一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置及方法制造方法及图纸

技术编号:40743458 阅读:26 留言:0更新日期:2024-03-25 20:02
一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,包括针尖腐蚀台模块、机器视觉辅助模块和控制电路模块,所述的针尖腐蚀台模块包括底板架、探针夹持装置、辅助电极、金属丝探针、溶液池固定架、溶液池,所述的机器视觉模块包括摄像机、机架、辅助光源、视频采集卡,所述的控制电路包括控制器和驱动电路。根据电化学交流腐蚀纳米探针过程中产生的气泡的数量和分布参数,结合机器视觉,对腐蚀电压动态调控。本发明专利技术操作方便,针尖制备的成功率高、一致性好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于扫描探针显微镜探针制备领域,具体涉及一种机器视觉辅助的扫描探针显微镜针尖制备装置及方法。


技术介绍

1、扫描探针显微镜是扫描隧道显微镜、原子力显微镜等的统称。扫描探针显微镜在物理学、化学、生物学、材料科学、微电子等领域有广泛的应用。

2、探针是扫描探针显微镜的关键部件之一,它直接影响扫描探针显微镜的成像质量。金属纳米探针是扫描探针显微探针的重要一种,它常用于扫描隧道显微镜、原子力显微镜中。

3、金属纳米探针的制备方法包括剪切法、离子束轰击法、电化学腐蚀法等,其中交流腐蚀金属纳米探针是最常用的金属纳米探针制备方法之一,在使用交流电腐蚀金属丝制备纳米探针的过程中,金属丝作为阳极被氧化腐蚀后,又交替作为阴极还原金属探针表面的氧化层,因此交流法制备的金属纳米探针表面氧化层较薄,不需经额外的处理就可以得到高质量的原子图。

4、交流腐蚀金属纳米探针的过程中金属丝与溶液接触的地方有大量的气泡产生,气泡在未脱离金属丝表面时,阻隔了金属丝与电解液的接触,也阻止了这部分金属丝表面发生电解反应。因此,电解中产生的气泡容易在金属丝本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,包括针尖腐蚀台模块、机器视觉辅助模块和控制电路模块,所述的针尖腐蚀台模块包括底板架、探针夹持装置、辅助电极、金属丝探针、溶液池固定架、溶液池,所述的机器视觉模块包括摄像机、机架、辅助光源、视频采集卡,所述的控制电路包括控制器和驱动电路。

2.根据权利要求1所述的一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,所述的底板架与探针夹持装置、溶液池固定架、机架和辅助光源固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,所述的溶液池为U型管状容器,盛有...

【技术特征摘要】

1.一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,包括针尖腐蚀台模块、机器视觉辅助模块和控制电路模块,所述的针尖腐蚀台模块包括底板架、探针夹持装置、辅助电极、金属丝探针、溶液池固定架、溶液池,所述的机器视觉模块包括摄像机、机架、辅助光源、视频采集卡,所述的控制电路包括控制器和驱动电路。

2.根据权利要求1所述的一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,所述的底板架与探针夹持装置、溶液池固定架、机架和辅助光源固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,所述的溶液池为u型管状容器,盛有溶液,并且固定在溶液池固定架上。

4.根据权利要求1所述的一种机器视觉辅助的交流腐蚀金属纳米探针制备装置,其特征在于,所述的探针夹持装置有两个夹持头,分别夹持金属丝探针和辅助电极。

5.根据权利要求1所述的一种机器视觉...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑家明夏志刚张晶晶
申请(专利权)人:中国计量大学
类型:发明
国别省市:

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