弹性波装置制造方法及图纸

技术编号：40711723 阅读：26 留言：0更新日期：2024-03-22 11:13

提供不仅能够改善线性度还能够实现小型化的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，压电膜(4)直接或间接地层叠于支承基板(2)，具备设置于压电膜(4)的第一主面(4a)的第一IDT电极(5)和设置于第二主面(4b)的第二IDT电极(15)，第一、第二IDT电极(5、15)中的一方包括外延膜，第一、第二IDT电极(5、15)中的另一方包括非外延膜。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及弹性波装置，该弹性波装置具备直接或间接地层叠在支承基板上的压电膜、以及设置于压电膜的两面的idt电极。

技术介绍

1、在下述的专利文献1中，公开了在压电基板的一个主面具有构成第一谐振器的idt电极和构成第二谐振器的idt电极的弹性波装置。第一谐振器的idt电极包括外延膜，第二谐振器的idt电极具有包括非外延膜的电极层。

2、在专利文献1所记载的弹性波装置中，构成具有使用外延膜的idt电极和包括非外延膜的idt电极的第一谐振器及第二谐振器。由此，在构成了具有第一谐振器和第二谐振器的带通型滤波器的情况下，能够改善线性度。

3、在先技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2021/187200号

技术实现思路

1、专利技术要解决的课题

2、在专利文献1中，在压电基板的一个主面上构成了用于构成第一谐振器的idt电极和用于构成第二谐振器的idt电极。因此，存在idt电极形成区域变大且难以实现小型化这样的问题。