【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种生成在描绘装置的基板对准中使用的模板的技术。[相关申请的参照]本申请主张2022年9月22日申请的日本专利申请jp2022-151168的优先权的利益，将该申请的全部公开引入本申请。
技术介绍
1、以往，通过向形成于半导体基板、印刷基板，或者有机el显示装置或液晶显示装置用玻璃基板等(以下，称作“基板”)的感光材料照射光来描绘图案。在进行这种描绘的描绘装置中执行对准处理，即，检测设置在基板上的对准标记的位置并自动调节图案的描绘位置。
2、近年来，在对印刷基板的描绘中，为了增加一张基板可采取的元件数，需要削减用于配置对准标记的空间。为此，采用了在基板上不设置对准专用的标记，而将基板上的部分图案用作对准标记的方式。
3、例如，在日本特开2013-171988号公报(文献1)的曝光装置中，在对基板上的图案进行拍摄而得到的图像内，该图案的一部分被设定为用于对准处理的基准标记模型(即，模板)而被预先登记。并且，当应曝光的基板被搬入至曝光装置时，利用摄像头拍摄该基板上的图案的一部分，并通过对所得到的图像和上述基准标记模型进行图案匹配，来进行该基板的对准处理。
4、另一方面，在日本特开2000-236007号公报(文献2)中，提出了一种在扫描电子显微镜的图案的自动测长中，从cad(computer-aided design：计算机辅助设计)数据读取任意区域的图案数据，并从该图案数据提取图案轮廓边缘数据来生成模板边缘数据的技术。
5、然而，在描绘装置中，在针对基板的描绘数据的分辨
技术实现思路
1、本专利技术提供一种生成在绘装置的基板对准中使用的模板的模板生成装置，其目的在于提高描绘装置中的基板的对准精度。
2、本专利技术的方式1是生成在描绘装置的基板对准中使用的模板的模板生成装置，其中，包括：区域选择部，从作为设置在基板上的图案的cad数据的图案cad数据选择包含图案要素的至少一部分的规定的大小的模板区域；以及模板生成部，以与描绘装置的描绘用分辨率不同的所述描绘装置的拍摄部的拍摄用分辨率，对所述图案cad数据的所述模板区域进行栅格化，来生成灰度的模板。所述模板生成部针对所述模板中包含的多个像素，将与所述图案要素对应的像素的像素值设定为第一像素值，将与背景区域对应的像素的像素值设定为第二像素值，将作为包含所述图案要素的边缘的像素的含边缘像素的像素值设定为所述第一像素值和所述第二像素值之间的第三像素值。
3、根据本专利技术，能够提高描绘装置中的基板的对准精度。
4、本专利技术的方式2是方式1的模板生成装置，其中，基于所述含边缘像素中的所述边缘的位置来设定所述第三像素值。
5、本专利技术的方式3是方式1的模板生成装置，其中，基于所述含边缘像素中的所述图案要素的占有率来设定所述第三像素值。
6、本专利技术的方式4是方式1(也可以是方式1至方式3中的任一个)的模板生成装置，其中，还具有基于由所述拍摄部获取的所述模板区域的拍摄图像，校正所述模板的所述含边缘像素的像素值的模板校正部。
7、本专利技术还涉及描绘系统。本专利技术的方式5是描绘系统，其中，包括：方式1至方式4中任一项所述的模板生成装置；以及描绘装置，使用由所述模板生成装置生成的所述模板进行基板的对准，并向所述基板照射光进行描绘。所述描绘装置包括：载物台，对在上表面上预先设置有所述图案的所述基板进行保持；描绘头，向所述基板的所述上表面照射调制后的光；扫描机构，使所述载物台在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上相对于所述描绘头相对移动；拍摄部，拍摄所述图案的一部分；位置检测部，通过对由所述拍摄部获取的拍摄图像进行使用了所述模板的图案匹配，来检测所述基板的位置；存储部，存储作为描绘在所述图案上的其他图案的cad数据的其他图案cad数据；数据生成部，对所述其他图案cad数据进行栅格化而生成栅格数据；以及描绘控制部，根据所述栅格数据和由所述位置检测部检测到的所述基板的位置来控制所述描绘头和所述扫描机构，从而对相对于所述描绘头沿所述扫描方向相对移动的所述基板执行所述其他图案的描绘。
8、本专利技术还涉及生成在描绘装置的基板对准中使用的模板的模板生成方法。本专利技术的方式6是生成在描绘装置的基板对准中使用的模板的模板生成方法，其中，包括：a)工序，从作为设置在基板上的图案的cad数据的图案cad数据选择包含图案要素的至少一部分的规定的大小的模板区域；以及b)工序，以与描绘装置的描绘用分辨率不同的所述描绘装置的拍摄部的拍摄用分辨率，对所述图案cad数据的所述模板区域进行栅格化，来生成灰度的模板。在所述b)工序中，针对所述模板中包含的多个像素，将与所述图案要素对应的像素的像素值设定为第一像素值，将与背景区域对应的像素的像素值设定为第二像素值，将作为包含所述图案要素的边缘的像素的含边缘像素的像素值设定为所述第一像素值和所述第二像素值之间的第三像素值。
9、本专利技术还涉及存储了生成在描绘装置的基板对准中使用的模板时使用的程序的存储介质。本专利技术的方式7是存储生成在描绘装置的基板对准中使用的模板时使用的程序的存储介质，通过由计算机执行所述程序，执行：a)工序，从作为设置在基板上的图案的cad数据的图案cad数据选择包含图案要素中的至少一部分的规定的大小的模板区域；以及b)工序，以与描绘装置的描绘用分辨率不同的所述描绘装置的拍摄部的拍摄用分辨率，对所述图案cad数据的所述模板区域进行栅格化，来生成灰度的模板。在所述b)工序中，针对所述模板中包含的多个像素，将与所述图案要素对应的像素的像素值设定为第一像素值，将与背景区域对应的像素的像素值设定为第二像素值，将作为包含所述图案要素的边缘的像素的含边缘像素的像素值设定为所述第一像素值和所述第二像素值之间的第三像素值。
10、上述的目的及其他目的、特征、方式以及优点，通过参照附图以及在以下进行的本专利技术的详细说明，更加明确。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种模板生成装置，生成在描绘装置的基板对准中使用的模板，其中，
2.根据权利要求1所述的模板生成装置，其中，
3.根据权利要求1所述的模板生成装置，其中，
4.根据权利要求1所述的模板生成装置，其中，
5.一种描绘系统，其中，包括：
6.一种模板生成方法，生成在描绘装置的基板对准中使用的模板，其中，包括：
7.一种存储介质，存储在生成在描绘装置的基板对准中使用的模板时使用的程序，其中，
【技术特征摘要】
1.一种模板生成装置，生成在描绘装置的基板对准中使用的模板，其中，
2.根据权利要求1所述的模板生成装置，其中，
3.根据权利要求1所述的模板生成装置，其中，
4.根据权利要求1所述的模板生成装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：中井浩平，坂本道昭，田中尚武，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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