【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蚀刻退膜，具体为一种线路板des线显影蚀刻退膜装置。
技术介绍
1、显影蚀刻退膜装置是一种在半导体制造过程中使用的设备，用于处理和加工半导体芯片，它包括显影系统、蚀刻系统和退膜系统等部分组成，是半导体加工中不可或缺的一种装置。
2、专利公告号为cn215420989u的专利公开了线路板des线显影蚀刻退膜装置，属于蚀刻退膜领域。该专利包括安装板，安装板一表面固定连接有若干第一连接板，第一连接板一表面固定安装有退膜机，退膜机下表面固定连接若干第二连接板，第二连接板两侧面均固定连接滑轨，滑轨一表面滑动连接有滑块，滑块两相对表面固定安装有滑板，滑板上表面固定连接有斜坡，滑板上表面开设有通槽，滑板下表面固定连接有第三连接板，第三连接板下表面螺纹连接有固定板。该专利在使用时能够方便的将滑板安装在传送带下方，加工时退膜机通过喷液口向线路板喷射药液退膜，四散飞溅的药液在斜坡的作用下集中通过通槽流向下方的废液盒，从而能够方便的收集药液，也方便更换，使用简单方便。
3、但是目前该装置还存在不足之处：该装置能够将退膜机通过喷液口向线路板喷射药液退膜，但是药液在喷洒过程中容易过于集中，致使药液对线路板的喷洒不够均匀，从而影响退膜效果，因此，我们提出了一种线路板des线显影蚀刻退膜装置。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，解决了上述
技术介绍
中提出的药液在喷洒过程中容易过于集中问题。
2、为实现以上目的
3、优选的，所述均匀装置还包括液体箱、加热柱和圆孔板，所述液体箱底部固定安装在顶板组件顶部中心处，所述加热柱底部贯穿且固定安装在半球柱顶部，所述圆孔板背面固定安装在加热柱外壁正面，且圆孔板底部与液体箱内壁底部接触，半球柱带动加热柱同步转动，同时喷枪抽动液体箱内部退膜液时产生的吸力使得圆孔板产生旋转的力从而促进加热柱转动，加热柱的增强半球柱的旋转力，促进喷枪的喷洒均匀度，圆孔板依靠加热柱的加热效果以及圆孔增大与液体的接触面积，加快了对退膜液的加热效果。
4、优选的，所述循环装置包括u形管、水泵、电动转柱和刀片，所述u形管底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且u形管顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱右侧，所述水泵设置在u形管右侧中心处，通过水泵的抽力将储液池中的退膜液依靠u形管输送至液体箱中，形成液体循环，方便液体收集的同时节省了资源浪费现象，所述电动转柱底部转动安装在水泵内壁底部，且电动转柱外壁设置有弧形槽，所述刀片背面固定安装在电动转柱外壁表面，电动转柱旋转时带动刀片同步转动，刀片转动时会将退膜液中携带的物料膜产片进行切割碎化。
5、优选的，所述循环装置还包括横杆、空心滤环和圆形炭块，所述横杆左端滑动安装在电动转柱弧形槽内部，所述空心滤环外壁滑动连接在水泵内部处，且空心滤环内壁右侧固定连接在横杆右端，所述空心滤环底部设置有圆孔，电动转柱转动时依靠弧形槽对横杆的限制，使得横杆上下移动时带动空心滤环同步移动，空心滤环将水泵中的液体灌入排出，对水泵中液体进行净化处理，所述圆形炭块底部通过弹簧固定安装在空心滤环内壁底部，依靠液体灌入和排出空心滤环内部时产生的冲力和拉力，使得圆形炭块沿着空心滤环内壁上下滑动，进一步促进对退膜液中脏物与物料膜残渣的吸附净化效果。
6、优选的，所述注压装置包括摆动板、气压囊和喷气枪，所述摆动板左侧一端铰接在空心滤环内壁靠近底部一端，空心滤环上下移动时与液体的冲击力使得摆动板往复上下摆动，从而对水泵内部液体产生推动力，增加液体流动速度，同时还增加水泵内部的水压，使得液体能够更远或更高地供给，所述气压囊固定安装在摆动板底部与水泵内壁底部之间，所述喷气枪左侧固定安装在气压囊外壁右侧，气压囊形变时产生的压力通过喷气枪将气压囊内部气压喷出，通过对水泵内部注入气体，可以增加水泵的排空能力，有效减少泵内残余液体的含量。
7、优选的，所述注压装置还包括弧形塞和弧形弹板，所述弧形塞左侧滑动安装在喷气枪右侧，所述弧形弹板左侧固定连接在气压囊外壁右侧，且弧形弹板内壁左侧与弧形塞右侧接触，喷气枪喷力推动弧形塞向远离喷气枪方向运动，弧形塞顶动弧形弹板同步形变，使得气压囊内部气体能够正常喷出，之后依靠弧形弹板弹力快速复原时带动弧形塞快速复位，依靠弧面对液体进行遮挡。
