一种制备超纯氨的工艺及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种制备超纯氨的工艺及装置，所述工艺采用工业氨为原料，经液氨汽化器气化后进入预处理单元经过吸附塔和膜分离器依次脱除水分、C5~C9的烃类杂质；经过脱重精馏塔、脱轻精馏塔依次脱除重组分和轻组分后获得超纯氨；所述吸附塔装填有活性炭、分子筛、γ‑Al<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;等中的一种或多种，膜分离器内装填有中空纤维膜。所述装置，液氨储罐、屏蔽泵、汽化器、吸附塔、膜分离器、脱重精馏塔、脱轻精馏塔通过管道依次连接，脱重精馏塔安装有脱重精馏塔塔顶冷凝器，脱轻精馏塔安装有脱轻精馏塔塔顶冷凝器，脱轻精馏塔塔釜依次连接超纯氨储罐、超纯氨输送泵、超纯氨钢瓶。该工艺和装置能有效去除水、金属、C5~C9的高级烃等杂质获得超纯氨。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超纯氨制备，具体涉及一种制备高纯氨的工艺及装置。

技术介绍

1、超纯氨是指纯度在99.9999%（6n）及以上的氨，是一种无色、有毒、可燃、具腐蚀性的可液化气体，属于特种气体的细分品类之一。在光电子材料领域，超纯氨是新型气相外延生长技术制备gan（氮化镓）的重要基础材料；在化工领域，超纯氨是制备三氟化氮、氮化硅的基础材料，主要应用于冶金、机械制造等场景。

2、近年来，在半导体、led等产业快速发展带动下，超纯氨的市场需求不断增加、产量不断提升。同时，随着高新技术产业不断涌现与发展，超纯氨市场需求不断升级，更高纯度的超纯氨，如7n超纯氨市场需求不断增加，行业展现出良好发展前景。

3、超纯氨主要生产工艺包括吸附法、低压精馏法、中压精馏法三大类。其中中压精馏工艺是一类优势较高的生产工艺，是指将原材料氨经泵加压进入精馏塔，在精馏塔控制合适压力与温度条件下生产超纯氨的方法，具有运行稳定、水分较低、运行成本低等优势，但操作要求较高。专利cn111960436a公开了一种超纯氨生产装置及生产方法，是将液氨经过蒸发器组蒸发提纯后，进入本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制备超纯氨的工艺，采用工业氨为原料，经液氨汽化器气化后进入预处理单元经过吸附塔和膜分离器依次脱除水分、C5~C9的烃类杂质；经过脱重精馏塔、脱轻精馏塔依次脱除重组分和轻组分后获得超纯氨；所述预处理单元包括吸附塔和膜分离器，吸附塔装填有活性炭、分子筛、γ-Al2O3中的一种或多种，膜分离器内装填有中空纤维膜。

2.根据权利要求1所述的制备超纯氨的工艺，其特征在于，所述中空纤维膜的内径为1.6~4.8mm，外径为2.4~5.6mm，膜壁孔径为0.0001~0.5μm。

3.根据权利要求1所述的制备超纯氨的工艺，其特征在于，所述膜分离器的进口压力为0.5~3MP...

【技术特征摘要】

1.一种制备超纯氨的工艺，采用工业氨为原料，经液氨汽化器气化后进入预处理单元经过吸附塔和膜分离器依次脱除水分、c5~c9的烃类杂质；经过脱重精馏塔、脱轻精馏塔依次脱除重组分和轻组分后获得超纯氨；所述预处理单元包括吸附塔和膜分离器，吸附塔装填有活性炭、分子筛、γ-al2o3中的一种或多种，膜分离器内装填有中空纤维膜。

2.根据权利要求1所述的制备超纯氨的工艺，其特征在于，所述中空纤维膜的内径为1.6~4.8mm，外径为2.4~5.6mm，膜壁孔径为0.0001~0.5μm。

3.根据权利要求1所述的制备超纯氨的工艺，其特征在于，所述膜分离器的进口压力为0.5~3mpa。

4.根据权利要求1所述的制备超纯氨的工艺，其特征在于，所述脱重精馏塔的精馏压力为0.15~0.61mpa，脱重塔塔顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟晓颖，袁胜芳，何红振，张金彪，铁宁，李笑艳，
申请(专利权)人：昊华气体有限公司，
类型：发明
国别省市：