一种压力传感器制造技术

一种压力传感器，包括：壳体，具有一内部表面及一压力引入通道；及具有一基板和一压力敏感元件的压力测量组件，基板与上述内部表面之间围成密封腔，压力引入通道的内侧一端连通至所述密封腔，基板上开设有连通压力敏感元件的一感压面与所述密封腔的压力感测通道；所述压力引入通道包括连通的第一细孔与第一粗孔，第一粗孔的内端与第一细孔的外端连通，第一细孔的内端连通至所述密封腔。上述的压力传感器，能够降低空泡溃灭对压力敏感元件的破坏，同时极大地降低压力响应时间。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及传感器，具体涉及一种压力传感器。

技术介绍

1、空泡是水中一部分压力降至饱和蒸气压以下时，液态水发生空化相变从而产生的气泡，这些气泡是主要是由蒸气和某些溶解于水中的气体组成的，其在液体内部或液固交界面上蒸形成、发展和溃灭。液体中空泡溃灭时产生的空蚀、噪声、振动和发光等现象，气泡的运动行为主要由压力控制，外部高压作用下，气泡会产生强烈的坍缩溃灭。这种溃灭能够将整个气泡的势能集中于一个非常小的点上，能量密度非常高。例如，水轮机叶片背压面由于负压形成的空泡在溃灭产生的压力冲击而被加速腐蚀，形成蚀坑；还例如，在管道中阀门、泵启停时导致的压力突然减小，即会向向下游传递的负压波，从而降低管道中的流速，而下游的水在波到达以前，仍以原来的速度运动，管道中这两部分水流速度的差别，相当于使水柱受到拉伸，而水是不抗拉伸的，当压力降低到汽化压力时，管内形成蒸汽穴，当水柱处于汽化压力下，其内部产生空泡，这种现象也称为液柱分离。

2、在对管道中的流体进行压力测量时，这种空泡对压力敏感元件具有破坏作用，尤其是空泡溃灭发生在离压力敏感元件较近时，能够对压力敏感元件造成破坏。

3、本部分中的陈述仅提供与本申请相关的背景信息并且可以不构成现有技术。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种压力传感器，以降低空泡对压力敏感元件的破坏，同时降低响应时间。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种压力传感器，包括：

3、壳体，具有一内部表面及一压力引入通道；

4、及具有一基板和一压力敏感元件的压力测量组件，基板与上述内部表面之间围成密封腔，压力引入通道的内侧一端连通至所述密封腔，基板上开设有连通压力敏感元件的一感压面与所述密封腔的压力感测通道；所述压力引入通道包括连通的第一细孔与第一粗孔，第一粗孔的内端与第一细孔的外端连通，第一细孔的内端连通至所述密封腔。

5、为便于制造加工，所述第一细孔形成于一组合件内，所述组合件固定于压力引入通道的内侧一端。

6、或者，所述组合件为板状或块状，其从内侧紧配合地固定于第一粗孔的内端形成的一扩孔中。

7、或者，所述组合件为板状，其固定于所述内部表面上。

8、或者，所述组合件为具有一端板的管，第一细孔形成于组合件的端板上，管固定于压力引入通道的内侧一端。

9、优选地，压力感测通道包括第二细孔和第二粗孔，第二细孔与压力敏感元件密封并与所述感压面连通，第二粗孔连通至所述密封腔。

10、优选地，第一细孔与第二细孔两者偏心设置。

11、优选地，所述内部表面设置有凹部或环槽，所述凹部或环槽内设置有第一密封圈，基板与上述内部表面之间通过第一密封圈围成所述密封腔，

12、优选地，所述第一细孔的直径为0.2mm～0.8mm。

13、优选地，所述感压面与所述第一细孔的外端之间的距离为4mm～10mm。

14、本申请的压力传感器，其能够降低空泡归溃灭对压力敏感元件的破坏，同时能够极大程度地降低响应时间。

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【技术保护点】

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第一细孔(401)形成于一组合件(403)内，所述组合件(403)固定于压力引入通道(4)的内侧一端。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为板状或块状，其从内侧紧配合地固定于第一粗孔(402)的内端形成的一扩孔中。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为板状，其固定于所述内部表面上。

5.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为具有一端板的管，第一细孔(401)形成于组合件(403)的端板上，管固定于压力引入通道(4)的内侧一端。

6.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，压力感测通道包括第二细孔(203)和第二粗孔(302)，第二细孔(203)与压力敏感元件(204)密封并与所述感压面连通，第二粗孔(302)连通至所述密封腔。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，第一细孔(401)与第二细孔(203)两者偏心设置。

8.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述内部表面设置有凹部(301)或环槽(303)，所述凹部(301)或环槽(303)内设置有第一密封圈(202)，基板(201)与上述内部表面之间通过第一密封圈(202)围成所述密封腔。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述第一细孔(401)的直径为0.2mm～0.8mm。

10.根据权利要求9所述的压力传感器，其特征在于，所述感压面与所述第一细孔(401)的外端之间的距离为4mm～10mm。

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【技术特征摘要】

1.一种压力传感器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述第一细孔(401)形成于一组合件(403)内，所述组合件(403)固定于压力引入通道(4)的内侧一端。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为板状或块状，其从内侧紧配合地固定于第一粗孔(402)的内端形成的一扩孔中。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为板状，其固定于所述内部表面上。

5.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，所述组合件(403)为具有一端板的管，第一细孔(401)形成于组合件(403)的端板上，管固定于压力引入通道(4)的内侧一端。

6.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，压力感测通道包括第二细孔(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，杨军，吴林，任增强，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：