一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法制造方法及图纸

本申请公开了一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法，该方法包括：在基底上沉积出两个沉积点；基于沉积点的图像，获取两个沉积点之间的图像距离；基于探针的扫描结果，获取两个沉积点之间的空间距离；确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系；获取样本在坐标系中的对应位置关系；基于路径算法，规划路径对样本进行三维扫描并获取目标的三维结构。本申请减少了沉积探针和扫描探针切换需要抬起探针支架的繁琐步骤，降低了因探针支架的抬起可能造成的探针与基底发生碰撞的可能；完成了图像距离与探针位移距离之间相对位置关系的标定，消除了扫描探针扫描轨迹的冗余，大大提高了三维微纳结构的扫描成像效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于显微镜及图像分析，具体涉及一种基于sicm的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法。

技术介绍

1、扫描离子电导显微镜(scanning ion conductance microscopy,sicm)技术是一种扫描探针显微成像技术，该技术具有微纳米成像分辨率、探针易于制备等优点，并且具备生理条件下活体细胞成像的独特优势，能够实现对导体、半导体以及非导体的形貌、力学、电学等信息的多功能成像，因此逐渐在电化学、生命科学、材料科学等领域发挥重要作用。为了确保能够获得三维微纳结构的全部形貌信息，又由于无法确定探针与待扫描三维微纳结构之间的位置关系，常常利用探针对包含待测物的较大区域范围内的整个基底进行扫描，每次操作都需要进行扫描位置的预估计以及扫描范围的预设定，这样便会导致探针扫描轨迹的冗余，而扫描轨迹冗余又大大限制了其成像效率。

2、申请号为202010869933.x，名称为“一种液相微纳加工方法和设备”的专利，该专利中探针每沉积一个点都需要重新提起寻找下一个点的沉积位置，浪费时间，且探针频繁的上升下行可能会导致液桥断液或探针碰撞，成功率较低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述沉积点的图像，获取两个所述沉积点之间的图像距离的方法，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述切换探针并扫描所述沉积点，获取两个所述沉积点之间的空间距离的方法，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述图像距离以及所述空间距离，确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系的方法，包括：

5.一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置，其特征在于，包括：p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种基于sicm的玻璃微探针快速自动扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述沉积点的图像，获取两个所述沉积点之间的图像距离的方法，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述切换探针并扫描所述沉积点，获取两个所述沉积点之间的空间距离的方法，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述图像距离以及所述空间距离，确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系的方法，包括：

5.一种基于sicm的玻璃微探针快速自动扫描装置，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述探针组...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢强，万晗驰，张培好，杨雅雯，徐海黎，
申请(专利权)人：南通大学，
类型：发明
国别省市：