【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电池制造,具体涉及一种整片硅片加工传输线。
技术介绍
1、现有技术当中,在太阳能电池(例如topcon电池)的生产过程中,有激光开槽的工序。在该工序中,利用激光在硅片的表面进行打孔或者开槽,将部分薄膜层(例如al2o3层、sinx层)打穿露出硅基体,从而使背电场通过薄膜上的孔或槽与硅基体接触。
2、由于激光加工生产节拍较慢,为了提高产能,通常需要配置多条生产线来执行硅片的激光开槽的工序。然而这样增加了设备成本,且占用面积较大。为了解决上述问题,现有在一条生产线的激光加工工位增加多个激光器,这样能够同时对多块硅片进行加工,也能提升产能,但是现有采用传输带结构将硅片一片一片地转移加工工位的旋转治具台上,这样效率较低。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足,本技术提供一种整片硅片加工传输线,以提高硅片加工的工作效率。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
3、一种整片硅片加工传输线,包括并排设置的上料传输线、下料传输线以及转运机构,其特征在于:所述转运机构包括真空吸盘、支架和驱动组件,所述驱动组件用于驱动支架转动,所述支架上设置有两块安装板,当其中一块安装板位于激光加工工位时,另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方,每块所述安装板的底部均固定安装有多个所述真空吸盘。
4、作为上述技术方案的进一步改进,所述支架包括两个支撑臂,两个支撑臂的夹角为90度,所述安装板固定在支撑臂的端部。
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6、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括纠偏机构,所述纠偏机构至少包括两个,其中,至少一个所述纠偏机构设置在所述上料传输线的一侧,用于对所述上料传输线上的硅片进行位置校正;且至少一个所述纠偏机构设置在所述下料传输线的一侧,用于对所述下料传输线上的硅片进行位置校正。
7、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括缓存机构,所述缓存机构至少包括两个;其中至少一个所述缓存机构设置在所述上料传输线的一侧,以缓存从所述上料传输线待转移至激光加工工位的硅片;且至少一个所述缓存机构设置在所述下料传输线的一侧,以缓存从所述下料传输线待转移至后续工位的硅片。
8、作为上述技术方案的进一步改进,所述缓存机构包括缓存架和驱动缓存架升降的升降驱动组件,所述缓存架上设有若干陶瓷棒组成的缓存槽,所述缓存架上升时,硅片从上料传输线或下料传输线进入到缓存槽中,所述缓存架下降时,硅片从缓存槽进入到上料传输线或下料传输线上。
9、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括隐裂检测机构,所述隐裂检测机构设置在所述上料传输线的一侧,用于对硅片进行检测。
10、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括视觉定位机构,所述视觉定位机构设置于激光加工工位的上方,用于检测硅片放置在激光加工旋转平台后的位置。
11、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括aoi检测机构,所述aoi检测机构设置在所述下料传输线的一侧,用于对硅片的表面进行检测。
12、作为上述技术方案的进一步改进,所述硅片加工传输线还包括ng排料机构,所述ng排料机构设置在所述下料传输线的一侧,用于将aoi检测机构检测到的不合格硅片从下料传输线上取下。
13、本技术的工作原理是:硅片通过上料传输线输送至上料传输线的出料端时,所述驱动组件驱动支架转动,将其中一安装板旋转至上料传输线的出料端的正上方,多个真空吸盘同时开启,将上料传输线上的多张硅片同时吸取,然后驱动组件驱动支架反向转动,吸取着硅片的真空吸盘移动至激光加工工位的正上方,破真空,将硅片放置在激光加工工位上,激光加工工位旋转将硅片转移到激光器的下方进行激光加工。硅片加工完时,驱动组件驱动支架再次转动,其中一安装板再次旋转至出料端的正上方,该安装板上的真空吸盘吸取上料传输线上的多张硅片;此时另一安装板位于激光加工工位的正上方,该安装板上的的真空吸盘吸取激光加工工位上的多张加工完成后的硅片,驱动组件驱动支架反向转动,吸取已加工硅片的真空吸盘旋转至下料输送线的进料端的正上方,吸取着待加工硅片的真空吸盘移动至激光加工工位的正上方,破真空,将待加工硅片放置在激光加工工位上,将已加工硅片放置在下料输送线上,重复上述动作,实现硅片加工的上下料。
14、本技术的有益效果是:通过转运机构中的多个吸盘能够同时进行多张硅片的上下料,提高了生产效率。
