一种用于成像质谱的光学显微镜装置制造方法及图纸

技术编号:40749576 阅读:17 留言:0更新日期:2024-03-25 20:06
本发明专利技术涉及质谱分析仪技术领域,特别涉及一种用于质谱成像的光学显微镜装置。包括光源、分光板、相机及光学元件,其中光学元件同轴设置于离子提取传输系统的外侧,分光板设置于光源的前方,相机与分光板同轴布置,光学元件包括同轴依次设置主反射镜、平面反射镜及次反射镜,光源发出的光束依次经过分光板和光学元件后聚焦在样品的表面,光线再沿原路返回且透过分光板在相机上成像。本发明专利技术结构紧凑,体积小,由光源发出的光线经过分光板、平面反射镜、次反射镜和主反射镜的反射之后聚焦在样品表面,之后携带样品表面的光线返回透过分光板最终成像在相机上,光线利用率高,而且光学成像的过程与离子提取和传输过程互不干涉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及质谱分析仪,特别涉及一种用于质谱成像的光学显微镜装置。


技术介绍

1、质谱仪器具有高分辨、高灵敏和高通量等特点,目前被广泛应用于大气环境监测、食品检测、工业过程和科学分析等领域中。常规的质谱分析技术对于单个样品得到样品的质荷比和强度信息,可以对于分析物进行定性和定量检测。质谱成像技术是用于化学、生物学和药物研究中,分析样本中不同分子的分布和浓度的方法。其基本原理是使用聚焦的激光或者离子束在样品表面进行轰击,产生的二次离子经过离子提取锥的收集和离子传输系统的传输之后,进入到质谱仪当中进行分析。通过激光束/离子束的扫描或者样品台的移动,可以获取不同的空间坐标点内的质谱图,经过数据处理之后可以得到不同分子在表面的空间坐标信息和强度信息。光学显微镜的作用在于对于分析样品表面进行实时观察,确定电离分析的空间坐标以及用于评价激光束斑或者离子束束斑的大小。一般的光学显微镜采用侧照式的结构,光源从侧向照射,之后反射光被收集进入到相机中进行成像。这种结构的缺点在于由于观察角度的影响,会带来光学像差显著影响光学成像的空间分辨率。其次,分离式结构中将分析位置和观察本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,包括光源(1)、分光板(2)、相机(7)、光学元件及离子提取传输系统,其中光学元件同轴设置于离子提取传输系统的外侧,分光板(2)设置于光源(1)的前方,相机(7)与分光板(2)同轴布置,光源(1)发出的光束依次经过分光板(2)和光学元件后聚焦在样品的表面,光线再沿原路返回且透过分光板(2)在相机(7)上成像。

2.根据权利要求1所述的用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,所述光学元件包括同轴依次设置主反射镜(5)、平面反射镜(3)及次反射镜(4);主反射镜(5)、平面反射镜(3)及次反射镜(4)具有同轴线的中心通孔,由所述...

【技术特征摘要】

1.一种用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,包括光源(1)、分光板(2)、相机(7)、光学元件及离子提取传输系统,其中光学元件同轴设置于离子提取传输系统的外侧,分光板(2)设置于光源(1)的前方,相机(7)与分光板(2)同轴布置,光源(1)发出的光束依次经过分光板(2)和光学元件后聚焦在样品的表面,光线再沿原路返回且透过分光板(2)在相机(7)上成像。

2.根据权利要求1所述的用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,所述光学元件包括同轴依次设置主反射镜(5)、平面反射镜(3)及次反射镜(4);主反射镜(5)、平面反射镜(3)及次反射镜(4)具有同轴线的中心通孔,由所述分光板(2)反射的光线依次经过平面反射镜(3)、次反射镜(4)和主反射镜(5)反射后聚焦至样品表面。

3.根据权利要求2所述的用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,所述次反射镜(4)为球型凸面镜,球型凸面镜上镀有铝反射膜;所述次反射镜(4)安装在所述离子提取系统(9)的外侧。

4.根据权利要求3所述的用于质谱成像的光学显微镜装置,其特征在于,所述次反射镜(4)的外径为10-4...

【专利技术属性】
技术研发人员:李海洋陈懿陈平张雪松吴称心
申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
类型:发明
国别省市:

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