:发明
国别省市:

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