8、优选的，所述打捞装置包括转盘、凸球杆、压杆和活性炭板，所述转盘底部固定安装在加热柱顶部，所述凸球杆右端固定安装在转盘外壁表面，所述压杆左端设置在凸球杆右端弧面底部，所述活性炭板左右两端铰接在液体箱内壁右侧，且活性炭板左侧与压杆右侧固定连接，加热柱带动转盘同步转动，转盘带动凸球杆同步转动，凸球杆转动时会不断抵触压杆向下摆动，压杆带动活性炭板同步摆动，活性炭板摆动时对u形管排出的退膜液进行摆动过滤，进一步提升对退膜液净化效果同时也将液体推动。
9、优选的，所述打捞装置还包括网板、碾压块和弹片，所述网板顶部固定安装在凸球杆外壁底部，网板转动时会对液体中微小块状固体进行打捞，防止块状固体影响显影效果，所述碾压块上下两端滑动安装在网板内壁处，所述弹片固定安装在碾压块右侧与相邻一侧之间，弹片形变时带动碾压块沿着网板内壁同步滑动，依靠碾压块的滑动碾压将块状固体碾碎。
10、本专利技术提供了一种线路板des线显影蚀刻退膜装置。具备以下有益效果：
11、(1)、本专利技术通过均匀装置的设置，通过电动伸缩柱和喷枪配合，使得电动伸缩柱伸缩端带动喷枪上下移动对物料喷洒退膜液，当喷枪下降过低抵触到物料时，依靠弹簧形变产生的拉力拉动电动伸缩柱伸缩端及时上升从而同步拉动喷枪上移，避免喷枪与物料发生磕碰对物料造成损害；通过半球柱和转板配合，使得半球柱与转板同步转动将退膜液扰动，防止液体对物料喷洒不均，防止退膜液喷洒时存在局限性过于集中从而降低物料的退膜效果；通过加热柱和圆孔板配合，使得加热柱的旋转力同步增强半球柱的旋转力，从而进一步促进喷枪的喷洒均匀度；同时圆孔板依靠加热本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，包括装置主体(1)，且装置主体(1)顶部中心处设置有储液池，所述储液池顶部设置有滤板(11)，所述装置主体(1)上方设置有顶板组件(2)，其特征在于：还包括均匀装置(3)、循环装置(4)、注压装置(5)和打捞装置(6)，所述均匀装置(3)设置在顶板组件(2)内壁顶部，所述循环装置(4)设置在装置主体(1)右侧，所述注压装置(5)设置在循环装置(4)内部，所述打捞装置(6)设置在均匀装置(3)内部，所述均匀装置(3)包括电动伸缩柱(31)、喷枪(32)、半球柱(33)和转板(34)，所述电动伸缩柱(31)顶部贯穿且固定安装在顶板组件(2)内壁顶部，且电动伸缩柱(31)伸缩端外壁设置有弹簧，所述喷枪(32)顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱(31)伸缩端底部，所述半球柱(33)顶部转动安装在喷枪(32)内部，所述转板(34)右侧固定安装在半球柱(33)外壁左侧。
2.根据权利要求1所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述均匀装置(3)还包括液体箱(35)、加热柱(36)和圆孔板(37)，所述液体箱(35)底部固定安装在
3.根据权利要求2所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循环装置(4)包括U形管(41)、水泵(42)、电动转柱(43)和刀片(44)，所述U形管(41)底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且U形管(41)顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱(35)右侧，所述水泵(42)设置在U形管(41)右侧中心处，所述电动转柱(43)底部转动安装在水泵(42)内壁底部，且电动转柱(43)外壁设置有弧形槽，所述刀片(44)背面固定安装在电动转柱(43)外壁表面。
4.根据权利要求3所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循环装置(4)还包括横杆(45)、空心滤环(46)和圆形炭块(47)，所述横杆(45)左端滑动安装在电动转柱(43)弧形槽内部，所述空心滤环(46)外壁滑动连接在水泵(42)内部处，且空心滤环(46)内壁右侧固定连接在横杆(45)右端，所述空心滤环(46)底部设置有圆孔，所述圆形炭块(47)底部通过弹簧固定安装在空心滤环(46)内壁底部。
