【技术实现步骤摘要】
本技术属于槽罐清洗装置，具体涉及一种电子级酸槽罐清洗装置。
技术介绍
1、电子级氢氟酸是半导体制造中常用的一种重要化学物质，主要应用于大型集成电路，作为清洗剂和腐蚀剂。电子级氢氟酸属于超净高纯试剂，电子级氢氟酸是芯片制造工艺中用量大的湿电子化学品，在大规模集成电路、led 显示器、平板显示器、晶体硅太阳能等微电子工业有着广泛应用。特别是在硅圆片在加工过程中，不溶性固体颗粒或金属离子会使电路短路，电子级氢氟酸能够有效除去晶圆上的杂质，因此用于运输电子级氢氟酸的容器则至关重要。
2、电子级氢氟酸常用槽罐车运输，槽罐内衬ptfe材料。为了便于装卸槽罐，槽罐通常与罐架配合使用。新槽罐投入使用前需要清洗，常用槽罐清洗方法主要为路跑清洗和静置清洗。路跑清洗是将装满清洗剂的氢氟酸槽罐车通过路跑晃动，将槽罐内部的颗粒和有机物清洗下来。但清洗剂多为危险化学品，路跑限制诸多，管制严格。静置清洗是指将装满清洗剂的槽罐静置，通过长时间的浸泡及多次更换清洗剂的方式将槽罐车清洗干净，但静置清洗存在死角，且需要多次更换清洗剂，成本高，清洗效果差。由此可知，路跑清洗和静置清洗均具有较大使用缺陷，有必要研发一种安全高效、低成本的电子级酸槽罐清洗装置。
技术实现思路
1、为了实现上述目的，本技术提供了一种电子级酸槽罐清洗装置。
2、本技术的一种电子级酸槽罐清洗装置的技术方案是：
3、一种电子级酸槽罐清洗装置，包括：
4、第一固定件，包括第一滚圈以及固定连接在所述第一滚圈
5、第一支撑件，包括第一底座、转动安装在所述第一底座上的两个第一滚轮以及驱动其中一个所述第一滚轮转动的驱动电机，两个所述第一滚轮布置在所述第一滚圈两侧且与所述第一滚圈滚动配合；
6、第二固定件，包括第二滚圈以及固定连接在所述第二滚圈一端的第二矩形框架；
7、第二支撑件，包括第二底座以及转动安装在所述第二底座上的两个第二滚轮，两个所述第二滚轮布置在所述第二滚圈两侧且与所述第二滚圈滚动配合；
8、所述第一矩形框架以及第二矩形框架上分别设有用于与罐架固定的固定结构。
9、进一步的，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架上侧两角处的支撑板，所述支撑板向所述第一矩形框和第二矩形框架的内侧延伸、用于支撑罐架的上侧四角位置。
10、进一步的，所述支撑板呈l形，所述支撑板的水平部扣在所述第一矩形框架和第二矩形框架的上侧两角处。
11、进一步的，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架下侧两角处的固定板，罐架的下侧四角处分别设有与所述固定板对应的连接板，所述固定结构包括连接在所述固定板与连接板之间的螺栓组件。
12、进一步的，所述第一矩形框架以及第二矩形框架的内部四角处分别设有三角形的焊接板，所述第一滚圈和第二滚圈分别焊接在四个焊接板上。
13、进一步的，所述电子级酸槽罐清洗装置包括驱动所述第二支撑件靠近和远离第一支撑件的驱动机构。
14、进一步的，所述驱动机构包括丝杆以及减速电机，所述丝杆转动安装在外部固定结构上，所述减速电机固定连接在外部结构上，所述减速电机的输出轴与所述丝杆固定连接，所述第二底座上设有与所述丝杆相匹配的固定块。进一步的，
15、所述驱动机构包括导向杆，所述导向杆固定连接在外部固定结构上，所述第二底座上设有与所述导向杆相匹配的导向孔。
16、本技术提供了一种电子级酸罐槽清洗装置，相比于现有技术，其有益效果是：
17、通过固定结构将罐架以及固定连接在罐架内的罐槽固定在第一固定件和第二固定件上，罐槽内装满清洗剂，启动驱动电机，驱动电机驱动罐架和罐槽转动，罐槽内的清洗剂在罐槽内翻滚，能够无死角的对罐槽内部各个位置进行清洗，提高了罐槽清洗效果和清洗效率，节省了清洗剂，降低了清洗成本。相比于路跑清洗，使用本技术清洗罐槽不受限制，安全性高。相比于静置清洗，使用本技术清洗罐槽清洗效果和清洗效率高，清洗剂用量小，清洗成本低。
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1.一种电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架上侧两角处的支撑板，所述支撑板向所述第一矩形框和第二矩形框架的内侧延伸、用于支撑罐架的上侧四角位置。
3.根据权利要求2所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述支撑板呈L形，所述支撑板的水平部扣在所述第一矩形框架和第二矩形框架的上侧两角处。
4.根据权利要求2所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架下侧两角处的固定板，罐架的下侧四角处分别设有与所述固定板对应的连接板，所述固定结构包括连接在所述固定板与连接板之间的螺栓组件。
5.根据权利要求2所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述第一矩形框架以及第二矩形框架的内部四角处分别设有三角形的焊接板，所述第一滚圈和第二滚圈分别焊接在四个焊接板上。
6.根据权利要求1所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述驱动机构包括丝杆以及减速电机，所述丝杆转动安装
7.根据权利要求6所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述驱动机构包括导向杆，所述导向杆固定连接在外部固定结构上，所述第二底座上设有与所述导向杆相匹配的导向孔。
...【技术特征摘要】
1.一种电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架上侧两角处的支撑板，所述支撑板向所述第一矩形框和第二矩形框架的内侧延伸、用于支撑罐架的上侧四角位置。
3.根据权利要求2所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述支撑板呈l形，所述支撑板的水平部扣在所述第一矩形框架和第二矩形框架的上侧两角处。
4.根据权利要求2所述的电子级酸槽罐清洗装置，其特征在于，所述固定结构包括固定连接在所述第一矩形框架和第二矩形框架下侧两角处的固定板，罐架的下侧四角处分别设有与所述固定板对应的连接板，所述固定结构包括连接在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯晓港，路小芳，张凯，胡专，路正凯，
申请(专利权)人：多氟多新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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