【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子显微镜领域，特别涉及一种电子显微镜电子束电流的装置。
技术介绍
1、在高分辨率扫描电子显微镜的相关应用中， 扫描电子显微镜电子束的参数指标对于表征扫描电子显微镜的工作性能具有重要意义， 特别是电子束的电流大小和束斑尺寸；电子束的电流值将影响电子束的亮度，电子束的束斑尺寸将决定扫描电镜的成像分辨率；因此准确测量电子束电流值是十分有必要的；在现有技术中，由于扫描电镜成像分辨率较高，电子束的电流很小，电子束的电流难以控制，因此提出一种电子显微镜电子束电流的装置。
技术实现思路
1、为解决上述至少一个技术缺点，本技术提供了一种电子显微镜电子束电流的装置，包括外壳，外壳内部设有电路板，外壳两侧表面均连接有若干可以滑动的调节组件，电路板的中部均匀设有若干导电块，电路板的表面通过导电块沿x轴方向设置有13排的电阻和沿y轴方向设置有3列的电阻，电阻的电阻大小沿x轴方向呈“s型”排列、依次为10个1ω、10个10ω、10个100ω和8个1000ω，电路板沿y轴两侧分别连接正极和负极，电路板沿x轴的头部连接有连接极。
2、进一步的，外壳的上表面设有贯穿的x轴滑槽，外壳的下表面设有贯穿的y轴滑槽，调节组件滑动连接于x轴滑槽、y轴滑槽内部。
3、进一步的，调节组件包括接通块，接通块顶部均连接有绝缘块，绝缘块的顶部连接有滑块，滑块与x轴滑槽、y轴滑槽连接。
4、进一步的，滑块横截面呈工字型。
5、进一步的，位于x轴滑槽内部的接通块与沿y轴方向相邻
6、进一步的，位于y轴滑槽内部的接通块与沿x轴方向相邻电阻的导电块间隙连接。
7、有益效果：通过沿x轴方向和沿y轴方向推动调节组件使不同阻值的电阻串联到电路，来实现对电子束电流的调节，使电子束电流便于控制。
8、本技术为目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
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1.一种电子显微镜电子束电流的装置，包括外壳（1），外壳（1）内部设有电路板（2），其特征在于：外壳（1）两侧表面均连接有若干可以滑动的调节组件（3），电路板（2）的中部均匀设有若干导电块（204），电路板（2）的表面通过导电块（204）沿X轴方向设置有13排的电阻（205）和沿Y轴方向设置有3列的电阻（205），电阻（205）的电阻大小沿X轴方向呈“S型”排列、依次为10个1Ω、10个10Ω、10个100Ω和8个1000Ω，电路板（2）沿Y轴两侧分别连接正极（201）和负极（202），电路板（2）沿X轴的头部连接有连接极（203）。
2.根据权利要求1所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：外壳（1）的上表面设有贯穿的X轴滑槽（101），外壳（1）的下表面设有贯穿的Y轴滑槽（102），调节组件（3）滑动连接于X轴滑槽（101）、Y轴滑槽（102）内部。
3.根据权利要求2所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：调节组件（3）包括接通块（301），接通块（301）顶部均连接有绝缘块（302），绝缘块（302）的顶部连接有滑块（303），滑块
4.根据权利要求3所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：滑块（303）横截面呈工字型。
5.根据权利要求4所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：位于X轴滑槽（101）内部的接通块（301）与沿Y轴方向相邻电阻（205）的导电块（204）间隙连接。
6.根据权利要求5所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：位于Y轴滑槽（102）内部的接通块（301）与沿X轴方向相邻电阻（205）的导电块（204）间隙连接。
...【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜电子束电流的装置，包括外壳（1），外壳（1）内部设有电路板（2），其特征在于：外壳（1）两侧表面均连接有若干可以滑动的调节组件（3），电路板（2）的中部均匀设有若干导电块（204），电路板（2）的表面通过导电块（204）沿x轴方向设置有13排的电阻（205）和沿y轴方向设置有3列的电阻（205），电阻（205）的电阻大小沿x轴方向呈“s型”排列、依次为10个1ω、10个10ω、10个100ω和8个1000ω，电路板（2）沿y轴两侧分别连接正极（201）和负极（202），电路板（2）沿x轴的头部连接有连接极（203）。
2.根据权利要求1所述一种电子显微镜电子束电流的装置，其特征在于：外壳（1）的上表面设有贯穿的x轴滑槽（101），外壳（1）的下表面设有贯穿的y轴滑槽（102），调节组件（3）滑动连接于x轴滑槽（101）、y...
【专利技术属性】
技术研发人员：王学斌，黄大坤，赖国胜，方丽，
申请(专利权)人：江西工程学院，
类型：新型
国别省市：
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