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1.一种整片硅片加工传输线,包括并排设置的上料传输线、下料传输线以及转运机构,其特征在于:所述转运机构包括真空吸盘、支架和驱动组件,所述驱动组件用于驱动支架转动,所述支架上设置有两块安装板,当其中一块安装板位于激光加工工位时,另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方,每块所述安装板的底部均固定安装有多个所述真空吸盘。
2.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:所述支架包括两个支撑臂,两个支撑臂的夹角为90度,所述安装板固定在支撑臂的端部。
3.根据权利要求2所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:所述驱动组件包括控制箱以及安装于控制箱中的旋转伺服电机,所述支架转动连接于控制箱的顶部,所述旋转伺服电机的主轴通过一联轴器与所述支架连接。
4.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括纠偏机构,所述纠偏机构至少包括两个,其中,至少一个所述纠偏机构设置在所述上料传输线的一侧,用于对所述上料传输线上的硅片进行位置校正;且至少一个所述纠偏机构设置在所述下料传输线的一侧,用于对所述下料传输线上的硅
5.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括缓存机构,所述缓存机构至少包括两个;其中,至少一个所述缓存机构设置在所述上料传输线的一侧,以缓存从所述上料传输线待转移至激光加工工位的硅片;且至少一个所述缓存机构设置在所述下料传输线的一侧,以缓存从所述下料传输线待转移至后续工位的硅片。
6.根据权利要求5所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:所述缓存机构包括缓存架和驱动缓存架升降的升降驱动组件,所述缓存架上设有若干陶瓷棒组成的缓存槽,所述缓存架上升时,硅片从上料传输线或下料传输线进入到缓存槽中,所述缓存架下降时,硅片从缓存槽进入到上料传输线或下料传输线上。
7.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括隐裂检测机构,所述隐裂检测机构设置在所述上料传输线的一侧,用于对硅片进行检测。
8.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括视觉定位机构,所述视觉定位机构设置于激光加工工位的上方,用于检测硅片放置在激光加工旋转平台后的位置。
9.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括AOI检测机构,所述AOI检测机构设置在所述下料传输线的一侧,用于对硅片的表面进行检测。
10.根据权利要求9所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括NG排料机构,所述NG排料机构设置在所述下料传输线的一侧,用于将AOI检测机构检测到的不合格硅片从下料传输线上取下。
...【技术特征摘要】
1.一种整片硅片加工传输线,包括并排设置的上料传输线、下料传输线以及转运机构,其特征在于:所述转运机构包括真空吸盘、支架和驱动组件,所述驱动组件用于驱动支架转动,所述支架上设置有两块安装板,当其中一块安装板位于激光加工工位时,另一块安装板位于上料传输线的出料端或下料传输线的进料端的正上方,每块所述安装板的底部均固定安装有多个所述真空吸盘。
2.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:所述支架包括两个支撑臂,两个支撑臂的夹角为90度,所述安装板固定在支撑臂的端部。
3.根据权利要求2所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:所述驱动组件包括控制箱以及安装于控制箱中的旋转伺服电机,所述支架转动连接于控制箱的顶部,所述旋转伺服电机的主轴通过一联轴器与所述支架连接。
4.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括纠偏机构,所述纠偏机构至少包括两个,其中,至少一个所述纠偏机构设置在所述上料传输线的一侧,用于对所述上料传输线上的硅片进行位置校正;且至少一个所述纠偏机构设置在所述下料传输线的一侧,用于对所述下料传输线上的硅片进行位置校正。
5.根据权利要求1所述的一种整片硅片加工传输线,其特征在于:还包括缓存机构,所述缓存机构至少包括两个;其中,至少一个所述缓存机构设置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢敏,周宇超,何颖波,毛俊波,肖飒,张日明,
申请(专利权)人:海目星激光科技集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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