5.根据权利要求4所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述注压装置(5)包括摆动板(51)、气压囊(52)和喷气枪(53)，所述摆动板(51)左侧一端铰接在空心滤环(46)内壁靠近底部一端，所述气压囊(52)固定安装在摆动板(51)底部与水泵(42)内壁底部之间，所述喷气枪(53)左侧固定安装在气压囊(52)外壁右侧。
6.根据权利要求5所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述注压装置(5)还包括弧形塞(54)和弧形弹板(55)，所述弧形塞(54)左侧滑动安装在喷气枪(53)右侧，所述弧形弹板(55)左侧固定连接在气压囊(52)外壁右侧，且弧形弹板(55)内壁左侧与弧形塞(54)右侧接触。
7.根据权利要求2所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述打捞装置(6)包括转盘(61)、凸球杆(62)、压杆(63)和活性炭板(64)，所述转盘(61)底部固定安装在加热柱(36)顶部，所述凸球杆(62)右端固定安装在转盘(61)外壁表面，所述压杆(63)左端设置在凸球杆(62)右端弧面底部，所述活性炭板(64)左右两端铰接在液体箱(35)内壁右侧，且活性炭板(64)左侧与压杆(63)右侧固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种线路板DES线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述打捞装置(6)还包括网板(65)、碾压块(66)和弹片(67)，所述网板(65)顶部固定安装在凸球杆(62)外壁底部，所述碾压块(66)上下两端滑动安装在网板(65)内壁处，所述弹片(67)固定安装在碾压块(66)右侧与相邻一侧之间。
...【技术特征摘要】
1.一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，包括装置主体(1)，且装置主体(1)顶部中心处设置有储液池，所述储液池顶部设置有滤板(11)，所述装置主体(1)上方设置有顶板组件(2)，其特征在于：还包括均匀装置(3)、循环装置(4)、注压装置(5)和打捞装置(6)，所述均匀装置(3)设置在顶板组件(2)内壁顶部，所述循环装置(4)设置在装置主体(1)右侧，所述注压装置(5)设置在循环装置(4)内部，所述打捞装置(6)设置在均匀装置(3)内部，所述均匀装置(3)包括电动伸缩柱(31)、喷枪(32)、半球柱(33)和转板(34)，所述电动伸缩柱(31)顶部贯穿且固定安装在顶板组件(2)内壁顶部，且电动伸缩柱(31)伸缩端外壁设置有弹簧，所述喷枪(32)顶部贯穿且固定安装在电动伸缩柱(31)伸缩端底部，所述半球柱(33)顶部转动安装在喷枪(32)内部，所述转板(34)右侧固定安装在半球柱(33)外壁左侧。
2.根据权利要求1所述的一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述均匀装置(3)还包括液体箱(35)、加热柱(36)和圆孔板(37)，所述液体箱(35)底部固定安装在顶板组件(2)顶部中心处，所述加热柱(36)底部贯穿且固定安装在半球柱(33)顶部，所述圆孔板(37)背面固定安装在加热柱(36)外壁正面，且圆孔板(37)底部与液体箱(35)内壁底部接触。
3.根据权利要求2所述的一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循环装置(4)包括u形管(41)、水泵(42)、电动转柱(43)和刀片(44)，所述u形管(41)底部左侧贯穿且固定安装在储液池内部，且u形管(41)顶部左侧贯穿且固定安装在液体箱(35)右侧，所述水泵(42)设置在u形管(41)右侧中心处，所述电动转柱(43)底部转动安装在水泵(42)内壁底部，且电动转柱(43)外壁设置有弧形槽，所述刀片(44)背面固定安装在电动转柱(43)外壁表面。
4.根据权利要求3所述的一种线路板des线显影蚀刻退膜装置，其特征在于：所述循...
【专利技术属性】
技术研发人员：张丽，刘雄，刘松菱，刘三波，
申请(专利权)人：江西华兴四海设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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